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制造具有電連接的前板和后板的mems的制作方法

文檔序號(hào):5269995閱讀:156來(lái)源:國(guó)知局

專利名稱::制造具有電連接的前板和后板的mems的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明的領(lǐng)域涉及顯示器和加速度計(jì)。
背景技術(shù)
:微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)包含微機(jī)械元件、激活器和電子元件。可使用沉積、蝕刻和/或蝕刻掉襯底和/或已沉積材料層的部分或者添加層以形成電裝置和機(jī)電裝置的其它微加工工藝來(lái)產(chǎn)生微機(jī)械元件。一種類型的MEMS裝置稱作干涉式調(diào)制器。如本文中使用,術(shù)語(yǔ)干涉式調(diào)制器或干涉光調(diào)制器指代使用光學(xué)干涉的原理選擇性地透射、吸收和/或反射光的裝置。在某些實(shí)施例中,干涉式調(diào)制器可包括一對(duì)導(dǎo)電板,所述導(dǎo)電板中的一者或兩者可為完全或部分透明的和/或反射的且能夠在施加適當(dāng)電信號(hào)時(shí)相對(duì)運(yùn)動(dòng)。在特定實(shí)施例中,一板可包括沉積于襯底上的固定層且另一板可包括通過(guò)空氣間隙與固定層分離的金屬隔膜。如本文中更詳細(xì)地描述,一板相對(duì)于另一板的位置可改變?nèi)肷溆诟缮媸秸{(diào)制器上的光的光學(xué)干涉。這些裝置具有廣泛范圍的應(yīng)用,且在此項(xiàng)技術(shù)中,利用和/或修改這些類型的裝置的特性使得其特征可被發(fā)掘用于改進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品和創(chuàng)建尚未開(kāi)發(fā)的新產(chǎn)品將是有益的。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的系統(tǒng)、方法及裝置各自具有若干方面,其中無(wú)單一方面單獨(dú)地負(fù)責(zé)其所要屬性。在不限制本發(fā)明的范圍的情況下,現(xiàn)將簡(jiǎn)要地論述其較顯著的特征。在考慮此論述之后,且尤其在閱讀標(biāo)題為“具體實(shí)施方式”的部分之后,將理解本發(fā)明的特征如何提供優(yōu)于其它顯示器裝置的優(yōu)點(diǎn)。一個(gè)方面為一種制造機(jī)電裝置的方法,所述方法包括將導(dǎo)電凸起輪廓印刷到非導(dǎo)電后板上;將所述后板與非導(dǎo)電前板對(duì)準(zhǔn),使得所述凸起輪廓與所述前板上的導(dǎo)電布線對(duì)準(zhǔn)以電連接所述凸起輪廓與所述布線;以及密封所述后板與所述前板。另一方面為一種用于制造機(jī)電裝置的系統(tǒng),所述系統(tǒng)包括印刷機(jī),其經(jīng)配置以將導(dǎo)電凸起輪廓印刷到非導(dǎo)電后板上;坐標(biāo)方位儀,其經(jīng)配置以將所述后板與非導(dǎo)電前板對(duì)準(zhǔn),使得所述凸起輪廓與所述前板上的導(dǎo)電布線對(duì)準(zhǔn)以電連接所述凸起輪廓與所述布線;以及密封器,其經(jīng)配置以密封所述后板與所述前板。另一方面為一種用于制造機(jī)電裝置的系統(tǒng),所述系統(tǒng)包括用于將導(dǎo)電凸起輪廓印刷到非導(dǎo)電后板上的裝置;用于將所述后板與非導(dǎo)電前板對(duì)準(zhǔn),使得所述凸起輪廓與所述前板上的導(dǎo)電布線對(duì)準(zhǔn)以電連接所述凸起輪廓與所述布線的裝置;以及用于密封所述后板與所述前板的裝置。