技術(shù)特征：

1.一種封存孤立超細小簇的設(shè)備，其特征在于，該設(shè)備包括：采用隔離閥分割的第一處理室與第二處理室，所述第一處理室用于沉積超細小簇，所述第二處理室通入CO₂氣體，所述第二處理室上設(shè)置一傳送桿，所述傳送桿通入第二處理室并可開通隔離閥通入至第一處理室內(nèi)。

2.按照權(quán)利要求1所述的封存孤立超細小簇的設(shè)備，其特征在于，所述第一處理室上安裝有真空管道用于連接真空泵，所述第一處理室內(nèi)設(shè)置超粒子流槍對準所述第一處理室的樣品臺。

3.按照權(quán)利要求1所述的封存孤立超細小簇的設(shè)備，其特征在于，所述第二處理室上安裝有真空管道用于連接真空泵，并設(shè)置CO₂罐體通過閥門控制連接至第二處理室。

4.按照權(quán)利要求2所述的封存孤立超細小簇的設(shè)備，其特征在于，第一處理室的樣品臺為中空結(jié)構(gòu)，內(nèi)通入液氮。

5.按照權(quán)利要求1所述的封存孤立超細小簇的設(shè)備，其特征在于，所述第二處理室內(nèi)設(shè)置冷卻臺，所述冷卻臺為中空結(jié)構(gòu)，內(nèi)通入液氮。

6.按照權(quán)利要求1所述的封存孤立超細小簇的設(shè)備，其特征在于，所述傳送桿的端部為樣品托架。

7.一種封存孤立超細小簇的方法，其特征在于，包括如下的步驟：

設(shè)置隔離閥分割的第一處理室與第二處理室；

對兩個處理室抽真空；

對第一處理室與第二處理室采用液氮冷卻；

在第二處理室內(nèi)充入CO₂氣體，在液氮的冷卻下制備成薄干冰；

傳輸薄干冰至第一處理室內(nèi)，沉積超細小顆粒后撤回第二處理室再行冰封。

8.按照權(quán)利要求7所述的封存孤立超細小簇的方法，其特征在于，兩個處理室的背景真空度為10^-4Pa。

9.按照權(quán)利要求7所述的封存孤立超細小簇的方法，其特征在于，冰封后將隔離閥關(guān)閉后，打開第二處理室取出。