專利名稱：電沉積裝置及其加工機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有一種電沉積裝置及加工機(jī)，特別是指一種具有內(nèi)循環(huán)流道的電沉積裝置及加工機(jī)。
背景技術(shù)：
隨著工業(yè)的進(jìn)步，精微加工的需求日漸增加，例如:于生物檢測芯片形成微流道、于光纖連接器形成微孔洞、光學(xué)鏡片或微模具的制作等皆有精微加工的需求。然，一般精微加工所用的加工方式多以非傳統(tǒng)加工為主，如，電子束加工、雷射加工、超音波加工、LIGA制程等，但上述加工方式的加工設(shè)備及加工費用相當(dāng)昂貴，而且工件加工后的表面無法達(dá)到高質(zhì)量及高精度。微放電加工解決上述加工方式無法使工件加工后的表面達(dá)到高質(zhì)量及高精度的問題。微放電加工可使工件加工后的表面達(dá)到高精度，但是微放電加工的加工部會因加工電極的消耗，以致于工件上形成的加工結(jié)構(gòu)產(chǎn)生不符合預(yù)先設(shè)計的形狀，而且工件的加工表面因高熱產(chǎn)生再凝結(jié)、微裂痕及放電坑等狀態(tài)，導(dǎo)致形成于工件的加工結(jié)構(gòu)的尺寸及形狀精度降低，使工件的加工表面的表面質(zhì)量降低。所以必須搭配其他加工制程提高形成于工件的加工結(jié)構(gòu)的加工精度，同時提高工件的加工表面的表面質(zhì)量，例如:研磨加工。以研磨加工為例，對于需要良好精度的孔徑及表面粗糙度良好的孔壁或槽壁，傳統(tǒng)研磨加工多以搪磨方式加工，磨料塊平均分布于圓桿型磨料夾持機(jī)構(gòu)的外圓周，通過搪桿在孔壁內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)與往復(fù)運動，以對孔壁進(jìn)行研磨加工。為使磨料塊能平均施力于搪磨中的孔壁，研磨棒的制作加工過程極為重要。通常精密的研磨棒通常利用電沉積方式制作，如圖1所示，該電沉積裝置I’包括一槽體10’、一隔板11’、一馬達(dá)12’及電極載具13’。其中該具有穿孔111’的隔板11’隔設(shè)置于槽體10’內(nèi)，以分隔槽體10’為一第一容置部101’及一第二容置部102’，將電極載具13’設(shè)置于第二容置部102’，以設(shè)置電極。然，馬達(dá)12’的出水口 141’通過一外部管路14’連通于第一容置部101’，馬達(dá)12’的入水口 143’通過另一外部管路14’連通于第二容置部102’內(nèi)的底部，藉以使電沉積液通過外部管路14’流進(jìn)第一容置部101’，且經(jīng)隔板11’底部的穿孔111’流入第二容置部102’，且使部份的電沉積液向上流動，另一部份的電沉積液向下被馬達(dá)12’抽離第二容置部102’，如此使放置于第二容置部102’內(nèi)的工件被沉積研磨粒子。通過上述的電沉積裝置I’雖然可制作出研磨棒，但其槽體10’被外部管路14’環(huán)繞，造成電沉積裝置I’的體積較大，無法與其他加工模塊進(jìn)行整合，而無法達(dá)到于同一加工在線進(jìn)行多種加工。而且現(xiàn)有電沉積裝置I’利用馬達(dá)12’驅(qū)動電沉積液，但驅(qū)動電沉積液時，必須使外部管路14’及槽體10’內(nèi)充滿電沉積液方能利用馬達(dá)12’驅(qū)動，導(dǎo)致電沉積液的使用量較多，并使電沉積液內(nèi)的復(fù)數(shù)研 磨粒的使用量亦增加，導(dǎo)致整體成本提升，且不易維護(hù)電沉積液?，F(xiàn)有電沉積裝置I’的電沉積液從外部管路14’輸送至槽體10’的第一容置部101’，并穿過槽體10’的隔板11’，從第二容置部102’的側(cè)壁進(jìn)入第二容置部102’內(nèi)，然后電沉積液欲往上流動以與工件及電極接觸時，馬達(dá)12’會將部份電沉積液往下抽離第二容置部102’，如此導(dǎo)致部分電沉積液還未接觸工件及電極時即往下流動，而只有部分電沉積液往上流動而接觸工件及電極，即接觸工件及電極的電沉積液不易流動更新，所以槽體10’內(nèi)的流場設(shè)置容易使電沉積液的復(fù)數(shù)研磨粒不易均勻沉積于工件，并增加馬達(dá)12’的耗能，且馬達(dá)12’容易被電沉積液損壞。為了解決上述的問題，本發(fā)明提供一種電沉積裝置及加工機(jī)，該電沉積裝置的一循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)設(shè)置一內(nèi)循環(huán)流道，并無設(shè)置外部管路，該電沉積液只需充滿內(nèi)循環(huán)流道，即可內(nèi)循環(huán)在該循環(huán)流道式電沉積槽，所以可降低該電沉積液的使用量，同時易控制電沉積液的質(zhì)量，并可縮減該電沉積裝置的體積，且該電沉積裝置可與其他類型的加工模塊進(jìn)行整合，以于在線同時進(jìn)行多種加工。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的，在于提供一種電沉積裝置及加工機(jī)，電沉積裝置內(nèi)的一循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)設(shè)置一內(nèi)循環(huán)流道，無于循環(huán)電沉積槽的外部設(shè)置一外部管路，如此可縮減電沉積裝置的體積，而電沉積裝置可與其他類型的加工模塊進(jìn)行整合，以于在線同時進(jìn)行多種加工。本發(fā)明的目的，在于提供一種電沉積裝置，電沉積裝置進(jìn)行電沉積加工時，僅填充該電沉積液于該內(nèi)循環(huán)流道，并使該電沉積液內(nèi)循環(huán)于該內(nèi)循環(huán)流道，所以降低該電沉積液的使用量。本發(fā)明的目的，在于提供一種加工機(jī)，加工機(jī)帶動電沉積裝置于第一方向上作水平運動，另移動工件于第二方向上作垂直運動，不但簡化帶動電沉積裝置及工件的方式，并使電沉積裝置與工件達(dá)到高定位精度，以對工件進(jìn)行高精度的電沉積加工。本發(fā)明的技術(shù)方案:一種電沉積裝置，是包含:一循環(huán)流道式電 沉積槽，具有一內(nèi)循環(huán)流道，該內(nèi)循環(huán)流道填充有一電沉積液；一電極，設(shè)置于該循環(huán)流道式電沉積槽，該電極位于該內(nèi)循環(huán)流道；以及至少一流體驅(qū)動模塊，設(shè)置于該循環(huán)流道式電沉積槽；其中，一工件放置于該循環(huán)流道式電沉積槽，并位于該內(nèi)循環(huán)流道且相對于該電極，該流體驅(qū)動模塊驅(qū)動該電沉積液內(nèi)循環(huán)于該內(nèi)循環(huán)流道，而通過該電極與該工件之間，以進(jìn)行電沉積加工。