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一種雙面芯片及環(huán)境傳感器的制作方法

文檔序號:11541297閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型公開了一種雙面芯片及環(huán)境傳感器。該雙面芯片,包括一片晶元,所述晶元包括兩個相對的面;所述晶元的一面為ASIC線路層,所述ASIC線路層為直接在所述晶元上加工而成;所述晶元的另一面為MEMS層,所述MEMS層為直接在所述晶元上加工而成;所述ASIC線路層與所述MEMS層電連接。本實用新型的雙面芯片通過將一個晶元進行雙面加工,不但節(jié)省了芯片占用的空間,而且能較好地降低物料成本;且通過貼裝一個雙面結構的芯片,簡化了雙芯片貼裝時的加工工序,進一步降低了加工成本。本實用新型的環(huán)境傳感器通過封裝該雙面芯片,有助于減小最終產品環(huán)境傳感器的體積。

技術研發(fā)人員:端木魯玉
受保護的技術使用者:歌爾科技有限公司
文檔號碼:201621330978
技術研發(fā)日:2016.12.06
技術公布日:2017.08.15

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