專(zhuān)利名稱(chēng)：電子零件用電鍍夾具以及電解電鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子零件用電鍍夾具以及電解電鍍裝置，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及使由基座和接地引線構(gòu)成的多個(gè)電子零件分別定位，對(duì)由形成前述電子零件的金屬所構(gòu)成的各部件的露出面的整個(gè)面實(shí)施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具以及電解電鍍裝置，其中所說(shuō)的基座，通過(guò)玻璃等絕緣材料將插入到形成在金屬制部件的平坦部上的貫通孔內(nèi)的引線密封起來(lái)，所說(shuō)的接地引線，其一端部被接合在前述金屬制部件的一面?zhèn)壬稀?br> 背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體裝置等電子零件中，如圖5(a)、(b)所示，有的使用了頭部(ヘツダ一)10、20。
圖5(a)所示的頭部10，引線16分別穿過(guò)形成在由金屬制部件構(gòu)成的基座12的平坦部上的兩個(gè)貫通孔14、14而被玻璃密封，同時(shí)接地引線18的一端部與基座12的一面?zhèn)葘?duì)接而接合在其上。
另外，圖5(b)所示的頭部20，引線16分別穿過(guò)形成在金屬制部件22的平坦部上的兩個(gè)貫通孔24、24而被玻璃密封，同時(shí)接地引線18的一端部與金屬制部件22的平坦部的一面?zhèn)葘?duì)接而接合在其上，其中該金屬制部件，是通過(guò)在金屬制的板狀部件上實(shí)施沖壓加工而形成有凹部的金屬制部件。
在該圖5(a)、(b)所示的頭部10、20中，在通過(guò)焊料而接合在例如由金屬制部件構(gòu)成的基座12的另一面?zhèn)?、或金屬制部?2的平坦部的另一面?zhèn)壬系纳崞?6上搭載有半導(dǎo)體原件28，在該半導(dǎo)體原件28與引線16、16的一端部進(jìn)行了引線接合后，將覆蓋部件覆蓋在基座12或金屬制部件22的平坦部的另一面?zhèn)壬?，密封保持搭載在散熱器26上的半導(dǎo)體原件28等。
可是，在圖5(a)、(b)所示的頭部10、20中，為了防銹等，在由構(gòu)成頭部10、20的金屬構(gòu)成的各部件的露出面上，通過(guò)電解電鍍而形成有鍍層(鍍膜)。
但是，由于引線16、16通過(guò)玻璃密封而被密封在基座12(金屬制部件22)上，因此，要在引線16、16、接地引線18以及基座12(或金屬制部件22)的露出面的整個(gè)面上形成由電解電鍍生成鍍層，就有必要向引線16、16以及接地引線18供電。
因此，在對(duì)頭部10(20)實(shí)施電解電鍍之際，以往都采用了滾鍍(筒式電鍍)。
在滾鍍中，是使收容有多個(gè)頭部10(20)以及作為通電輔助材料的虛設(shè)物的滾籠體旋轉(zhuǎn)，從而對(duì)各個(gè)頭部10(20)實(shí)施電解電鍍。因此，由于在電解電鍍中頭部10(20)的引線16等彼此會(huì)絞纏在一起，或者虛設(shè)物會(huì)被夾在頭部10(20)的引線16之間，因此在電解電鍍完成時(shí)，還有必要進(jìn)行將絞纏在一起的頭部10(20)一個(gè)個(gè)地解開(kāi)的操作。
進(jìn)而，在電解電鍍中，會(huì)因?yàn)槎鄠€(gè)頭部10(20)等彼此沖撞而導(dǎo)致出現(xiàn)劃痕，或者引線16、16和接地引線18易彎折。因此，對(duì)于從滾籠體中取出的頭部10(20)，還有必要進(jìn)行那些被彎折的引線16等的修整操作。
另外，在以往，如圖6所示，也進(jìn)行將多個(gè)分別形成頭部10(20)的引線16、16以及接地引線18的各前端部連接在一根金屬線100上，通過(guò)向金屬線100供電從而對(duì)各個(gè)頭部10(20)實(shí)施電解電鍍的做法。
在圖6所示的方法中，雖然能夠防止引線16、16和接地引線18在電解電鍍中被彎折的情況，但有必要進(jìn)行將引線16、16、接地引線18的各前端部連接到一根金屬線100上的連接操作，以及從金屬線100上將引線16、16、接地引線18的各前端部切離的切離操作。
與這種以往的方法相對(duì)，在下述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，提出了在頭部10(20)的電解電鍍之際，使用圖7所示的電鍍夾具的方案。