本發(fā)明中，其中該循環(huán)流道式電沉積槽是包含:一第一組件，具有一第一穿孔、一第二穿孔及一連通流道，該第一穿孔及該第二穿孔貫穿該第一組件，該連通流道與該第一穿孔及該第二穿孔相連通；以及一第二組件，設(shè)置于該第一組件下，并具有一槽狀流道，該第一穿孔及該第二穿孔與該槽狀流道相連通，以形成該內(nèi)循環(huán)流道。本發(fā)明中，其中進(jìn)一步包括一絕緣件，其設(shè)置于該循環(huán)流道式電沉積槽及該電極間，該電極及該絕緣件分別具有一通孔，該電極及該絕緣件的該二通孔串接于該第一穿孔，該工件設(shè)置于該第一穿孔，該工件相對于該電極，該流體驅(qū)動模塊穿設(shè)于該第二穿孔內(nèi)，且驅(qū)動該電沉積液內(nèi)循環(huán)于該內(nèi)循環(huán)流道。本發(fā)明中，其中該第一組件更具有一第三穿孔，該第三穿孔貫穿該第一組件并與該連通流道相連通，該第一穿孔位于該第二穿孔與該第三穿孔之間，該電極與該工件設(shè)置于該第一穿孔，該工件相對于該電極，該第二穿孔與該第三穿孔分別設(shè)置有該流體驅(qū)動模塊。本發(fā)明中，該流體驅(qū)動模塊更包含:一動力驅(qū)動單元，以產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)動力；一流體攪拌單元，其連接該動力驅(qū)動單元，以驅(qū)動該內(nèi)循環(huán)流道的該電沉積液內(nèi)循環(huán)于該內(nèi)循環(huán)流道。本發(fā)明中,其中該動力驅(qū)動單元是包含:一承載件，設(shè)置于該循環(huán)流道式電沉積槽；一齒輪組，樞接于該承載件，帶動該流體攪拌單元；一致動器，驅(qū)動該齒輪組；該流體攪拌單元包括:一連接件，連接于該齒輪組上；以及一螺旋葉片，連接于該連接件上。本發(fā)明中，更包含:
一抽氣模塊，其包括一管體及設(shè)置于該管體的復(fù)數(shù)穿孔，以抽離該循環(huán)流道式電沉積槽所產(chǎn)生的氣體。本發(fā)明中，更包含:一處理模塊，包含復(fù)數(shù)處理槽體，該些處理槽體呈復(fù)數(shù)排并排排列，且該等處理槽體分別具有一開口部而供該工件放置，該等開口部與該工件放置于該循環(huán)流道式電沉積槽的一加工位置皆位于一直線區(qū)域上。本發(fā)明中，其中每一處理槽體更包括一間隔件，以間隔出相鄰的二處理槽，使該等處理槽分別具有一寬部及一窄部，且該等處理槽體的該等開口部位于該等處理槽的該等窄部上，該等處理槽的該等開口部相互交錯排列于該直線區(qū)域上。本發(fā)明中，其中該內(nèi)循環(huán)流道為一管路式流道，且設(shè)置于該電沉積槽。本發(fā)明中，其中該循環(huán)流道式電沉積槽更具有一延伸部，一溫度控制模塊鄰接于該延伸部，以控制該循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)的該電沉積液的溫度。本發(fā)明中，其中該溫度控制模塊更包含:一加熱單元，加熱該延伸部，該延伸部傳導(dǎo)熱能至該循環(huán)流道式電沉積槽，以加熱該循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)的該電沉積液；以及一冷卻模塊，冷卻該延伸部，該延伸部冷卻該循環(huán)流道式電沉積槽，以冷卻該循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)的該電沉積液。一種加工機(jī)，其特征在于，是包含:一機(jī)臺本體；一電沉積裝置，設(shè)置于該機(jī)臺本體，并具有一循環(huán)流道式電沉積槽，該循環(huán)流道式電沉積槽具有一內(nèi)循環(huán)流道，用于進(jìn)行電沉積加工；一第一移動裝置，設(shè)置于該機(jī)臺本體，并帶動該電沉積裝置作一第一方向的水平運動；以及—第二移動裝置，設(shè)置于該機(jī)臺本體，并位于該電沉積裝置的上方，并固定一工件，且移動該工件作一第二方向的垂直運動，并進(jìn)入該電沉積裝置的該循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)，以進(jìn)行電沉積加工。本發(fā)明中，其中該電沉積裝置包含:—處理模塊，包含復(fù)數(shù)處理槽體，該些處理槽體呈復(fù)數(shù)排并排排列，且該等處理槽體分別具有一開口部而供該工件放置，該等開口部與該工件放置于該循環(huán)流道式電沉積槽的一加工位置皆位于一直線區(qū)域上，每一處理槽體更包括一間隔件，以間隔出相鄰的二處理槽，使該等處理槽分別具有一寬部及一窄部，且該等處理槽體的該等開口部分別位于該等處理槽的該等窄部上，該等處理槽的該等開口部相互交錯排列于該直線區(qū)域上。本發(fā)明具有的有益效果:本發(fā)明提供一種電沉積裝置，其是包含:一循環(huán)流道式電沉積槽，其具有一內(nèi)循環(huán)流道，該內(nèi)循環(huán)流道填充有一電沉積液；一電極，其設(shè)置于該循環(huán)流道式電沉積槽，該電極位于該內(nèi)循環(huán)流道；以及一流體驅(qū)動模塊，其設(shè)置于該循環(huán)流道式電沉積槽；其中，一工件放置于該循環(huán)流道式電沉積槽，并位于該內(nèi)循環(huán)流道且相對于該電極，該流體驅(qū)動模塊驅(qū)動該電沉積液內(nèi)循環(huán)于該內(nèi)循環(huán)流道，而通過該電極與該工件之間，以進(jìn)行電沉積加工。 本發(fā)明另提供一種加工機(jī)，其是包含:一機(jī)臺本體；一電沉積裝置，其設(shè)置于該機(jī)臺本體，并具有一循環(huán)流道式電沉積槽，該循環(huán)流道式電沉積槽具有一內(nèi)循環(huán)流道，而用于進(jìn)行電沉積加工；一第一移動裝置，其設(shè)置于該機(jī)臺本體，并帶動該電沉積裝置作一第一方向的水平運動；以及一第二移動裝置，其設(shè)置于該機(jī)臺本體，并位于該電沉積裝置的上方，并固定一工件，且移動該工件作一第二方向的垂直運動，并進(jìn)入該電沉積裝置的該循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)，以進(jìn)行電沉積加工。