圖I是描繪干涉式調(diào)制器顯示器的一個(gè)實(shí)施例的一部分的等角視圖,其中第一干涉式調(diào)制器的可移動(dòng)反射層處于松弛位置,且第二干涉式調(diào)制器的可移動(dòng)反射層處于激活位置。圖2是說(shuō)明并有3X3干涉式調(diào)制器顯示器的電子裝置的一個(gè)實(shí)施例的系統(tǒng)框圖。圖3是圖I的干涉式調(diào)制器的一個(gè)示范性實(shí)施例的可移動(dòng)鏡位置對(duì)所施加電壓的圖。圖4是可用于驅(qū)動(dòng)干涉式調(diào)制器顯示器的一組行電壓和列電壓的說(shuō)明。圖5A和圖5B說(shuō)明可用以將顯示器數(shù)據(jù)的幀寫(xiě)入圖2的3X3干涉式調(diào)制器顯示器的行信號(hào)及列信號(hào)的一個(gè)示范性時(shí)序圖。圖6A和圖6B是說(shuō)明包括復(fù)數(shù)個(gè)干涉式調(diào)制器的視覺(jué)顯示器裝置的實(shí)施例的系統(tǒng)框圖。圖7A是圖I的裝置的橫截面。圖7B是干涉式調(diào)制器的替代實(shí)施例的橫截面。圖7C是干涉式調(diào)制器的另一替代實(shí)施例的橫截面。圖7D是干涉式調(diào)制器的又一替代實(shí)施例的橫截面。圖7E是干涉式調(diào)制器的額外替代實(shí)施例的橫截面。圖8A至圖8D是處于各制造階段的后板的平面圖。圖9A是對(duì)準(zhǔn)的前板和后板的平面圖。圖9B是具有密封的前板和后板的顯示器裝置的平面圖。圖10是制造具有電連接的前板和后板的顯示器裝置的方法的流程圖。圖11是用于制造具有電耦合的前板和后板的顯示器裝置的系統(tǒng)的框圖。具體實(shí)施例方式以下詳細(xì)描述針對(duì)本發(fā)明的某些特定實(shí)施例。然而,本發(fā)明可以許多不同方式體現(xiàn)。在此描述中,參考圖式,其中通篇以相似數(shù)字表示相似部件。如從以下描述中將顯而易見(jiàn),所述實(shí)施例可在經(jīng)配置以顯示圖像的任何裝置中實(shí)施,不論圖像是運(yùn)動(dòng)的(例如,視頻)還是固定的(例如,靜止圖像)且不論是文字還是圖畫(huà)的。更明確地說(shuō),預(yù)期所述實(shí)施例可在多種電子裝置中實(shí)施或與多種電子裝置關(guān)聯(lián),所述多種電子裝置例如(但不限于)移動(dòng)電話、無(wú)線裝置、個(gè)人數(shù)據(jù)助理(PDA)、手提式或便攜式計(jì)算機(jī)、GPS接收器/導(dǎo)航器、相機(jī)、MP3播放器、攝像機(jī)、游戲控制臺(tái)、手表、時(shí)鐘、計(jì)算器、電視監(jiān)視器、平板顯示器、計(jì)算機(jī)監(jiān)視器、汽車(chē)顯示器(例如,里程表顯示器等)、座艙控制器和/或顯示器、相機(jī)視圖的顯示器(例如,車(chē)輛中后視相機(jī)的顯示器)、電子相片、電子廣告牌或指示牌、投影儀、建筑結(jié)構(gòu)、包裝和美學(xué)結(jié)構(gòu)(例如,關(guān)于一件珠寶的圖像的顯示器)。具有與本文中描述的裝置結(jié)構(gòu)類似的結(jié)構(gòu)的MEMS裝置也可用于例如電子切換裝置的非顯示器應(yīng)用中。顯示器裝置的一個(gè)實(shí)施例包括形成于襯底(前板)上的復(fù)數(shù)個(gè)顯示器元件和導(dǎo)電布線,且也包括后板以尤其提供對(duì)顯示器元件的額外支撐并保護(hù)顯示器元件。因?yàn)榍鞍迳系膶?dǎo)電布線的放置、大小和結(jié)構(gòu)受其可能的可見(jiàn)性限制,所以顯示器裝置的額外功能性可通過(guò)將電布線沉積于后板上并電連接前板上的布線與后板上的布線來(lái)實(shí)現(xiàn)。