圖7所示的電鍍夾具，在由樹(shù)脂構(gòu)成的基臺(tái)102的一面?zhèn)壬?，設(shè)有作為向引線16、16以及接地引線18分別供電的供電部件的供電板106，而其中所說(shuō)的基臺(tái)102，以能夠?qū)㈩^部10的引線16、16以及接地引線18的前端吸引靠近規(guī)定位置的方式，在各個(gè)規(guī)定位置上密封配設(shè)有多個(gè)磁鐵104、104…。
進(jìn)而，在圖7所示的電鍍夾具中，在引線16、16、接地引線18的長(zhǎng)度上存在有細(xì)微差別，為了可靠地從供電板106向各前端面供電，在供電板106上配設(shè)導(dǎo)電性無(wú)紡布108。
這種導(dǎo)電性無(wú)紡布108的表面，除頭部10的引線16、16以及接地引線18的前端面所觸接的觸接部以及其附近之外，均由掩膜部件110所覆蓋。
在該掩膜部件110上，為了使頭部10的引線16、16以及接地引線18的前端面所觸接的導(dǎo)電性無(wú)紡布108的觸接部以及其附近露出，形成有貫通孔112。該貫通孔112也是導(dǎo)引該頭部10的引線16、16以及接地引線18的導(dǎo)引孔。
再者，掩膜部件110，由銷(xiāo)114、114定位，以使其貫通孔112位于對(duì)應(yīng)的磁鐵104之上。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)2003-213497號(hào)公報(bào)(圖5)通過(guò)用圖7所示的電鍍夾具對(duì)多個(gè)頭部10(20)實(shí)施電解電鍍，可省略將頭部10(20)的引線16、16以及接地引線18的各前端部連接在一根金屬線100上的連接操作，以及從金屬線100將引線16、16、接地引線18的各前端部切離的切離操作等操作，可較容易地實(shí)施電解電鍍。
但是，沒(méi)有設(shè)置任何將頭部10(20)向?qū)щ娦詿o(wú)紡布108的方向按壓的按壓裝置，只將頭部10(20)放置在導(dǎo)電性無(wú)紡布108上，因此不能保證在供電時(shí)引線16、16以及接地引線18的各前端面與導(dǎo)電性無(wú)紡布108可靠地接觸。
另外，例如，即便在供電時(shí)引線16、16以及接地引線18的各前端面與導(dǎo)電性無(wú)紡布108接觸，在由供電板106供電的導(dǎo)電性無(wú)紡布108上，也會(huì)與頭部10(20)同時(shí)被實(shí)施電解電鍍。因此，在與導(dǎo)電性無(wú)紡布108接觸的引線16、16以及接地引線18的各前端面等接觸部以及其附近，就會(huì)出現(xiàn)未鍍著部和鍍膜色調(diào)異常。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠使多個(gè)電子零件的引線以及接地引線的各前端面可靠地與陰極接觸、并且能夠抑制發(fā)生在引線以及接地引線上的未鍍著或色調(diào)異常的電子零件用電鍍夾具。
本發(fā)明的發(fā)明人們，為了解決前述問(wèn)題而檢討的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過(guò)采用網(wǎng)狀陰極作為陰極，并使電解電鍍液向網(wǎng)狀陰極的方向流動(dòng)，可將多個(gè)電子零件同時(shí)向網(wǎng)狀陰極的方向按壓，即便電子零件之間的引線以及接地引線的長(zhǎng)度多少有些不同，在供電時(shí)也可將引線以及接地引線的各前端面與網(wǎng)狀陰極接觸，因而得出了本發(fā)明。
即，本發(fā)明是一種電子零件用電鍍夾具，它是使多個(gè)電子零件各自定位、對(duì)由形成前述電子零件的金屬構(gòu)成的各部件的露出面的整個(gè)面實(shí)施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具，其中所述的電子零件由通過(guò)玻璃等絕緣材料將插入到形成在金屬制部件的平坦部上的貫通孔內(nèi)的引線密封起來(lái)的基座、和一端部與前述金屬制部件的一面?zhèn)认嘟雍系慕拥匾€構(gòu)成；其特征在于，具備金屬制的網(wǎng)狀陰極，具有比形成各電子零件的向基座的一面?zhèn)韧怀龅囊€以及接地引線的各前端直徑細(xì)的網(wǎng)孔，且被設(shè)在可與前述引線以及接地引線的各前端相接觸的位置上；筒狀部，可供前述各電子零件插入，將其引線以及接地引線的各前端向前述網(wǎng)狀陰極導(dǎo)引，同時(shí)可供電解電鍍液以按壓前述電子零件將引線以及接地引線的各前端面向前述網(wǎng)狀陰極按壓的方式流動(dòng)；以及陽(yáng)極，是前述電解電鍍液能夠通過(guò)的部件，并以電子零件位于其與前述網(wǎng)狀陰極之間的方式配設(shè)。
