技術(shù)總結(jié)
一種電容式指紋傳感器及其形成方法和電子產(chǎn)品。其中，電容式指紋傳感器的形成方法包括：提供前端器件層；在前端器件層上形成金屬互連結(jié)構(gòu)；形成金屬互連結(jié)構(gòu)至少包括：形成次頂層金屬互連層；在次頂層金屬互連層上形成第一絕緣層；在第一絕緣層中形成第一通孔，第一通孔暴露至少部分次頂層金屬互連層；在第一通孔內(nèi)形成第一插塞；在第一絕緣層和第一插塞上形成第一刻蝕停止層；在第一刻蝕停止層上形成第二絕緣層；在第二絕緣層和第一刻蝕停止層中形成第二通孔，第二通孔暴露至少部分第一插塞表面；在第二通孔內(nèi)形成第二插塞；在第二絕緣層和第二插塞上方形成頂層金屬互連層。所述形成方法形成的電容式指紋傳感器中，指紋識別靈敏度提高。

技術(shù)研發(fā)人員：高燕
受保護的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
文檔號碼：201510916676
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.10
技術(shù)公布日：2017.06.20