圖1為現(xiàn)有電沉積裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的第一實施例的立體圖；圖3為本發(fā)明的第一實施例的剖面圖；圖4為本發(fā)明的第一實施例的立體透視示意圖；圖5為本發(fā)明的第一實施例的使用狀態(tài)圖；圖6為本發(fā)明的第二實施例的剖面圖；圖7為本發(fā)明的第三實施例的立體圖；圖8為本發(fā)明的第四實施例的立體圖；圖9為本發(fā)明的第五實施例的立體圖；以及圖10為本發(fā)明的第六實施例的立體圖。圖號對照說明I’電沉積裝置10’槽體101’第一容置部102’第二容置部11’ 隔板111’ 穿孔12’馬達(dá)13’電極載具14’外部管路141’出水口143’入水口I 電沉積裝置
10循環(huán)流道式電沉積槽100內(nèi)循環(huán)流道101第一組件1011第一表面1012第二表面1013第一穿孔1014第二穿孔1015連通流道1016第三穿孔102第二組件1021第一表面1022第二表面1023槽狀流道103延伸部12電極121通孔13絕緣件14流體驅(qū)動模塊140動力驅(qū)動單元1400承載件1401齒輪組1402致動器141流體攪拌單元1411連接件1412螺旋葉片16電源供應(yīng)模塊17溫度控制模塊172加熱單元173冷卻模塊 1731致冷芯片模塊1732散熱風(fēng)扇18處理模塊181處理槽體1811電解電極1812處理槽1幻21窄部18122寬部川2承載座183間隔件19抽氣模塊191管體192穿孔2工件3加工機(jī)31機(jī)臺本體32第一移動裝置33第二移動裝置4電沉積液
具體實施例方式為使對本發(fā)明的結(jié)構(gòu)特征及所達(dá)成的功效有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識，用以較佳的實施例及附圖配合詳細(xì)的說明，說明如下:現(xiàn)有電沉積裝置是利用外部管路連接至電沉積槽的外側(cè)的馬達(dá)，并透過外部管路供應(yīng)電沉積液至電沉積槽內(nèi)，以進(jìn)行電沉積加工。現(xiàn)有電沉積裝置必須設(shè)置馬達(dá)并使用馬達(dá)將外部管路內(nèi)的電沉積液抽至電沉積槽，但是于外部管路及電沉積槽內(nèi)充滿電沉積液的前提下，方能使馬達(dá)作動，如此造成電沉積液的使用量增加，導(dǎo)致成本增加。然電沉積槽內(nèi)的電沉積液也須透過馬達(dá)將電沉積液抽至外部管路中再利用，于此流場設(shè)計下電沉積液中若含有研磨粒子，研磨粒子無法均勻分布于電沉積液中，進(jìn)而無法均勻沉積于工件上，且導(dǎo)致馬達(dá)的耗能提高。而且利用馬達(dá)不斷抽取電沉積液，長時間使用下電沉積液容易腐蝕馬達(dá)，所以必須提升馬達(dá)的防蝕性，導(dǎo)致成本大幅提升，且，外部循環(huán)管路及馬達(dá)環(huán)繞電沉積槽的外側(cè)設(shè)置，勢必增加電沉積裝置的體積。請參閱圖2及圖3，其為本發(fā)明的第一實施例的立體圖及剖面圖；如圖所示，本實施例提供一種電沉積裝置1，電沉積裝置I是包含一循環(huán)流道式電沉積槽10、一電極12及一流體驅(qū)動模塊14。循環(huán)流道式電沉積槽10具有一內(nèi)循環(huán)流道100，本實施例的循環(huán)流道式電沉積槽10具有一第一組件101及一第二組件102，第一組件101具有一第一表面1011及一第二表面1012，并具有垂直貫穿第一表面1011及第二表面1012的一第一穿孔1013及一第二穿孔1014，且具有形成于第一表面1011的一連通流道1015，連通流道1015是與第一表面1011相互平行，其中連通流道1015與第一穿孔1013及第二穿孔1014相連通，而且于一實施例中，連通流道1015與第一穿孔1013及第二穿孔1014相互垂直。然，第二組件102亦具有一第一表面1021及一第二表面1022，第二組件102的第一表面1021形成一槽狀流道1023。第二組件102設(shè)置于第一組件101的下方，即第二組件102的第一表面1021與第一組件101的第二表面1012相接觸，使第一組件101的第一穿孔1013及第二穿孔1014與第二組件102的槽狀流道1023相連通，如此第一組件101的第一穿孔1013、第二穿孔1014及連通流道1015與第二組件102的槽狀流道1023形成內(nèi)循環(huán)流道100，并形成于循環(huán)流道式電沉積槽10內(nèi)，且日后進(jìn)行電沉積加工時電沉積液只填充于內(nèi)循環(huán)流道100。如圖4所示，本發(fā)明的內(nèi)循環(huán)流道100設(shè)置于循環(huán)流道式電沉積槽10內(nèi)，而僅有部分連通流道1015外露于循環(huán)流道式電沉積槽10，所以內(nèi)循環(huán)流道100為一管路式流道而設(shè)置于循環(huán)流道式電沉積槽10內(nèi)。因現(xiàn)有電沉積裝置的電沉積槽的外部設(shè)有外部管路，電沉積液循環(huán)于電沉積槽與外部管路之間，導(dǎo)致現(xiàn)有電沉積裝置的體積過大，而本實施例的電沉積液內(nèi)循環(huán)于循環(huán)流道式電沉積槽10的內(nèi)循環(huán)流道100，無需設(shè)置外部管路，使電沉積裝置I的體積明顯縮減。因本實施例的電沉積裝置I的體積較小，所以可與其他加工類型的加工模塊整合，并于同一加工在線進(jìn)行多種加工。請一并參閱圖5，其是本發(fā)明的第一實施例的使用狀態(tài)圖。如圖所示，一工件2進(jìn)行電沉積加工之前，先填充電沉積液4至內(nèi)循環(huán)流道100，可從第一穿孔1013或第二穿孔1014進(jìn)行填充，使電沉積液4充滿于內(nèi)循環(huán)流道100。而流體驅(qū)動模塊14設(shè)置于循環(huán)流道式電沉積槽10的第二穿孔1014，本實 施例的流體驅(qū)動模塊14包含一動力驅(qū)動單元140及一流體攪拌單元141,動力驅(qū)動單元140連接流體攪拌單元141,流體攪拌單元141穿設(shè)于第二穿孔1014，并位于內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)。當(dāng)動力驅(qū)動單元140產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)動力而驅(qū)動流體攪拌單元141時，流體攪拌單元141作旋轉(zhuǎn)攪拌而擾動內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)的電沉積液4，以驅(qū)動電沉積液內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)。本實施例的流體攪拌單元141具有一連接件1411及更設(shè)有一螺旋葉片1412，螺旋葉片1412設(shè)置于連接件1411的一端，并位于內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)。