在一個(gè)實(shí)施例中,在制造期間使用噴墨印刷將電氣布線印刷到后板上。在其它實(shí)施例中,通過(guò)電鍍、凸起噴砂或屏幕印刷來(lái)沉積電氣布線。圖I中說(shuō)明包括干涉式MEMS顯示器元件的一個(gè)干涉式調(diào)制器顯示器的實(shí)施例。在這些裝置中,像素處于明亮狀態(tài)或黑暗狀態(tài)。在明亮(“接通”或“開(kāi)啟”)狀態(tài)下,顯示器元件將入射可見(jiàn)光的大部分反射到用戶。當(dāng)在黑暗(“斷開(kāi)”或“關(guān)閉”)狀態(tài)下時(shí),顯示器元件將極少的入射可見(jiàn)光反射到用戶。依據(jù)實(shí)施例而定,可顛倒“接通”和“斷開(kāi)”狀態(tài)的光反射性質(zhì)。MEMS像素可經(jīng)配置而主要在選定的顏色處反射,從而允許除了黑白顯示以外的彩色顯示。圖I是描繪視覺(jué)顯示器的一系列像素中的兩個(gè)鄰近像素的等角視圖,其中每一像素包括MEMS干涉式調(diào)制器。在一些實(shí)施例中,干涉式調(diào)制器顯示器包括這些干涉式調(diào)制器的一行/列陣列。每一干涉式調(diào)制器包含一對(duì)反射層,其定位成彼此相距可變且可控制的距離以形成具有至少一個(gè)可變尺寸的諧振光學(xué)腔。在一個(gè)實(shí)施例中,可在兩個(gè)位置之間移動(dòng)所述反射層的一者。在第一位置(本文中稱為松弛位置)中,可移動(dòng)反射層定位成距固定部分反射層相對(duì)較大的距離。在第二位置(本文中稱為激活位置)中,可移動(dòng)反射層定位成更緊密鄰近所述部分反射層。視可移動(dòng)反射層的位置而定,從所述兩個(gè)層反射的入射光相長(zhǎng)地或相消地進(jìn)行干涉,從而為每一像素產(chǎn)生全反射狀態(tài)或非反射狀態(tài)。圖I中像素陣列的所描繪部分包含兩個(gè)鄰近干涉式調(diào)制器12a和12b。在左側(cè)干涉式調(diào)制器12a中,說(shuō)明可移動(dòng)反射層14a處于距包含部分反射層的光學(xué)堆疊16a預(yù)定距離處的松弛位置中。在右側(cè)干涉式調(diào)制器12b中,說(shuō)明可移動(dòng)反射層14b處于鄰近光學(xué)堆疊16b的激活位置中。如本文所引用的光學(xué)堆疊16a和16b(統(tǒng)稱為光學(xué)堆疊16)通常包括若干熔合層(fusedlayer),所述熔合層可包含例如氧化銦錫(ITO)的電極層、例如鉻的部分反射層和透明電介質(zhì)。因此,光學(xué)堆疊16是導(dǎo)電的、部分透明且部分反射的,且可(例如)通過(guò)將上述層的一者或一者以上沉積到透明襯底20上來(lái)制造。在一些實(shí)施例中,所述層經(jīng)圖案化成為多個(gè)平行條帶,且如下文中進(jìn)一步描述,可在顯示器裝置中形成行電極。可移動(dòng)反射層14a、14b可形成為沉積金屬層(一層或多層)的一系列平行條帶(與行電極16a、16b垂直),所述金屬層沉積在柱18和沉積于柱18之間的介入犧牲材料的頂部上。當(dāng)蝕刻掉犧牲材料時(shí),可移動(dòng)反射層14a、14b通過(guò)所界定的間隙19而與光學(xué)堆疊16a、16b分離。例如鋁的高度導(dǎo)電且反射的材料可用于反射層14,且這些條帶可在顯示器裝置中形成列電極。在不施加電壓的情況下,腔19保留在可移動(dòng)反射層14a與光學(xué)堆疊16a之間,其中可移動(dòng)反射層14a處于機(jī)械松弛狀態(tài),如圖I中像素12a所說(shuō)明。然而,當(dāng)將電位差施加到選定的行和列時(shí),形成于相應(yīng)像素處的行電極與列電極的交叉處的電容器變得帶電,且靜電力將所述電極拉在一起。