技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種具有增強(qiáng)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的微機(jī)電元件，包含多個金屬層，多個金屬層包含一最上金屬層，此最上金屬層包含多個獨(dú)立金屬段；其中，該多個獨(dú)立金屬段分別通過至少一支持柱以連接至相鄰的金屬層，且在該最上層獨(dú)立金屬段與該相鄰的金屬層之間除了支持柱外，無介電層設(shè)置于其中；除該最上金屬層外，其余金屬層分別通過至少一支持柱及一介電層而與相鄰的金屬層彼此連接。

技術(shù)研發(fā)人員：孫志銘;蔡明翰;徐新惠;王維中
受保護(hù)的技術(shù)使用者：原相科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2013.10.14
技術(shù)公布日：2017.08.25