另外，本發(fā)明是一種電解電鍍裝置，它是使多個(gè)電子零件各自定位、對(duì)由形成前述電子零件的金屬構(gòu)成的各部件的露出面的整個(gè)面實(shí)施電解電鍍的電解電鍍裝置，其中所述的電子零件由通過(guò)玻璃等絕緣材料將插入到形成在金屬制部件的平坦部上的貫通孔內(nèi)的引線密封起來(lái)的基座、和一端部與前述金屬制部件的一面?zhèn)认嘟雍系慕拥匾€構(gòu)成；其特征在于，設(shè)有前述的電鍍夾具，并設(shè)有以通過(guò)流經(jīng)前述電鍍夾具的各筒狀部?jī)?nèi)的電解電鍍液的液流、按壓被插入到前述筒狀部中的電子零件而將引線以及接地引線的各前端面按壓到前述網(wǎng)狀陰極上的方式向前述電鍍夾具供給電解電鍍液的供給裝置。
在本發(fā)明中，作為網(wǎng)狀陰極，使用長(zhǎng)尺寸狀的網(wǎng)狀陰極，并以在對(duì)電子零件的電解電鍍時(shí)能夠使用新的網(wǎng)狀陰極的方式，可從電鍍夾具的一端側(cè)向另一端側(cè)的方向移動(dòng)地設(shè)置，由此，在電解電鍍的時(shí)候，就能夠使用網(wǎng)孔沒(méi)有堵塞的網(wǎng)狀陰極。
通過(guò)對(duì)該長(zhǎng)尺寸狀的網(wǎng)狀陰極，將其一端側(cè)纏繞在設(shè)在電鍍夾具的一端側(cè)的外方的供給滾子上，同時(shí)將從前述供給滾子拉出并經(jīng)過(guò)了電鍍夾具的另一端側(cè)纏繞在設(shè)在前述電鍍夾具的另一端側(cè)的外方的收取滾子上，從而可在每次電解電鍍時(shí)，很容易地使用網(wǎng)孔沒(méi)有堵塞的網(wǎng)狀陰極。
進(jìn)而，通過(guò)將筒狀部分割為上部筒狀部與下部筒狀部，可很容易地進(jìn)行將各電子零件向?qū)?yīng)的筒狀部的插入和取出。
通過(guò)在該筒狀部的中間配設(shè)形成有仿照被插入到前述筒狀部中的電子零件的引線以及接地引線的配列形狀而成的孔的導(dǎo)引板，可更容易地進(jìn)行電子零件向筒狀部的插入和取出。
另外，通過(guò)以各電子零件被磁力向網(wǎng)狀陰極的一面?zhèn)鹊姆较蛭姆绞?，在前述網(wǎng)狀陰極的另一面?zhèn)壬吓c供前述各電子零件插入的筒狀部相對(duì)應(yīng)地設(shè)有磁鐵，與流經(jīng)筒狀部的電解電鍍液的液流共同作用，能夠更可靠地使電子零件的引線以及接地引線的前端面與網(wǎng)狀陰極接觸。
通過(guò)將所述的各磁鐵埋設(shè)在形成有可供電解電鍍液通過(guò)的多個(gè)貫通孔的由電絕緣性材料構(gòu)成的基臺(tái)的規(guī)定的位置上，能夠使磁鐵與電解電鍍液以及網(wǎng)狀陰極相隔離開(kāi)。
根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)在網(wǎng)狀陰極的一面?zhèn)壬显O(shè)置多個(gè)筒狀部，在將電子零件插入到各筒狀部的狀態(tài)下，使電解電鍍液在各筒狀部?jī)?nèi)向網(wǎng)狀陰極的方向流動(dòng)，可將多個(gè)電子零件同時(shí)向網(wǎng)狀陰極的方向按壓。另外，通過(guò)將陰極設(shè)為由金屬線構(gòu)成的網(wǎng)孔形狀，并設(shè)為在被電子零件按壓的情況下可彎曲的構(gòu)造，可吸收引線以及接地引線的細(xì)微差別。因此，即便電子零件之間的引線以及接地引線的長(zhǎng)度多少有些不同，也能夠可靠地使引線以及接地引線的各前端面與網(wǎng)狀陰極接觸。另外，即便在引線以及接地引線的根數(shù)多的情況下，也能夠可靠地使引線以及接地引線的各前端面與網(wǎng)狀陰極接觸。
進(jìn)而，與網(wǎng)狀陰極接觸的引線以及接地引線的各前端面，只不過(guò)是其一部分與形成網(wǎng)狀陰極的金屬線接觸，能夠盡可能抑制因引線以及接地引線的各前端面的整個(gè)面與供電部件接觸所引發(fā)的未鍍著和色調(diào)異常。
其結(jié)果是，可在形成有引線以及接地引線的電子零件的整個(gè)面上形成良好的鍍層，可提高最終所得到的半導(dǎo)體裝置等制品的可靠性。


圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明的電子零件用電鍍夾具的一例的分解圖。
圖2是使用在圖1所示的電鍍夾具上的導(dǎo)引板60的局部正視圖。
圖3是說(shuō)明使用在圖1所示的電鍍夾具上的電解電鍍裝置的說(shuō)明圖。
圖4是說(shuō)明本發(fā)明的電子零件用電鍍夾具的另一例的組裝圖。
圖5是說(shuō)明電子零件的一例的局部剖面圖。
圖6是說(shuō)明以往的實(shí)施電解電鍍的電子零件的一個(gè)形態(tài)的正視圖。
圖7是說(shuō)明改良的電子零件用電鍍夾具的一例的簡(jiǎn)要剖面圖。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明10、20頭部(電子零件) 12 基座16引線18 接地引線24、36、72貫通孔 30 電鍍夾具32網(wǎng)狀陰極34 支撐板38a、38b、42a、42b導(dǎo)引滾子40 供給滾子44收取滾子48 排出口50b 下部筒狀部件50a上部筒狀部件51b 下部筒狀部 51a上部筒狀部54陽(yáng)極58 供給口60導(dǎo)引板 62 導(dǎo)引孔
63電鍍液儲(chǔ)存槽 64電解電鍍液66供給泵68基板70磁鐵 S 供給裝置具體實(shí)施方式
在圖1中展示了本發(fā)明的電子零件用電鍍夾具的一例。在圖1所示的電鍍夾具30中，與形成作為電子零件的各頭部10、10...的向基座12的一面?zhèn)韧怀龅囊€16、16以及接地引線18的各前端面接觸的由不銹鋼制金屬線構(gòu)成的網(wǎng)狀陰極32，被載置在形成有供電解電鍍液通過(guò)的貫通孔36、36...的且由電絕緣性的材料、例如樹(shù)脂構(gòu)成的支撐板34的一面?zhèn)壬稀?br> 這種網(wǎng)狀陰極32，以引線16、16以及接地引線18的各前端面可與形成網(wǎng)狀陰極32的不銹鋼制金屬線相接觸的方式，形成為比引線16、16以及接地引線18的各前端直徑細(xì)的網(wǎng)孔。例如，在引線16、16以及接地引線18的各前端直徑為0.45mm的情況下，最好是將網(wǎng)狀陰極32的網(wǎng)孔設(shè)為0.3mm左右。
圖1所示的網(wǎng)狀陰極32為長(zhǎng)尺寸狀，其一端側(cè)經(jīng)由設(shè)在電鍍夾具30的一端側(cè)的外方上的導(dǎo)引滾子38a、38b而被纏繞在供給滾子40上。進(jìn)而，從纏繞在供給滾子40上的網(wǎng)狀陰極32拉出并經(jīng)過(guò)了電鍍夾具30的支撐板34上的另一端側(cè)，經(jīng)由設(shè)在電鍍夾具30的另一端側(cè)的外方上的導(dǎo)引滾子42a、42b而被纏繞在收取滾子44上。因此，通過(guò)使收取滾子44沿箭頭的方向旋轉(zhuǎn)，可將從纏繞在供給滾子40上的網(wǎng)狀陰極32拉出的部分載置在支撐板34的一面?zhèn)壬稀?br> 這樣，在一面?zhèn)壬陷d置有網(wǎng)狀陰極32的支撐板34的另一面?zhèn)壬?，設(shè)有收集通過(guò)了支撐板34的貫通孔36、36...的電解電鍍液的收集部46。在該收集部46上設(shè)有排出口48。
在被載置在支撐板34的一面?zhèn)壬系木W(wǎng)狀陰極32上，可分割地設(shè)有作為筒狀部件的上部筒狀部件50a和下部筒狀部件50b，其中該筒狀部件一體地設(shè)置有可供各頭部10、10...插入的多個(gè)筒狀部，下部筒狀部件50b的下端面與網(wǎng)狀陰極32相接觸。
在該上部筒狀部件50a上，一體地設(shè)置有供作為各頭部10、10的上部構(gòu)造的基座12及其周?chē)糠植迦氲亩鄠€(gè)上部筒狀部51a、51a...，在下部筒狀部件50b上，一體地設(shè)置有供作為各頭部10、10...的下部構(gòu)造的引線16、16以及接地引線18插入的多個(gè)下部筒狀部51b、51b...。該上部筒狀部51a、51a...與下部筒狀部51b、51b直徑相同。
上部筒狀部件50a的上端面與設(shè)在框體52的一面?zhèn)鹊年?yáng)極54相接觸。該陽(yáng)極54由在頭部10、10...的電解電鍍中所使用的金屬構(gòu)成，可使用電解電鍍液能通過(guò)的部件，例如形成有多個(gè)貫通孔的平板或網(wǎng)狀體。
在這種框體52的另一面?zhèn)壬希O(shè)有將電解電鍍液提供給由上部筒狀部件50a與下部筒狀部件50b構(gòu)成的筒狀部件的各筒狀部的供給部56。在該供給部56上，設(shè)有供給口58。