如果電壓足夠高,那么可移動(dòng)反射層14變形且被迫抵靠光學(xué)堆疊16。光學(xué)堆疊16內(nèi)的介電層(在此圖中未圖示)可防止短路并控制層14與16之間的分離距離,如圖I中右側(cè)的像素12b所說(shuō)明。不管所施加的電位差的極性如何,表現(xiàn)均相同。以此方式,可控制反射像素狀態(tài)對(duì)非反射像素狀態(tài)的行/列激活在許多方面類似于常規(guī)LCD和其它顯示技術(shù)中所使用的行/列激活。圖2到5說(shuō)明在顯示器應(yīng)用中使用干涉式調(diào)制器陣列的一種示范性工藝和系統(tǒng)。圖2是說(shuō)明可并入有本發(fā)明各方面的電子裝置的一個(gè)實(shí)施例的系統(tǒng)框圖。在所述示范性實(shí)施例中,所述電子裝置包含處理器21,處理器21可為任何通用單芯片或多芯片微處理器(例如ARM、Pentium、PentiumH、PentiumHF、PentiumIV'PentiumPro、8051、MIPS',PowerPC、ALPHA':),或任何專用微處理器(例如數(shù)字信號(hào)處理器、微控制器或可編程門(mén)陣列)。如此項(xiàng)技術(shù)中常規(guī)的做法,處理器21可經(jīng)配置以執(zhí)行一個(gè)或一個(gè)以上軟件模塊。除了執(zhí)行操作系統(tǒng)外,所述處理器可經(jīng)配置以執(zhí)行一個(gè)或一個(gè)以上軟件應(yīng)用程序,包含網(wǎng)絡(luò)瀏覽器、電話應(yīng)用程序、電子郵件程序或任何其它軟件應(yīng)用程序。在一個(gè)實(shí)施例中,處理器21還經(jīng)配置以與陣列驅(qū)動(dòng)器22通信。在一個(gè)實(shí)施例中,所述陣列驅(qū)動(dòng)器22包含將信號(hào)提供到面板或顯示器陣列(顯示器)30的行驅(qū)動(dòng)器電路24和列驅(qū)動(dòng)器電路26。在圖2中以線1-1展示圖I中說(shuō)明的陣列的橫截面。對(duì)于MEMS干涉式調(diào)制器來(lái)說(shuō),行/列激活協(xié)議可利用圖3中說(shuō)明的這些裝置的滯后性質(zhì)。可能需要(例如)10伏的電位差來(lái)促使可移動(dòng)層從松弛狀態(tài)變形為激活狀態(tài)。然而,當(dāng)電壓從所述值減小時(shí),可移動(dòng)層在電壓降回10伏以下時(shí)維持其狀態(tài)。在圖3的示范性實(shí)施例中,可移動(dòng)層直到電壓降到2伏以下時(shí)才完全松弛。因此,在圖3中說(shuō)明的實(shí)例中存在約3V到7V的電壓范圍,在所述范圍中存在所施加電壓的窗口,在所述窗口內(nèi)裝置在松弛狀態(tài)或激活狀態(tài)中是穩(wěn)定的。此在本文中稱作“滯后窗口”或“穩(wěn)定窗口”。對(duì)于具有圖3的滯后特性的顯示器陣列來(lái)說(shuō),可設(shè)計(jì)行/列激活協(xié)議使得在行選通期間,已選通行中待激活的像素暴露于約10伏的電壓差,且待松弛的像素暴露于接近零伏的電壓差。在選通之后,所述像素暴露于約5伏的穩(wěn)態(tài)電壓差使得其維持在行選通使其所處的任何狀態(tài)中。在此實(shí)例中,每一像素在被寫(xiě)入之后經(jīng)歷3到7伏的“穩(wěn)定窗口”內(nèi)的電位差。此特征使圖I中說(shuō)明的像素設(shè)計(jì)在相同的施加電壓條件下在激活或松弛預(yù)存在狀態(tài)下是穩(wěn)定的。因?yàn)楦缮媸秸{(diào)制器的每一像素(不論處于激活還是松弛狀態(tài))本質(zhì)上是由固定反射層和移動(dòng)反射層形成的電容器,所以可在滯后窗口內(nèi)的一電壓下維持此穩(wěn)定狀態(tài)而幾乎無(wú)功率耗散。