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一種電沉積裝置的制作方法

文檔序號:5279869閱讀:437來源:國知局
專利名稱:一種電沉積裝置的制作方法
技術(shù)領域
本實用新型涉及一種電沉積裝置,屬于電共相沉積法生產(chǎn)微晶金屬技術(shù)領域。
背景技術(shù)
現(xiàn)有的一種用于電共相沉積的裝置,包括陰極、陽極與鹽溶液槽,陰極與陽極置于鹽溶液槽的兩端,在生產(chǎn)過程中,鹽溶液的PH值和關(guān)鍵離子的濃度要進行準確控制,不可使其逾越閥值,否則會造成鹽體系瓦解不可用。而目前的方法是依靠經(jīng)驗公式,定時添加各種藥劑,因為是定性判斷,往往很難準確判斷;或是定時抽驗生產(chǎn)過程中的鹽溶液,檢測后定量添加藥劑,往往用時長、效率低,不利于鹽溶液體系問題的快速解決與維護;另外一個問題是不敢將閥值用到極限,一般只用到50%,影響生產(chǎn)速度。

發(fā)明內(nèi)容為解決現(xiàn)有技術(shù)的問題,本實用新型的目的在于提供一種準確適時控制,又可將閥值用到近于極限的電沉積裝置。所采用的技術(shù)方案為一種電沉積裝置,包括陰極、陽極與鹽溶液槽,還包括傳感器、工控電腦、計量泵與濃液罐,所述傳感器一端與鹽溶液槽固定連接,另一端與工控電腦電連接;所述計量泵一端與工控電腦電連接,另一端分別通過管道與濃鹽罐、鹽溶液槽連通。所述傳感器包括pH值傳感器、離子傳感器。所述離子傳感器、濃鹽罐為多個,兩者數(shù)量對應相等。采用上述的方案后,由于pH傳感器與各種離子傳感器可以對鹽溶液槽里鹽溶液的PH值、離子濃度進行監(jiān)控,即pH值、離子濃度變化至標準范圍之外時,傳感器將測量到的PH值和離子濃度反饋到工控電腦,工控電腦計算后控制各計量泵,適時從各濃鹽罐中抽取各藥劑,注入反應槽內(nèi),從而使鹽溶液體系可以得到及時的解決與維護,且即便閥值用到極限,也仍可得到調(diào)節(jié)與控制。

圖I為本實用新型的結(jié)構(gòu)圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖,對本實用新型做進一步的闡述。如圖I所示,一種電沉積裝置,包括陰極(圖未示)、陽極(圖未示)、鹽溶液槽I、傳感器2、工控電腦3、計量泵4與濃液罐5,陰極與陽極置于鹽溶液槽I內(nèi),傳感器2、工控電腦3、計量泵4與濃液罐5置于鹽溶液槽I外,且大體上相連形成一個回路。即,傳感器2一端與鹽溶液槽I固定連接,另一端與工控電腦3電連接;計量泵4 一端與工控電腦3電連接,另一端有兩個管道71、72,第一管道71通向濃鹽罐5,第二管道72通向鹽溶液槽I。[0012]為使鹽溶液的pH值、關(guān)鍵離子的濃度得到控制與調(diào)整,在傳感器上設置有pH值傳感器21、各種關(guān)鍵離子的離子傳感器22、23、24,且離子傳感器的數(shù)量與濃鹽罐的數(shù)量相
坐寸o由于pH傳感器與各種離子傳感器可以對鹽溶液槽里鹽溶液6的pH值、離子濃度進行監(jiān)控,即PH值、離子濃度變化至標準范圍之外時,傳感器將測量到的pH值和離子濃度反饋到工控電腦,工控電腦計算后控制各計量泵,計量泵第一管道從各濃鹽罐中抽取各藥齊U,從第二管道注入反應槽內(nèi),從而使鹽溶液體系可以得到及時的解決與維護,且即便閥值用到極限,也仍可得到調(diào)節(jié)與控制?!?br> 權(quán)利要求1.一種電沉積裝置,包括陰極、陽極與鹽溶液槽,其特征在于還包括傳感器、工控電腦、計量泵與濃液罐,所述傳感器一端與鹽溶液槽固定連接,另一端與工控電腦電連接;所述計量泵一端與工控電腦電連接,另一端分別通過管道與濃鹽罐、鹽溶液槽連通。
2.如權(quán)利要求I所述的一種電沉積裝置,其特征在于所述傳感器包括PH值傳感器、離子傳感器。
3.如權(quán)利要求2所述的一種電沉積裝置,其特征在于所述離子傳感器、濃鹽罐為多個,兩者數(shù)量對應相等。
專利摘要本實用新型公開了一種電沉積裝置,包括陰極、陽極與鹽溶液槽,還包括傳感器、工控電腦、計量泵與濃液罐,所述傳感器一端與鹽溶液槽固定連接,另一端與工控電腦電連接;所述計量泵一端與工控電腦電連接,另一端分別通過管道與濃鹽罐、鹽溶液槽連通,傳感器包括pH值傳感器、離子傳感器,離子傳感器、濃鹽罐為多個,兩者數(shù)量對應相等。本實用新型可以準確適時控制鹽溶液的pH值、離子濃度、又可將閥值用到近于極限。
文檔編號C25D21/14GK202465938SQ201120519979
公開日2012年10月3日 申請日期2011年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月14日
發(fā)明者黃林崎 申請人:福建通途金屬結(jié)構(gòu)有限公司
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