連接件1411的另一端連接動力驅(qū)動單元140。當(dāng)動力驅(qū)動單元140驅(qū)動連接件1411作旋轉(zhuǎn)時,連接件1411帶動螺旋葉片1412旋轉(zhuǎn)，螺旋葉片1412旋轉(zhuǎn)攪拌內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)的電沉積液4而擾動電沉積液4，并驅(qū)使電沉積液4從第二穿孔1014流至槽狀流道1023，再流至第一穿孔1013且從第一穿孔1013而涌出，然后經(jīng)由連通流道1015流回至第二穿孔1014，即流體驅(qū)動模塊14驅(qū)動電沉積液4內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100，所以電沉積液4不斷內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100。因現(xiàn)有電沉積裝置的電沉積槽的外部設(shè)有外部管路，電沉積液必須充滿外部管路及電沉積槽，導(dǎo)致電沉積液的使用量增加，而本實施例的電沉積液4僅充滿循環(huán)流道式電沉積槽10內(nèi)的內(nèi)循環(huán)流道100，有效減少電沉積液4的使用量。若電沉積液4含有復(fù)數(shù)研磨粒子，因本實施例的電沉積裝置I可使電沉積液4內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100，所以可讓電沉積液4內(nèi)的該些研磨粒子均勻分布于電沉積液4中，以對工件進(jìn)行電沉積加工時讓該些研磨粒子可均勻地沉積于工件2的表面。上述動力驅(qū)動單元140可直接為一致動器1402，于本發(fā)明的一實施例中，致動器1402為馬達(dá)，致動器1402直接連接并驅(qū)動流體攪拌單元141，于此不再贅述。然，為了提升致動器1402帶動流體攪拌單元141的轉(zhuǎn)動扭力及降低流體攪拌單元141的轉(zhuǎn)動速度,所以本實施例連接流體攪拌單元141的動力驅(qū)動單元140是更包含一齒輪組1401,齒輪組1401設(shè)置于流體攪拌單元141的連接件1411與致動器1402之間，然齒輪組1401被致動器1402驅(qū)動，以減緩轉(zhuǎn)動速度并傳遞動力至流體攪拌單元141,使流體攪拌單元141的轉(zhuǎn)動速度較致動器1402的轉(zhuǎn)動速度低，以增加流體攪拌單元141的轉(zhuǎn)動扭力。本實施例的 動力驅(qū)動單元140更包含一承載件1400，承載件1400是承載齒輪組1401及致動器1402，齒輪組1401樞接于承載件1400，流體攪拌單元141與齒輪組1401連接。然承載件1400設(shè)置于循環(huán)流道式電沉積槽10上，并使與齒輪組1401連接的流體攪拌單元141設(shè)置于第二穿孔1014。本實施例的電沉積裝置I未利用馬達(dá)直接抽取電沉積液4，而使用動力驅(qū)動單元140帶動流體攪拌單元141，流體攪拌單元141以旋轉(zhuǎn)攪拌方式擾動電沉積液4，進(jìn)而驅(qū)動電沉積液4內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100，本實施例以最簡單的傳動機(jī)構(gòu)使電沉積液4內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100。所以，本實施例的致動器1402未直接與電沉積液4接觸，以大幅減少電沉積液4侵蝕致動器1402的機(jī)會，維持其使用壽命，且無須提升致動器1402的防蝕性，不會使電沉積裝置I的成本增加。復(fù)參閱圖5，填充電沉積液4至內(nèi)循環(huán)流道100之前，電極12設(shè)置于循環(huán)流道式電沉積槽10的第一穿孔1013，使電極12位于內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)，因內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)的電沉積液4受流體驅(qū)動模塊14的驅(qū)動，而不斷地內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100，電沉積液4不斷地通過電極12，使電極12持續(xù)與電沉積液4接觸。本實施例的第一穿孔1013位于第一表面1011的開口的半徑大于第一穿孔1013位于第二表面1012的開口的半徑，而于第一穿孔1013內(nèi)形成一階梯部。電極12從第一穿孔1013置入，并位于第一穿孔1013內(nèi)的階梯部上。本實施例的電極12的中心具有一通孔121，通孔121與第一穿孔1013串接，即通孔121與內(nèi)循環(huán)流道100相連通，所以內(nèi)循環(huán)流道100的電沉積液4會通過通孔121而通過電極12。本實施例的電極12為環(huán)狀，此為本發(fā)明的一實施例，電極12亦可為任意幾何形狀，于此不再贅述。然本實施例的電極12亦可不具有通孔121，可能為一片狀并位于第一穿孔1013的一側(cè)，電沉積液4通過第一穿孔1013，同時地，電沉積液4也通過電極12，于此不再贅述。然循環(huán)流道式電沉積槽10 (即第一穿孔1013的側(cè)壁)與電極12之間更設(shè)置一絕緣件13，絕緣件13具有一通孔131，絕緣件13的通孔131與電極12的通孔121連通，并與第一穿孔1013串接，以與內(nèi)循環(huán)流道100相連通。絕緣件13是使電極12與循環(huán)流道式電沉積槽10間絕緣，防止電極12與循環(huán)流道式電沉積槽10導(dǎo)通。待電極12設(shè)置第一穿孔1013之后，欲進(jìn)行電沉積加工時，工件2先置入循環(huán)流道式電沉積槽10的第一穿孔1013，并相對位于第一穿孔1013內(nèi)的電極12。本實施例的電沉積裝置I更包含一電源供應(yīng)模塊16，電源供應(yīng)模塊16的陽極連接至電極12，其陰極連接至工件2，電源供應(yīng)模塊16提供一電源至電極12與工件2，以進(jìn)行電沉積加工。完成上述設(shè)置后，填充電沉積液4至內(nèi)循環(huán)流道100，并啟動電源供應(yīng)模塊16提供電源至電極12與工件2，且啟動流體驅(qū)動模塊14驅(qū)動電沉積液4內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100。當(dāng)電沉積液4內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100時，電沉積液4亦通過電極12與工件2之間，使電極12與工件2間進(jìn)行電沉積加工。