本質(zhì)上,如果所施加的電壓是固定的,那么沒(méi)有電流流入像素中。在典型應(yīng)用中,可通過(guò)根據(jù)第一行中所需組的激活像素?cái)嘌运鼋M列電極來(lái)產(chǎn)生顯示幀。接著將行脈沖施加到行I電極,從而激活對(duì)應(yīng)于所斷言的列線的像素。接著改變所述組已斷言列電極以對(duì)應(yīng)于第二行中所需組的激活像素。接著將脈沖施加到行2電極,從而根據(jù)已斷言的列電極而激活行2中的適當(dāng)像素。行I像素不受行2脈沖影響,且維持在其在行I脈沖期間被設(shè)定的狀態(tài)中??梢赃B續(xù)方式對(duì)整個(gè)系列的行重復(fù)此過(guò)程以產(chǎn)生幀。通常,通過(guò)以每秒某一所需數(shù)目的幀的速度連續(xù)地重復(fù)此過(guò)程來(lái)用新的顯示數(shù)據(jù)刷新和/或更新所述幀。用于驅(qū)動(dòng)像素陣列的行電極和列電極以產(chǎn)生顯示幀的廣泛范圍的協(xié)議也是眾所周知的且可結(jié)合本發(fā)明使用。圖4和5說(shuō)明用于在圖2的3X3陣列上形成顯示幀的一個(gè)可能的激活協(xié)議。圖4說(shuō)明可用于使像素展示出圖3的滯后曲線的一組可能的列和行電壓電平。在圖4的實(shí)施例中,激活像素涉及將適當(dāng)列設(shè)定為-Vbias,且將適當(dāng)行設(shè)定為+AV,-Vbias和+AV可分別對(duì)應(yīng)于-5伏和+5伏。松弛像素是通過(guò)將適當(dāng)列設(shè)定為+Vbias,且將適當(dāng)行設(shè)定為相同的+AV,從而在像素上產(chǎn)生零伏電位差而實(shí)現(xiàn)的。在行電壓維持在零伏的那些行中,不管列處于+Vbias還是-Vbias,像素在任何其最初所處的狀態(tài)中是穩(wěn)定的。也如圖4中說(shuō)明,將了解,可使用與上述電壓為相反極性的電壓,例如,激活像素可涉及將適當(dāng)列設(shè)定為+Vbias,且將適當(dāng)行設(shè)定為-AV。在此實(shí)施例中,釋放像素是通過(guò)將適當(dāng)列設(shè)定為-Vbias,且將適當(dāng)行設(shè)定為相同的-AV,從而在像素上產(chǎn)生零伏電位差而實(shí)現(xiàn)的。圖5B是展示施加到圖2的3X3陣列的一系列行信號(hào)和列信號(hào)的時(shí)序圖,所述系列的行信號(hào)和列信號(hào)將產(chǎn)生圖5A中說(shuō)明的顯示器布置,其中被激活像素為非反射的。在對(duì)圖5A中說(shuō)明的幀進(jìn)行寫(xiě)入之前,像素可處于任何狀態(tài),且在本實(shí)例中所有行均處于O伏,且所有列均處于+5伏。在這些所施加的電壓的情況下,所有像素在其既有的激活或松弛狀態(tài)中是穩(wěn)定的。在圖5A的幀中,像素(1,1)、(1,2)、(2,2)、(3,2)和(3,3)被激活。為了實(shí)現(xiàn)此目的,在行I的“線時(shí)間(linetime)”期間,將列I和2設(shè)定為-5伏,且將列3設(shè)定為+5伏。因?yàn)樗邢袼鼐A粼?到7伏的穩(wěn)定窗口中,所以這并不改變?nèi)魏蜗袼氐臓顟B(tài)。接著用從0升到5伏且返回零的脈沖選通行I。這激活了(1,1)和(1,2)像素且松弛了(1,3)像素。陣列中其它像素均不受影響。為了視需要設(shè)定行2,將列2設(shè)定為-5伏,且將列I和3設(shè)定為+5伏。施加到行2的相同選通接著將激活像素(2,2)且松弛像素(2,I)和(2,3)。同樣,陣列中其它像素均不受影響。通過(guò)將列2和3設(shè)定為-5伏且將列I設(shè)定為+5伏來(lái)類似地設(shè)定行3。