專利名稱：一種電沉積裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電沉積裝置，屬于電共相沉積法生產(chǎn)微晶金屬技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的一種用于電共相沉積的裝置，包括陰極和陽(yáng)極，陰極上工件的沉積厚度隨時(shí)間變化不斷增加，從而改變陰極與陽(yáng)極之間的距離，改變電阻，也改變陰極上工件的沉積速度。從而在生產(chǎn)上，只能依經(jīng)驗(yàn)公式在一個(gè)大致穩(wěn)定的鹽溶液環(huán)境和電場(chǎng)環(huán)境下通過時(shí)間和電流密度控制工件沉積速度和厚度。因?yàn)槭嵌ㄐ耘袛啵茈y準(zhǔn)確判斷工件所需的厚度，且難以控制。

發(fā)明內(nèi)容為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型的目的在于提供一種可以準(zhǔn)確控制工件沉積厚度的電沉積裝置。所采用的技術(shù)方案為一種電沉積裝置，包括陰極、陽(yáng)極、位置傳感器、工控機(jī)和高頻電源，所述位置傳感器與工控機(jī)連接，所述工控機(jī)與高頻電源連接，所述高頻電源分別與陰極和陽(yáng)極連接。所述位置傳感器為非接觸式位置傳感器。采用上述方案后，工作時(shí)，在陰極和陽(yáng)極之間為鹽溶液，工件上的陰極隨時(shí)間沉積金屬層，厚度慢慢增加，從而使陰極的高度發(fā)生變化，非接觸式位置傳感器感應(yīng)到陰極位置的變化，轉(zhuǎn)化成信號(hào)傳送給工控機(jī)，工控機(jī)根據(jù)陰極上厚度的變化適時(shí)調(diào)整高頻電源的輸出電流來(lái)達(dá)到控制工件生產(chǎn)厚度的目的。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的闡述。參見圖1，一種電沉積裝置，包括陰極、陽(yáng)極、位置傳感器、工控機(jī)和高頻電源，位置傳感器與工控機(jī)連接，工控機(jī)與高頻電源連接。陽(yáng)極為陽(yáng)極組，高頻電源分別與陰極、陽(yáng)極連接，位置傳感器可為接觸式位置傳感器，一端與工件連接，另一端與工控機(jī)連接，本實(shí)用新型優(yōu)選為非接觸式位置傳感器，置于陰極旁，便于在生產(chǎn)中使用。工控機(jī)有一操作界面，包括控制按鈕，用于控制高頻電源。工作時(shí)，在陰極和陽(yáng)極之間為鹽溶液，與高頻電源構(gòu)成回路。工件上的陰極隨時(shí)間沉積金屬層，厚度慢慢增加，從而使陰極的高度發(fā)生變化，非接觸式位置傳感器感應(yīng)到陰極位置的變化，轉(zhuǎn)化成信號(hào)傳送給工控機(jī)，工控機(jī)根據(jù)陰極上厚度的變化適時(shí)調(diào)整高頻電源的輸出電流，如當(dāng)達(dá)到需要的高度在工控機(jī)時(shí)，就斷掉電源，取出工件，從而達(dá)到控制工件生產(chǎn)厚度的目的 。
權(quán)利要求1.一種電沉積裝置，包括陰極與陽(yáng)極，其特征在于還包括位置傳感器、工控機(jī)和高頻電源，所述位置傳感器與工控機(jī)連接，所述工控機(jī)與高頻電源連接，所述高頻電源分別與陰極和陽(yáng)極連接。
2.如權(quán)利要求I所述的一種電沉積裝置，其特征在于所述位置傳感器為非接觸式位置傳感器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種電沉積裝置，包括陰極、陽(yáng)極、非接觸式位置傳感器、工控機(jī)和高頻電源，所述位置傳感器與工控機(jī)連接，所述工控機(jī)與高頻電源連接，所述高頻電源分別與陰極和陽(yáng)極連接。本實(shí)用新型可以準(zhǔn)確控制工件的沉積厚度。
文檔編號(hào)C25D21/12GK202465935SQ20112051995
公開日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2011年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月14日
發(fā)明者黃林崎 申請(qǐng)人:福建通途金屬結(jié)構(gòu)有限公司