在圖1所示的電鍍夾具30中，在作為筒狀部件的上部筒狀部件50a與下部筒狀部件50b的分割面上，夾持著形成有導(dǎo)引孔62的導(dǎo)引板60，該導(dǎo)引孔62是仿照被插入到由上部筒狀部51a與下部筒狀部51b構(gòu)成的筒狀部中的頭部10的引線16、16以及接地引線18的配列形狀而成的導(dǎo)引孔。這種導(dǎo)引孔62是與由上部筒狀部51a與下部筒狀部51b構(gòu)成的各筒狀部對(duì)應(yīng)地形成的。
在圖2中展示了該導(dǎo)引板60的一例。圖2所示的導(dǎo)引板60，由絕緣性樹(shù)脂構(gòu)成，在與由上部筒狀部51a與下部筒狀部51b構(gòu)成的各筒狀部相對(duì)應(yīng)的位置上，形成有三角形狀的導(dǎo)引孔62。該導(dǎo)引孔62的形狀，是與頭部10的引線16、16以及接地引線18以三角形狀配列在基座1 2上的情況相對(duì)應(yīng)的。因此，插入導(dǎo)引孔62的頭部10的引線16、16以及接地引線18，位于三角形狀的導(dǎo)引孔62的各頂角附近，被可靠地向網(wǎng)狀陰極32的方向?qū)б?br> 進(jìn)而，如后述那樣，還能夠防止頭部10因流經(jīng)由上部筒狀部51a與下部筒狀部51b構(gòu)成的筒狀部的電解電鍍液的流動(dòng)而傾斜，其引線16、16以及接地引線18的任何一個(gè)的前端面從網(wǎng)狀陰極32離開(kāi)的情況。
另外，通過(guò)將頭部10的引線16、16以及接地引線18預(yù)先插入到該導(dǎo)引板60的各導(dǎo)引孔62中，可很容易地將各頭部10、10...插入對(duì)應(yīng)的筒狀部以及從對(duì)應(yīng)的筒狀部取出。
再者，在導(dǎo)引板60上，形成有開(kāi)口面積比導(dǎo)引孔62小的小孔65、65...，用于使電解電鍍液通過(guò)。
在對(duì)構(gòu)成圖1所示的電鍍夾具30的部件進(jìn)行組裝之際，在將下部筒狀部件50b載置在被載置在支撐板34的一面?zhèn)壬系木W(wǎng)狀陰極32上之后，將在各導(dǎo)引孔62、62...中插入了頭部10的引線16、16以及接地引線18的導(dǎo)引板60夾在下部筒狀部件50b與上部筒狀部件50a之間。
通過(guò)將導(dǎo)引板60夾在下部筒狀部件50b與上部筒狀部件50a之間，就可將引線16、16以及接地引線18被插入到導(dǎo)引板60的各導(dǎo)引孔62、62...中的頭部10插入由上部筒狀部51a與下部筒狀部51b構(gòu)成對(duì)應(yīng)的筒狀部?jī)?nèi)。
再者，通過(guò)在各部件的對(duì)接面上配設(shè)由有機(jī)硅橡膠等彈性材料構(gòu)成的密封件，可防止電解電鍍液的泄漏。
在使用將圖1所示的各部件組裝起來(lái)所得到的電鍍夾具30對(duì)頭部10、10...實(shí)施電解電鍍時(shí)，使用圖3所示的電解電鍍裝置。在圖3所示的電解電鍍裝置中，具備以通過(guò)流經(jīng)構(gòu)成電鍍夾具30的由下部筒狀部件50b和上部筒狀部件50a構(gòu)成的筒狀部件的各筒狀部的電解電鍍液的液流，按壓插入到各筒狀部中的頭部10，將引線16、16以及接地引線18的各前端面按壓到網(wǎng)狀陰極32上的方式，向電鍍夾具30供給電解電鍍液的供給裝置S。
在該供給裝置S中，設(shè)有將儲(chǔ)存在電鍍液儲(chǔ)存槽63內(nèi)的電解電鍍液64提供給設(shè)在電鍍夾具30的供給部56上的供給口58的供給泵66。
被提供給供給口58的電解電鍍液，通過(guò)陽(yáng)極54而后流經(jīng)由下部筒狀部件50b和上部筒狀部件50a構(gòu)成的筒狀部件的各筒狀部，將引線16、16以及接地引線18被導(dǎo)引板60的導(dǎo)引孔62導(dǎo)引而被插入到各筒狀部中的頭部10，向網(wǎng)狀陰極32的方向按壓。
通過(guò)該電解電鍍液的液流的按壓，頭部10、10...的各引線16、16以及接地引線18的前端面，能夠可靠地與網(wǎng)狀陰極32接觸。
另外，由于各頭部10、10...被電解電鍍液的液流按壓，另外，網(wǎng)狀陰極32在被引線16、16以及接地引線18按壓時(shí)可彎曲，因此，即便在頭部10、10...相互之間引線16、16以及接地引線18的長(zhǎng)度多少有些不同，也可將各引線16、16以及接地引線18的前端面與網(wǎng)狀陰極32接觸。
