技術(shù)編號(hào)：11454523
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。具有增強(qiáng)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的微機(jī)電元件本申請(qǐng)為2013年10月14日提交的、申請(qǐng)?zhí)枮?01310478753.9的、發(fā)明名稱為“具有增強(qiáng)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的微機(jī)電元件”的申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種具有增強(qiáng)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的微機(jī)電元件，特別是其中構(gòu)成微機(jī)電結(jié)構(gòu)的最上金屬層具有多個(gè)獨(dú)立金屬段、及/或其中構(gòu)成微機(jī)電結(jié)構(gòu)的最下金屬層具有連續(xù)結(jié)構(gòu)的微機(jī)電元件。背景技術(shù)參照?qǐng)D1，其中顯示一現(xiàn)有技術(shù)的微機(jī)電元件10的示意圖，其可作為一定子(Stator)或一動(dòng)子(Rotor)。微機(jī)電元件10包含微機(jī)電結(jié)構(gòu)101和電訊號(hào)傳遞線...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。