若電沉積液4含有復(fù)數(shù)研磨粒子，于電沉積加工過程中，當(dāng)電沉積液4內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100時，電沉積液4從第二穿孔1014往下流動至槽狀流道1023，再從槽狀流道1023向上流動，最后從第一穿孔1013涌出，電沉積液4包覆設(shè)置于第一穿孔1013的工件2，使電沉積液4內(nèi)的該些研磨粒子均勻沉積于工件2的表面上而形成為一研磨層，進(jìn)而使工件2形成一研磨工具。而本實施例的電沉積裝置I可使電沉積液4內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100，因此可讓電沉積液4內(nèi)的該些研磨粒子均勻分布于電沉積液4中，以增加研磨工具上研磨粒子的沉積均勻性。請參閱圖6，其是本發(fā)明的第二實施例的使用狀態(tài)圖。如圖所示，第一實施例的循環(huán)流道式電沉積槽10的內(nèi)循環(huán)流道100為單向循環(huán)，而本實施例的循環(huán)流道式電沉積槽10亦具有內(nèi)循環(huán)流道100，并可進(jìn)行雙向循環(huán)，以增加電沉積液4中該些研磨粒子的均勻性與密度。本實施例的第一組件101更設(shè)有一第三穿孔1016，第三穿孔1016位于第一穿孔1013的一側(cè)，并與第二穿孔1014相對應(yīng)，即第一穿孔1013位于第二穿孔1014與第三穿孔1016之間。第三穿孔1016貫穿第一組件101，并與第二組件102的槽狀流道1023相連通，且與位于第一組件101的連通流道1015相連通，以于循環(huán)流道式電沉積槽10形成內(nèi)循環(huán)流道100。
本實施例是于第一穿孔1013內(nèi)設(shè)置電極12，另于第二穿孔1014及第三穿孔1016分別設(shè)置一流體驅(qū)動模塊14，位于第二穿孔1014的流體驅(qū)動模塊14驅(qū)動內(nèi)循環(huán)流道100左側(cè)的電沉積液4作逆時針流動，電沉積液4從第一穿孔1013涌出，再流經(jīng)左側(cè)的連通流道1015，回流至第二穿孔1014，如此電沉積液4循環(huán)于位于循環(huán)流道式電沉積槽10左側(cè)的內(nèi)循環(huán)流道100。然，位于第三穿孔1016的流體驅(qū)動模塊14驅(qū)動內(nèi)循環(huán)流道100右側(cè)的電沉積液4作順時針流動，電沉積液4亦從第一穿孔1013涌出，再流經(jīng)右側(cè)的連通流道1015，回流至第三穿孔1016，如此電沉積液4循環(huán)于位于循環(huán)流道式電沉積槽10右側(cè)的內(nèi)循環(huán)流道100。由上述可知，電沉積液4可雙向內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道100，并同時匯集至第一穿孔1013且從第一穿孔1013涌出，如此大量電沉積液4會匯集到第一穿孔1013，且大量電沉積液4會從第一穿孔1013涌出，如此流過電極12與工件2之間的電沉積液4即會增加，此時電沉積液4含有研磨粒子，并通過位于第一穿孔1013的電極12與工件2之間，所以通過電極12與工件2間的該些研磨粒子的密度也會大幅增加，進(jìn)而提升沉積于工件2的該些研磨粒子的沉積密度及均勻性。請參閱圖7，其是本發(fā)明的第三實施例的立體圖。如圖所示，本實施例的電沉積裝置I更包含一溫度控制模塊17，于本發(fā)明的一實施例中，溫度控制模塊17可為一加熱棒，力口熱棒嵌入于循環(huán)流道式電沉積槽10的一側(cè)，加熱棒所提供的熱能從循環(huán)流道式電沉積槽10的一側(cè)傳導(dǎo)至內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)的電沉積液，以加熱循環(huán)流道式電沉積槽10的內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)的電沉積液。為了使內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)的電沉積液均勻受熱，本實施例的循環(huán)流道式電沉積槽10更包含一延伸部103，延伸部103是從循環(huán)流道式電沉積槽10的第二組件102延伸出，第二組件102與延伸部103形成L字型。延伸部103覆蓋循環(huán)流道式電沉積槽10的側(cè)壁，并與循環(huán)流道式電沉積槽10的內(nèi)循環(huán)流道100相互平行，且供溫度控制模塊17設(shè)置。本實施例的溫度控制模塊17包含至少一加熱單元172及一冷卻模塊173。延伸部103與循環(huán)流道式電沉積槽10的內(nèi)循環(huán)流道100相互平行，然加熱單元172嵌設(shè)于延伸部103，以加熱延伸部103。而冷卻模塊173鄰接于延伸部103的側(cè)壁，以冷卻延伸部103。透過加熱單元172及冷卻模塊173控制延伸部103的溫度。本發(fā)明的延伸部103更具有一控制芯片(圖未示)，其用于感測循環(huán)流道式電沉積槽10或電沉積液的溫度，以控制加熱單元172及冷卻模塊173。本發(fā)明的循環(huán)流道式電沉積槽10的材料為導(dǎo)熱材料，所以延伸部103從循環(huán)流道式電沉積槽10延伸出，延伸部103的材料亦為導(dǎo)熱材料。當(dāng)加熱單元172產(chǎn)生一熱能并傳遞至延伸部103時，是會提高延伸部103的溫度，因延伸部103的體積大，延伸部103的受熱面積大，熱能均勻分布于延伸部103。然延伸部103緊鄰并覆蓋循環(huán)流道式電沉積槽10的側(cè)壁，且兩者間的接觸面積大，所以延伸部103傳導(dǎo)熱能至循環(huán)流道式電沉積槽10的側(cè)壁，熱能均勻分布于循環(huán)流道式電沉積槽10的側(cè)壁，以均勻加熱位于內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)的電沉積液。當(dāng)電沉積液的溫度超過默認(rèn)值時，冷卻模塊173提供一冷卻源并傳導(dǎo)至延伸部103，冷卻模塊173亦與延伸部103間具有大面積的接觸，使延伸部103的溫度均勻降低，然延伸部103均勻地冷卻循環(huán)流道式電沉積槽10的側(cè)壁的溫度，而與延伸部103相同，以均勻冷卻內(nèi)循環(huán)流道100的電沉積液。如此透過加熱單元172及冷卻模塊173控制延伸部103的溫度，進(jìn)而控制內(nèi)循環(huán)流道100內(nèi)的電沉積液溫度，即使電沉積液溫度符合默認(rèn)值以達(dá)到恒溫。本實施例冷卻模塊173為一致冷芯片模塊1731，致冷芯片模塊1731鄰接于延伸部103的側(cè)壁。