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集成有運動傳感器的納米探針N/MEMS裝置、方法和應(yīng)用與流程

文檔序號:12007423閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種多尖端納米探針裝置,和一種在使用多尖納米探針裝置的同時用于探測樣品的方法,其均使用位于襯底上的:(1)相對于襯底的不可移動的探針尖端;(2)相對于襯底的可移動的探針尖端;以及(3)與可移動的探針尖端耦接的運動傳感器。由于運動傳感器與可移動的探針尖端的緊密耦接以及可移動探針尖端相對于不可移動探針尖端的可縮進(jìn)性,這種多尖端納米探針裝置和相關(guān)方法提供了改進(jìn)的樣品探測。

技術(shù)研發(fā)人員:A·拉爾;K·阿姆龐薩
受保護(hù)的技術(shù)使用者:康奈爾大學(xué)
文檔號碼:201280068948
技術(shù)研發(fā)日:2012.12.17
技術(shù)公布日:2017.03.01

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