這樣，經(jīng)過(guò)各筒狀部而流下的電解電鍍液的液流一面將頭部10、10...向網(wǎng)狀陰極32的方向按壓，一面從網(wǎng)狀陰極32以及支撐板34的貫通孔36、36...流出，被收集部46收集然后從排出口48排出。被排出的電解電鍍液儲(chǔ)存在電鍍液儲(chǔ)存槽63內(nèi)，然后再次被提供給電鍍夾具30的供給口58。
在圖3所示的電解電鍍裝置中，一面使電解電鍍液在電鍍夾具30上循環(huán)使用，一面在陽(yáng)極54與網(wǎng)狀陰極32之間通入直流電流，從而對(duì)各引線16、16以及接地引線18的前端面與網(wǎng)狀陰極32相接觸的頭部10、10...的整個(gè)面實(shí)施電解電鍍。
在頭部10、10...的電解電鍍完成之后，停止供給泵66，將下部筒狀部件50b與上部筒狀部件50a打開(kāi)，將在導(dǎo)引孔62內(nèi)插入了頭部10、10...的各引線16、16以及接地引線18的導(dǎo)引板60取出，由此即可很容易地將插入到各筒狀部中的頭部10、10...從電鍍夾具30中取出。
另外，在電解電鍍時(shí)，由于在網(wǎng)狀陰極32上也會(huì)形成鍍層，因此網(wǎng)狀陰極32的網(wǎng)孔就要漸漸變窄。為此，驅(qū)動(dòng)收取滾子44，將纏繞在供給滾子40上的網(wǎng)狀陰極32拉出，從而將新的網(wǎng)狀陰極32載置在支撐板34上。
再者，從收取滾子44上取下的使用過(guò)的網(wǎng)狀陰極32，通過(guò)浸泡在剝離液中進(jìn)行剝離，可很容易地剝離附著的鍍層而再生，從而可再次使用。
根據(jù)使用了圖1所示的電鍍夾具30的電解電鍍裝置，通過(guò)流經(jīng)由下部筒狀部件50b和上部筒狀部件50a構(gòu)成的筒狀部件的各筒狀部的電解電鍍液的液流來(lái)按壓插入到各筒狀部中的頭部10，可將引線16、16以及接地引線18的各前端面可靠地按壓到網(wǎng)狀陰極32上。
進(jìn)而，與網(wǎng)狀陰極32相接觸的引線16、16以及接地引線18的各前端面，只不過(guò)是其一部分與形成網(wǎng)狀陰極32的金屬線接觸，因此能夠盡可能抑制因引線16、16以及接地引線18的各前端面的整個(gè)面與供電部件接觸而發(fā)生的未鍍著和色調(diào)異常。
因此，可在頭部10、10...的整個(gè)面上形成良好的電解電鍍層，可提高最終所得到的半導(dǎo)體裝置等制品的可靠性。
雖然在圖1～圖3所示的電鍍夾具30中，只通過(guò)流經(jīng)筒狀部的電解電鍍液的液流，將頭部10向網(wǎng)狀陰極32的方向按壓，但如圖4所示的電鍍夾具30那樣，通過(guò)代替支撐板34而使用在規(guī)定位置埋設(shè)有磁鐵70、70...的基板68，可使流經(jīng)筒狀部的電解電鍍液的液流與磁鐵70的磁力共同作用，從而可使插入到筒狀部?jī)?nèi)的頭部10的引線16、16以及接地引線18的各前端面更可靠地與網(wǎng)狀陰極32接觸。
這種基板68由電氣絕緣性材料、例如樹(shù)脂構(gòu)成，被配設(shè)在網(wǎng)狀陰極32的另一面?zhèn)壬?，也是網(wǎng)狀陰極32的支撐部件。在該基板68上，在與供頭部10插入的筒狀部相對(duì)應(yīng)的位置上埋設(shè)有磁鐵70，同時(shí)，形成有多個(gè)貫通孔72、72...。流經(jīng)筒狀部的電解電鍍液從貫通孔72、72向收集部46內(nèi)流出。
再者，對(duì)于構(gòu)成圖4所示的電解電鍍30的部件，關(guān)于與圖1～圖3所示的電鍍夾具30相同的部件附加相同的標(biāo)號(hào)而省略詳細(xì)的說(shuō)明。
在圖1～圖4所示的電鍍夾具30中，作為導(dǎo)引板60，使用了由絕緣性樹(shù)脂構(gòu)成的導(dǎo)引板60，但也可使用由金屬構(gòu)成的導(dǎo)引板60，并將導(dǎo)引板60作為陰極來(lái)使用。
這樣，通過(guò)使用導(dǎo)引板60和網(wǎng)狀陰極32作為陰極，可使頭部10的引線16、16以及接地引線18可靠地與陰極接觸。
另外，也可在網(wǎng)狀陰極32的下方，隔著形成有電解電鍍液可流下的多個(gè)貫通孔的由絕緣性樹(shù)脂構(gòu)成的絕緣板而配設(shè)陽(yáng)極，從而將頭部10與網(wǎng)狀陰極32配設(shè)在其與陽(yáng)極54之間。