當(dāng)冷卻模塊173冷卻延伸部103時，致冷芯片模塊1731產(chǎn)生一冷卻源并傳遞至延伸部103，降低延伸部103的溫度，以降低循環(huán)流道式電沉積槽10內(nèi)的電沉積液溫度。而延伸部103的熱能透過致冷芯片模塊1731排至外部，以加速降低延伸部103的溫度，進(jìn)而加速降低循環(huán)流道式電沉積槽10內(nèi)的電沉積液的溫度。而本實施例的冷卻模塊173更設(shè)有一散熱風(fēng)扇1732，散熱風(fēng)扇1732設(shè)置于致冷芯片模塊1731，當(dāng)延伸部103的熱能透過致冷芯片模塊1731排出外部時，熱能大部分先聚積于致冷芯片模塊1731的末端，此時，啟動散熱風(fēng)扇1732并將聚積于致冷芯片模塊1731末端的熱能抽離，以加快熱能排出的速度。請參閱圖8，其是本發(fā)明的第四實施例的立體圖。如圖所示，本實施例的循環(huán)流道式電沉積槽10的另一側(cè)更鄰接一處理模塊18，處理模塊18是對工件2進(jìn)行電沉積加工的前或的后進(jìn)行處理。前述實施例揭示本實施例的電沉積裝置I的體積較小，可與其他加工類型的加工模塊整合，以于同一加工在線進(jìn)行多種加工，例如:與本實施例的電沉積裝置I整合的加工模塊為微放電加工模塊，微放電加工模塊所使用的電極即為本實施例的工件2，進(jìn)行微放加工后的電極(即工件2)產(chǎn)生耗損，必須利用電沉積裝置I進(jìn)行修整，工件2進(jìn)行電沉積加工之前，處理模塊18先以酸洗、水洗或脫脂等方式清潔工件2的表面；工件2進(jìn)行電沉積加工之后，以電解方式修整沉積于工件2表面的沉積層。上述僅為本發(fā)明的一實施例，表示本實施例的電沉積裝置I可與其他加工類型的加工模塊整合。然，本實施 例的電沉積裝置I是將處理模塊18與循環(huán)流道式電沉積槽10整合一起，使進(jìn)行電沉積加工之前或之后的工件2可立即移至處理模塊18進(jìn)行處理，而無須移至另一機(jī)臺進(jìn)行處理，即于同一加工在線同時進(jìn)行電沉積加工及處理。本實施例的處理模塊18具有四個處理槽體181，該些處理槽體181并排排列成一列，靠近循環(huán)流道式電沉積槽10的處理槽體181與循環(huán)流道式電沉積槽10的側(cè)壁鄰接，該些處理槽體181的功用可分別為水洗、酸洗、脫脂及電解等，然依據(jù)電沉積前或后的工件2的表面狀態(tài)選擇適當(dāng)?shù)奶幚聿垠w181，以對電沉積前或后的工件2進(jìn)行處理。其中用以電解的處理槽體181的側(cè)壁更設(shè)有一電解電極1811，當(dāng)工件2置入用以電解的處理槽體181時，工件2相對電解電極1811，以進(jìn)行電解加工。且本實施例的處理模塊18更包含一承載座182，該些處理槽體181設(shè)置于承載座182，循環(huán)流道式電沉積槽10設(shè)置于承載座182，而循環(huán)流道式電沉積槽10與該些處理槽體181的一相鄰接，如此循環(huán)流道式電沉積槽10可從承載座182上拆卸下來，以便于清潔循環(huán)流道式電沉積槽10與該些處理槽體181。請參閱圖9，其是本發(fā)明的第五實施例的立體圖。如圖所示，本實施例的處理模塊18是具有兩個處理槽體181，每一處理槽體181包含兩處理槽1812，其主要于處理槽體181設(shè)置一間隔件183，間隔件183將處理槽體181間隔成二處理槽1812，如此每一處理槽體181具有兩處理槽1812，所以兩個處理槽體181總共具有四處理槽1812，而且該些處理槽1812相互并排及鄰接，使該等處理槽1812呈復(fù)數(shù)排并排成數(shù)列，如此可增加處理槽1812數(shù)量，且降低處理模塊18的體積。本實施例的電沉積裝置I更包含一抽氣模塊19，抽氣模塊19具有一管體191，管體191設(shè)置于循環(huán)流道式電沉積槽10及處理模塊18，并朝向循環(huán)流道式電沉積槽10及處理模塊18，管體191具有復(fù)數(shù)穿孔192，透過該些穿孔192抽取循環(huán)流道式電沉積槽10進(jìn)行電沉積加工或處理模塊18進(jìn)行處理時所產(chǎn)生的氣體至管體191，并由管體191將氣體排至電沉積裝置I的外部。然，本實施例的抽氣模塊19亦可僅設(shè)置于循環(huán)流道式電沉積槽10或處理模塊18的一側(cè)，并僅抽取循環(huán)流道式電沉積槽10進(jìn)行電沉積加工所產(chǎn)生的氣體，或者僅抽取處理模塊18進(jìn)行處理時所產(chǎn)生的氣體至電沉積裝置I的外部，于此不再贅述。請參閱圖10，其是本發(fā)明的第六實施例的立體圖。如圖所示，本實施例是提供一加工機(jī)3，上述實施例的電沉積裝置I可裝設(shè)于加工機(jī)3上。加工機(jī)3其本身具有X、Y、Z移動軸，該加工機(jī)3具有一機(jī)臺本體31，且其另設(shè)置一第一移動裝置32，使電沉積裝置I能移動至Z軸位置及加工機(jī)3的Z軸可作為本技術(shù)的一第二移動裝置33，該第一移動裝置32及該第二移動裝置33設(shè)置于機(jī)臺本體31上。本實施例是以圖8的電沉積裝置I為例，電沉積裝置I設(shè)置于機(jī)臺本體31 ，并連接第一移動裝置32，工件2固定于第二移動裝置33。第一移動裝置32帶動電沉積裝置I于一水平面上作水平運動，并僅于第一方向(即沿X軸或Y軸)上移動，然第二移動裝置33移動工件2作垂直運動，即于與第一方向正交的第二方向(沿著Z軸)上移動，使該加工機(jī)3可利用本身的X、Y、Z移動軸，讓工件2作為工具對固定于加工機(jī)3上的被加工件(圖未示)進(jìn)行加工如放電加工后，并可利用第一移動裝置32移送電沉積裝置I至第二移動裝置33的水平位置(X、Y軸位置)，即相對于加工機(jī)3的被加工件的位置，使第二移動裝置33移動工件2而進(jìn)行電沉積加工，如沉積研磨粒于工件2其上，之后可利用第一移動裝置32移送電沉積裝置I離開第二移動裝置33的位置，如此在不使加工機(jī)3上的X、Y軸移動狀況下，以利用第二移動裝置33移動工件2對加工機(jī)3上的被加工件進(jìn)行再加工，如此可提高工件2對位于加工機(jī)3的被加工件的位置精確度，因此提高加工機(jī)上的被加工件的加工精度。上述提及前述實施例揭示本實施例的電沉積裝置I的體積較小，可與其他加工類型的加工模塊整合，以于同一加工在線進(jìn)行多種加工，而以本實施例的電沉積裝置I與微放電加工模塊整合為例，于此延續(xù)上述，微放電加工模塊設(shè)置于機(jī)臺本體31，并位于電沉積裝置I的下方，工件2除了受第二移動裝置33帶動，更可由一水平移動平臺(X、Y移動軸，圖未示)帶動，工件2于進(jìn)行電沉積加工前為微放電加工的電極，所以進(jìn)行微放電加工時，必須先透過水平移動平臺定位工件2的位置，以對應(yīng)微放電加工模塊，然后利用第二移動裝置33移動工件2進(jìn)入微放電加工模塊以對固定于加工機(jī)3的被加工件(圖未示)進(jìn)行微放電加工，待微放電加工完成后，第二移動裝置33往上移動工件2離開微放電加工模塊。