行3選通設(shè)定行3像素,如圖5A中所示。在對(duì)幀進(jìn)行寫(xiě)入之后,行電位為零,且列電位可維持在+5或-5伏,且接著顯示器在圖5A的布置中是穩(wěn)定的。將了解,可將相同程序用于數(shù)干或數(shù)百個(gè)行和列的陣列。還將了解,用以執(zhí)行行和列激活的電壓的時(shí)序、序列和電平可在上文所概述的一般原理內(nèi)廣泛變化,且上文的實(shí)例僅為示范性的,且任何激活電壓方法可與本文中描述的系統(tǒng)和方法一起使用。圖6A和6B是說(shuō)明顯示器裝置40的實(shí)施例的系統(tǒng)框圖。顯示器裝置40可為(例如)蜂窩式電話或移動(dòng)電話。然而,顯示器裝置40的相同組件或其稍微變化形式也說(shuō)明例如電視和便攜式媒體播放器的各種類型的顯示器裝置。顯示器裝置40包含外殼41、顯示器30、天線43、揚(yáng)聲器45、輸入裝置48和麥克風(fēng)46。外殼41通常由所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員眾所周知的多種制造工藝的任一者形成,所述工藝包含注射模制和真空成形。另外,外殼41可由多種材料的任一者制成,所述材料包含(但不限于)塑料、金屬、玻璃、橡膠和陶瓷,或其組合。在一個(gè)實(shí)施例中,外殼41包含可去除部分(未圖示),所述可去除部分可與其它具有不同顏色或含有不同標(biāo)記、圖畫(huà)或符號(hào)的可去除部分互換。如本文中所描述,示范性顯示器裝置40的顯示器30可為包含雙穩(wěn)態(tài)顯示器(bi-stabledisplay)在內(nèi)的多種顯示器的任一者。在其它實(shí)施例中,如所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員眾所周知,顯示器30包含例如如上所述的等離子、EL、OLED,STNIXD或TFTIXD的平板顯示器,或例如CRT或其它管裝置的非平板顯示器。然而,出于描述本實(shí)施例的目的,如本文中所描述,顯示器30包含干涉式調(diào)制器顯示器。圖6B中示意說(shuō)明示范性顯示器裝置40的一個(gè)實(shí)施例的組件。所說(shuō)明的示范性顯示器裝置40包含外殼41且可包含至少部分封圍在所述外殼41中的額外組件。舉例來(lái)說(shuō),在一個(gè)實(shí)施例中,示范性顯示器裝置40包含網(wǎng)絡(luò)接口27,所述網(wǎng)絡(luò)接口27包含耦合到收發(fā)器47的天線43。收發(fā)器47連接到處理器21,處理器21連接到調(diào)節(jié)硬件52。調(diào)節(jié)硬件52可經(jīng)配置以調(diào)節(jié)信號(hào)(例如,對(duì)信號(hào)進(jìn)行濾波)。調(diào)節(jié)硬件52連接到揚(yáng)聲器45和麥克風(fēng)46。處理器21也連接到輸入裝置48和驅(qū)動(dòng)器控制器29。驅(qū)動(dòng)器控制器29耦合到幀緩沖器28且耦合到陣列驅(qū)動(dòng)器22,所述陣列驅(qū)動(dòng)器22進(jìn)而耦合到顯示器陣列30。根據(jù)特定示范性顯示器裝置40設(shè)計(jì)的要求,電源50將電力提供到所有組件。網(wǎng)絡(luò)接口27包含天線43和收發(fā)器47使得示范性顯示器裝置40可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與一個(gè)或一個(gè)以上裝置通信。在一個(gè)實(shí)施例中,網(wǎng)絡(luò)接口27也可具有某些處理能力以減輕對(duì)處、理器21的要求。天線43是所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員已知的用于傳輸和接收信號(hào)的任何天線。