進(jìn)而，在圖1～圖4所示的電鍍夾具30中，雖然使用了導(dǎo)引板60，但只要由上部筒狀部51a與下部筒狀部51b構(gòu)成的筒狀部具有不會(huì)使被插入的頭部10因流經(jīng)筒狀部?jī)?nèi)的電解電鍍液的流動(dòng)而傾斜、使引線16、16以及接地引線18的任何一個(gè)的前端面從網(wǎng)狀陰極32離開(kāi)那樣的尺寸，則導(dǎo)引板60也并非是必須的。
另外，在圖1～圖4所示的電鍍夾具30中，雖然設(shè)定引線以及接地引線的根數(shù)為3根，但不限定于此。因?yàn)楸景l(fā)明的陰極具有被載置在支撐板34或基板68的一面?zhèn)壬系挠山饘倬€構(gòu)成的網(wǎng)孔形狀，所以即便在引線以及接地引線的根數(shù)在3根以上的情況下，也可將引線以及接地引線的各前端面可靠地與網(wǎng)狀陰極接觸。
權(quán)利要求
1.一種電子零件用電鍍夾具，它是使包括基座和接地引線的多個(gè)電子零件各自定位、對(duì)由形成前述電子零件的金屬所構(gòu)成的各部件的露出面的整個(gè)面實(shí)施電解電鍍的電子零件用電鍍夾具，其中所述的基座通過(guò)玻璃等絕緣材料密封著被插入到形成在金屬制部件的平坦部上的貫通孔內(nèi)的引線，所述的接地引線一端部與前述金屬制部件的一面?zhèn)认嘟雍?；其特征在于具備金屬制的網(wǎng)狀陰極，具有比形成各電子零件的向基座的一面?zhèn)韧怀龅囊€以及接地引線的各前端直徑細(xì)的網(wǎng)孔，且被設(shè)在前述引線以及接地引線的各前端可接觸的位置上；筒狀部，可使前述各電子零件插入，并將其引線以及接地引線的各前端向前述網(wǎng)狀陰極導(dǎo)引，同時(shí)可使電解電鍍液以按壓前述電子零件、將引線以及接地引線的各前端面按壓到前述網(wǎng)狀陰極上的方式流動(dòng)；以及陽(yáng)極，是前述電解電鍍液能夠通過(guò)的部件，并以電子零件位于其與前述網(wǎng)狀陰極之間的方式配設(shè)。
2.如權(quán)利要求1所述的電子零件用電鍍夾具，其中，網(wǎng)狀陰極是長(zhǎng)尺狀的網(wǎng)狀陰極，并以可從電鍍夾具的一端側(cè)向另一端側(cè)的方向移動(dòng)的方式設(shè)置，使得在對(duì)電子零件的電解電鍍時(shí)能夠使用新的網(wǎng)狀陰極。
3.如權(quán)利要求2所述的電子零件用電鍍夾具，其中，長(zhǎng)尺寸狀的網(wǎng)狀陰極，其一端側(cè)纏繞在設(shè)在電鍍夾具的一端側(cè)的外方的供給滾子上，同時(shí)，從前述供給滾子拉出并經(jīng)過(guò)了電鍍夾具的另一端側(cè)，纏繞在設(shè)在前述電鍍夾具的另一端側(cè)的外方的收取滾子上。
4.如權(quán)利要求1或2所述的電子零件用電鍍夾具，其中，筒狀部被分割為上部筒狀部和下部筒狀部。
5.如權(quán)利要求3所述的電子零件用電鍍夾具，其中，筒狀部被分割為上部筒狀部和下部筒狀部。
6.如權(quán)利要求1或2所述的電子零件用電鍍夾具，其中，在筒狀部的中間，配設(shè)有形成有仿照被插入到前述筒狀部中的電子零件的引線以及接地引線的配列形狀而成的孔的導(dǎo)引板。
7.如權(quán)利要求3或5所述的電子零件用電鍍夾具，其中，在筒狀部的中間，配設(shè)有形成有仿照被插入到前述筒狀部中的電子零件的引線以及接地引線的配列形狀而成的孔的導(dǎo)引板。
8.如權(quán)利要求4所述的電子零件用電鍍夾具，其中，在筒狀部的中間，配設(shè)有形成有仿照被插入到前述筒狀部中的電子零件的引線以及接地引線的配列形狀而成的孔的導(dǎo)引板。
9.如權(quán)利要求1或2所述的電子零件用電鍍夾具，其中，以各電子零件被磁力向網(wǎng)狀陰極的一面?zhèn)鹊姆较蛭姆绞?，在前述網(wǎng)狀陰極的另一面?zhèn)壬?，與供前述各電子零件插入的筒狀部相對(duì)應(yīng)地設(shè)有磁鐵。
10.如權(quán)利要求3或5所述的電子零件用電鍍夾具，其中，以各電子零件被磁力向網(wǎng)狀陰極的一面?zhèn)鹊姆较蛭姆绞?，在前述網(wǎng)狀陰極的另一面?zhèn)壬?，與供前述各電子零件插入的筒狀部相對(duì)應(yīng)地設(shè)有磁鐵。
11.如權(quán)利要求4所述的電子零件用電鍍夾具，其中，以各電子零件被磁力向網(wǎng)狀陰極的一面?zhèn)鹊姆较蛭姆绞剑谇笆鼍W(wǎng)狀陰極的另一面?zhèn)壬?，與供前述各電子零件插入的筒狀部相對(duì)應(yīng)地設(shè)有磁鐵。