當(dāng)進(jìn)行電沉積加工時，只需要由第一移動裝置32移動電沉積裝置1，并使循環(huán)流道式電沉積槽10對位于工件2，接著第二移動裝置33進(jìn)給工件2向下并進(jìn)入循環(huán)流道式電沉積槽10內(nèi)進(jìn)行電沉積加工。待電沉積加工完成后，第二移動裝置33帶動工件2垂直向上離開循環(huán)流道式電沉積槽10，然第一移動裝置32帶動電沉積裝置I往右側(cè)移動，讓處理槽體181對位于工件2，第二移動裝置33再進(jìn)給工件2向下并進(jìn)入該些處理槽體181進(jìn)行處理。因電沉積裝置I的循環(huán)流道式電沉積槽10與處理模塊18的該些處理槽體181是呈復(fù)數(shù)排并排排列，即沿著第一方向排列，所以只需要第一移動裝置32帶動電沉積裝置I于第一方向上移動，即可使第二移動裝置33進(jìn)給工件2至循環(huán)流道式電沉積槽10與該些處理槽體181，工件2置入每一處理槽體181的處理位置為一開口部18133。第一移動裝置32帶動電沉積裝置I于第一方向上移動，所以工件2于循環(huán)流道式電沉積槽10內(nèi)進(jìn)行電沉積加工的加工位置及該些處理槽體181的該些開口部1813是位于一直線區(qū)域，且更可進(jìn)一步為位于直線區(qū)域內(nèi)的同一共在線，以形成一加工線，此直線區(qū)域為移動區(qū)域，所以第一移動裝置32只需帶動電沉積裝置I沿著直線區(qū)域或直線區(qū)域內(nèi)的加工線移動，而讓循環(huán)流道式電沉積槽10的加工位置(即圖3的電極12的通孔121)或該些處理槽體181的該些開口部1813對準(zhǔn)工件2，以讓工件2進(jìn)入循環(huán)流道式電沉積槽10內(nèi)進(jìn)行電沉積加工，或者進(jìn)入該些處理槽體181的該些開口部1813進(jìn)行處理。由上述可知，工件2除了一開始進(jìn)行微放電加工需要利用水平移動平臺進(jìn)行定位，之后進(jìn)行電沉積加工及處理時，只利用第一移動裝置32及第二移動裝置33分別帶動電沉積裝置I與工件2，且使電沉積裝置I與工件2分別僅于單一方向上作運動，工件2只由第二移動裝置33帶動，而不需于水平的X軸與X軸移動，即可進(jìn)入循環(huán)流道式電沉積槽10進(jìn)行電沉積加工或該些處理槽體181進(jìn)行處理，如此減少定位電沉積裝置I與工件2的復(fù)雜度，以增加電沉積裝置I與工件2的定位準(zhǔn)確度。復(fù)參閱圖9，為了縮減處理模塊18的體積，于每一處理槽體181設(shè)置間隔件183，使每一處理槽體181間隔成兩處理槽1812，兩處理槽1812分別具有一窄部18121及一寬部18122，窄部18121具有供工件2置入的一開口部1813，兩處理槽1812相鄰的一側(cè)相互交錯排于一列上，即位于二窄部18121的二開口部1813相互交錯，并與工件2位于循環(huán)流道式電沉積槽10的加工位置位于直線區(qū)域甚至位于直線區(qū)域的同一共在線，即位于加工在線。然每一處理槽1812容置一處理溶液，例如:作水洗的處理槽體181的處理溶液為蒸餾水；作電解的處理槽體181的處理溶液為電解液。每一處理槽1812的寬部18122具有一攪拌空間，所以可設(shè)置一攪拌裝置(圖為未)于攪拌空間內(nèi)，以攪拌處理槽體181的處理溶液，進(jìn)而擾動處理溶液對工件進(jìn)行處理。所以圖9的電沉積裝置 I亦可應(yīng)用于圖10的加工機(jī)3，通過第一移動裝置32帶動電沉積裝置I并沿著直線區(qū)域或直線區(qū)域內(nèi)的加工線移動，并讓位于直線區(qū)域或直線區(qū)域內(nèi)的加工線的循環(huán)流道式電沉積槽10的加工位置或該些處理槽1812的該些開口部1813的一者對準(zhǔn)該工件2，以讓第二移動裝置33帶動工件2進(jìn)入位于直線區(qū)域或直線區(qū)域內(nèi)的加工線的加工位置或該些開口部1813，即進(jìn)入循環(huán)流道式電沉積槽10或該些處理槽1812進(jìn)行電沉積加工或處理。綜上所述，本發(fā)明提供一種電沉積裝置及加工機(jī)，電沉積裝置內(nèi)設(shè)有內(nèi)循環(huán)流道，不需要設(shè)置外部管路，所以可縮減電沉積裝置的體積，且可與其他類型的加工模塊進(jìn)行整合，并于在線同時進(jìn)行多種加工。此外，電沉積液僅填充于內(nèi)循環(huán)流道，而且不斷地內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道，如此降低電沉積液的使用量且容易維護(hù)電沉積液，且容易控制電沉積液的質(zhì)量。而電沉積液不斷地內(nèi)循環(huán)于內(nèi)循環(huán)流道，可使電沉積液的該些研磨粒子均勻分布于電沉積液中，以增加該些研磨粒子沉積于工件表面的均勻度，并增加該些研磨粒子的沉積量。本發(fā)明的加工機(jī)只利用第一移動裝置及第二移動裝置分別帶動電沉積裝置與工件，而且使電沉積裝置與工件分別僅于單一方向上作運動，工件即可進(jìn)入循環(huán)流道式電沉積槽進(jìn)行電沉積加工或該些處理槽體進(jìn)行處理或?qū)ξ挥诩庸C(jī)上的被加工件進(jìn)行后續(xù)加工，而不需于水平的X軸與X軸移 動，如此減少定位電沉積裝置與工件的復(fù)雜度，以增加電沉積裝置與工件的定位準(zhǔn)確度。綜上所述，僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并非用來限定本發(fā)明實施的范圍，凡依本發(fā)明權(quán)利要求范圍所述的形狀、構(gòu)造、特征及精神所為的均等變化與修飾，均應(yīng)包括于本發(fā)明的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種電沉積裝置，其特征在于，是包含: 一循環(huán)流道式電沉積槽，具有一內(nèi)循環(huán)流道，該內(nèi)循環(huán)流道填充有一電沉積液； 一電極，設(shè)置于該循環(huán)流道式電沉積槽，該電極位于該內(nèi)循環(huán)流道；以及 至少一流體驅(qū)動模塊，設(shè)置于該循環(huán)流道式電沉積槽； 其中，一工件放置于該循環(huán)流道式電沉積槽，并位于該內(nèi)循環(huán)流道且相對于該電極，該流體驅(qū)動模塊驅(qū)動該電沉積液內(nèi)循環(huán)于該內(nèi)循環(huán)流道，而通過該電極與該工件之間，以進(jìn)行電沉積加工。
