技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種用于制造用于MEMS裝置的光學(xué)窗裝置的方法，其具有以下步驟：在具有凹槽的襯底上施加由透明材料構(gòu)成的層；使所述層變形，從而所述層被折疊并且所述層的經(jīng)變形的區(qū)域構(gòu)成光學(xué)窗。

技術(shù)研發(fā)人員：S·平特
受保護(hù)的技術(shù)使用者：羅伯特·博世有限公司
文檔號碼：201310147950
技術(shù)研發(fā)日：2013.04.25
技術(shù)公布日：2017.04.12