12.如權(quán)利要求6所述的電子零件用電鍍夾具，其中，以各電子零件被磁力向網(wǎng)狀陰極的一面?zhèn)鹊姆较蛭姆绞剑谇笆鼍W(wǎng)狀陰極的另一面?zhèn)壬?，與供前述各電子零件插入的筒狀部相對(duì)應(yīng)地設(shè)有磁鐵。
13.如權(quán)利要求7所述的電子零件用電鍍夾具，其中，以各電子零件被磁力向網(wǎng)狀陰極的一面?zhèn)鹊姆较蛭姆绞?，在前述網(wǎng)狀陰極的另一面?zhèn)壬希c供前述各電子零件插入的筒狀部相對(duì)應(yīng)地設(shè)有磁鐵。
14.如權(quán)利要求8所述的電子零件用電鍍夾具，其中，以各電子零件被磁力向網(wǎng)狀陰極的一面?zhèn)鹊姆较蛭姆绞?，在前述網(wǎng)狀陰極的另一面?zhèn)壬希c供前述各電子零件插入的筒狀部相對(duì)應(yīng)地設(shè)有磁鐵。
15.如權(quán)利要求9所述的電子零件用電鍍夾具，其中，各磁鐵被埋設(shè)在形成有可使電解電鍍液通過(guò)的多個(gè)貫通孔的由電絕緣性材料構(gòu)成的基臺(tái)的規(guī)定的位置上。
16.如權(quán)利要求10所述的電子零件用電鍍夾具，其中，各磁鐵被埋設(shè)在形成有可使電解電鍍液通過(guò)的多個(gè)貫通孔的由電絕緣性材料構(gòu)成的基臺(tái)的規(guī)定的位置上。
17.如權(quán)利要求11所述的電子零件用電鍍夾具，其中，各磁鐵被埋設(shè)在形成有可使電解電鍍液通過(guò)的多個(gè)貫通孔的由電絕緣性材料構(gòu)成的基臺(tái)的規(guī)定的位置上。
18.如權(quán)利要求12所述的電子零件用電鍍夾具，其中，各磁鐵被埋設(shè)在形成有可使電解電鍍液通過(guò)的多個(gè)貫通孔的由電絕緣性材料構(gòu)成的基臺(tái)的規(guī)定的位置上。
19.如權(quán)利要求13所述的電子零件用電鍍夾具，其中，各磁鐵被埋設(shè)在形成有可使電解電鍍液通過(guò)的多個(gè)貫通孔的由電絕緣性材料構(gòu)成的基臺(tái)的規(guī)定的位置上。
20.如權(quán)利要求14所述的電子零件用電鍍夾具，其中，各磁鐵被埋設(shè)在形成有可使電解電鍍液通過(guò)的多個(gè)貫通孔的由電絕緣性材料構(gòu)成的基臺(tái)的規(guī)定的位置上。
21.一種電解電鍍裝置，它是使包括基座和接地引線的多個(gè)電子零件各自定位、對(duì)由形成前述電子零件的金屬構(gòu)成的各部件的露出面的整個(gè)面實(shí)施電解電鍍的電解電鍍裝置，其中所述的基座通過(guò)玻璃等絕緣材料密封著被插入到形成在金屬制部件的平坦部上的貫通孔內(nèi)的引線，接地引線一端部與前述金屬制部件的一面?zhèn)认嘟雍?；其特征在于，設(shè)有權(quán)利要求1所述的電鍍夾具，并設(shè)有以通過(guò)流經(jīng)前述電鍍夾具的各筒狀部?jī)?nèi)的電解電鍍液的液流、按壓被插入到前述筒狀部中的電子零件而將引線以及接地引線的各前端面按壓到前述網(wǎng)狀陰極上的方式向前述電鍍夾具供給電解電鍍液的供給裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供可使多個(gè)電子零件的引線及接地引線與陰極可靠地接觸、并可抑制發(fā)生在引線及接地引線上的電鍍?nèi)毕莸碾娮恿慵秒婂儕A具。其是使由基座12和接地引線18構(gòu)成的多個(gè)頭部10定位、對(duì)由形成頭部10的金屬構(gòu)成的各部件實(shí)施電解電鍍的電鍍夾具30，基座12將插入金屬制部件的貫通孔內(nèi)的引線16、16密封，接地引線18一端部與金屬制部件的一面?zhèn)冉雍希邆浣饘僦频木W(wǎng)狀陰極32，其具有比各引線的前端直徑細(xì)的網(wǎng)孔，且被設(shè)在各引線的前端可接觸的位置上；筒狀部，可插入各頭部10，并將其向網(wǎng)狀陰極32導(dǎo)引，同時(shí)可供電解電鍍液以流動(dòng)而將各引線向網(wǎng)狀陰極上32按壓；以及陽(yáng)極，被配設(shè)為使頭部10位于其與網(wǎng)狀陰極32之間。
文檔編號(hào)C25D17/00GK1621572SQ20041008602
公開(kāi)日2005年6月1日 申請(qǐng)日期2004年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月26日
發(fā)明者神通川泉, 林英信, 青木利幸 申請(qǐng)人:新光電氣工業(yè)株式會(huì)社