2.如權(quán)利要求1所述的電沉積裝置，其特征在于，其中該循環(huán)流道式電沉積槽是包含: 一第一組件，具有一第一穿孔、一第二穿孔及一連通流道，該第一穿孔及該第二穿孔貫穿該第一組件，該連通流道與該第一穿孔及該第二穿孔相連通；以及 一第二組件，設(shè)置于該第一組件下，并具有一槽狀流道，該第一穿孔及該第二穿孔與該槽狀流道相連通，以形成該內(nèi)循環(huán)流道。
3.如權(quán)利要求2所述的電沉積裝置，其特征在于，其中進(jìn)一步包括一絕緣件，其設(shè)置于該循環(huán)流道式電沉積槽及該電極間，該電極及該絕緣件分別具有一通孔，該電極及該絕緣件的該二通孔串接于該第一穿孔，該工件設(shè)置于該第一穿孔，該工件相對于該電極，該流體驅(qū)動模塊穿設(shè)于該第二穿孔內(nèi)，且驅(qū)動該電沉積液內(nèi)循環(huán)于該內(nèi)循環(huán)流道。
4.如權(quán)利要求2所述的電沉積裝置，其特征在于，其中該第一組件更具有一第三穿孔，該第三穿孔貫穿該第一組件并與該連通流道相連通，該第一穿孔位于該第二穿孔與該第三穿孔之間，該電極與該工件設(shè)置于該第一穿孔，該工件相對于該電極，該第二穿孔與該第三穿孔分別設(shè)置有該流體驅(qū)動模塊。
5.如權(quán)利要求1所述的電沉積裝置，其特征在于，該流體驅(qū)動模塊更包含: 一動力驅(qū)動單元，以產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)動力； 一流體攪拌單元，其連接該動力驅(qū)動單元，以驅(qū)動該內(nèi)循環(huán)流道的該電沉積液內(nèi)循環(huán)于該內(nèi)循環(huán)流道。
6.如權(quán)利要求5所述的電沉積裝置，其特征在于，其中該動力驅(qū)動單元是包含: 一承載件，設(shè)置于該循環(huán)流道式電沉積槽； 一齒輪組，樞接于該承載件，帶動該流體攪拌單元； 一致動器，驅(qū)動該齒輪組； 該流體攪拌單元包括: 一連接件，連接于該齒輪組上；以及 一螺旋葉片，連接于該連接件上。
7.如權(quán)利要求1所述的電沉積裝置，其特征在于，更包含: 一抽氣模塊，其包括一管體及設(shè)置于該管體的復(fù)數(shù)穿孔，以抽離該循環(huán)流道式電沉積槽所產(chǎn)生的氣體。
8.如權(quán)利要求1所述的電沉積裝置，其特征在于，更包含:一處理模塊，包含復(fù)數(shù)處理槽體,該些處理槽體呈復(fù)數(shù)排并排排列，且該等處理槽體分別具有一開口部而供該工件放置，該等開口部與該工件放置于該循環(huán)流道式電沉積槽的一加工位置皆位于一直線區(qū)域上。
9.如權(quán)利要求8所述的電沉積裝置，其特征在于，其中每一處理槽體更包括一間隔件，以間隔出相鄰的二處理槽，使該等處理槽分別具有一寬部及一窄部，且該等處理槽體的該等開口部位于該等處理槽的該等窄部上，該等處理槽的該等開口部相互交錯排列于該直線區(qū)域上。
10.如權(quán)利要求1所述的電沉積裝置，其特征在于，其中該內(nèi)循環(huán)流道為一管路式流道，且設(shè)置于該電沉積槽。
11.如權(quán)利要求1所述的電沉積裝置，其特征在于，其中該循環(huán)流道式電沉積槽更具有一延伸部，一溫度控制模塊鄰接于該延伸部，以控制該循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)的該電沉積液的溫度。
12.如權(quán)利要求11所述的電沉積裝置，其特征在于，其中該溫度控制模塊更包含: 一加熱單元，加熱該延伸部，該延伸部傳導(dǎo)熱能至該循環(huán)流道式電沉積槽，以加熱該循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)的該電沉積液；以及 一冷卻模塊，冷卻該延伸部，該延伸部冷卻該循環(huán)流道式電沉積槽，以冷卻該循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)的該電沉積液。
13.—種加工機(jī)，其特征在于，是包含: 一機(jī)臺本體； 一電沉積裝置，設(shè)置于該 機(jī)臺本體，并具有一循環(huán)流道式電沉積槽，該循環(huán)流道式電沉積槽具有一內(nèi)循環(huán)流道，用于進(jìn)行電沉積加工； 一第一移動裝置，設(shè)置于該機(jī)臺本體，并帶動該電沉積裝置作一第一方向的水平運動；以及 一第二移動裝置，設(shè)置于該機(jī)臺本體，并位于該電沉積裝置的上方，并固定一工件，且移動該工件作一第二方向的垂直運動，并進(jìn)入該電沉積裝置的該循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)，以進(jìn)行電沉積加工。
14.如權(quán)利要求13所述的加工機(jī)，其特征在于，其中該電沉積裝置包含: 一處理模塊,包含復(fù)數(shù)處理槽體,該些處理槽體呈復(fù)數(shù)排并排排列，且該等處理槽體分別具有一開口部而供該工件放置，該等開口部與該工件放置于該循環(huán)流道式電沉積槽的一加工位置皆位于一直線區(qū)域上，每一處理槽體更包括一間隔件，以間隔出相鄰的二處理槽，使該等處理槽分別具有一寬部及一窄部，且該等處理槽體的該等開口部分別位于該等處理槽的該等窄部上，該等處理槽的該等開口部相互交錯排列于該直線區(qū)域上。
全文摘要
本發(fā)明涉及有關(guān)于一種電沉積裝置及加工機(jī)，該電沉積裝置是包含一循環(huán)流道式電沉積槽、一電極及至少一流體驅(qū)動模塊。該循環(huán)流道式電沉積槽內(nèi)具有一內(nèi)循環(huán)流道，該內(nèi)循環(huán)流道填充一電沉積液，該流體驅(qū)動模塊驅(qū)動該電沉積液內(nèi)循環(huán)于該內(nèi)循環(huán)流道，以進(jìn)行電沉積加工。本發(fā)明的電沉積裝置無需設(shè)置外部管路，以縮減該電沉積裝置的體積及降低該電沉積液的使用量，同時易控制電沉積液的質(zhì)量。本發(fā)明的加工機(jī)分別帶動該電沉積裝置及一工件于單一方向上移動，以簡化定位該電沉積裝置與該工件的復(fù)雜度，進(jìn)而增加該電沉積裝置與該工件的定位準(zhǔn)確度。
文檔編號C25D19/00GK103160908SQ20111042218
公開日2013年6月19日 申請日期2011年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月9日
發(fā)明者洪榮洲, 林大裕 申請人:財團(tuán)法人金屬工業(yè)研究發(fā)展中心