在一個(gè)實(shí)施例中,所述天線根據(jù)IEEE802.11標(biāo)準(zhǔn)(包含IEEE802.11(a)、(b)或(g))來(lái)傳輸和接收RF信號(hào)。在另一實(shí)施例中,所述天線根據(jù)藍(lán)牙(BLUETOOTH)標(biāo)準(zhǔn)來(lái)傳輸和接收RF信號(hào)。在蜂窩式電話的情況下,所述天線經(jīng)設(shè)計(jì)以接收CDMA、GSM、AMPS或其它用以在無(wú)線手機(jī)網(wǎng)絡(luò)內(nèi)通信的已知信號(hào)。收發(fā)器47預(yù)處理從天線43接收到的信號(hào),使得處理器21可接收所述信號(hào)并進(jìn)一步對(duì)所述信號(hào)進(jìn)行處理。收發(fā)器47還處理從處理器21接收到的信號(hào)使得可通過(guò)天線43從示范性顯示器裝置40傳輸所述信號(hào)。在替代實(shí)施例中,收發(fā)器47可由接收器代替。在又一替代實(shí)施例中,網(wǎng)絡(luò)接口27可由可存儲(chǔ)或產(chǎn)生待發(fā)送到處理器21的圖像數(shù)據(jù)的圖像源代替。舉例來(lái)說(shuō),所述圖像源可為數(shù)字視頻光盤(pán)(DVD)或含有圖像數(shù)據(jù)的硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器,或產(chǎn)生圖像數(shù)據(jù)的軟件模塊。處理器21大致上控制示范性顯示器裝置40的全部操作。處理器21接收例如來(lái)自網(wǎng)絡(luò)接口27或圖像源的壓縮圖像數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù),并將所述數(shù)據(jù)處理成原始圖像數(shù)據(jù)或處理成易被處理成原始圖像數(shù)據(jù)的格式。處理器21接著將已處理的數(shù)據(jù)發(fā)送到驅(qū)動(dòng)器控制器29或發(fā)送到幀緩沖器28以供存儲(chǔ)。原始數(shù)據(jù)通常是指識(shí)別圖像內(nèi)每一位置處的圖像特性的信息。舉例來(lái)說(shuō),這些圖像特性可包含顏色、飽和度和灰度級(jí)。在一個(gè)實(shí)施例中,處理器21包含微控制器、CPU或邏輯單元以控制示范性顯示器裝置40的操作。調(diào)節(jié)硬件52通常包含放大器和濾波器,以用于將信號(hào)傳輸?shù)綋P(yáng)聲器45,且用于從麥克風(fēng)46接收信號(hào)。調(diào)節(jié)硬件52可為示范性顯示器裝置40內(nèi)的離散組件,或可并入于處理器21或其它組件內(nèi)。驅(qū)動(dòng)器控制器29直接從處理器21或從幀緩沖器28取得由處理器21產(chǎn)生的原始圖像數(shù)據(jù),并適當(dāng)?shù)刂匦赂袷交鲈紙D像數(shù)據(jù)以供高速傳輸?shù)疥嚵序?qū)動(dòng)器22。具體來(lái)說(shuō),驅(qū)動(dòng)器控制器29將原始圖像數(shù)據(jù)重新格式化為具有光柵樣格式的數(shù)據(jù)流,使得其具有適于在顯示器陣列30上進(jìn)行掃描的時(shí)間次序。接著,驅(qū)動(dòng)器控制器29將已格式化的信息發(fā)送到陣列驅(qū)動(dòng)器22。盡管驅(qū)動(dòng)器控制器29(例如IXD控制器)通常與系統(tǒng)處理器21關(guān)聯(lián)而作為獨(dú)立的集成電路(1C),但可以許多方式實(shí)施這些控制器。它們可作為硬件嵌入處理器21中,作為軟件嵌入處理器21中,或與陣列驅(qū)動(dòng)器22完全集成在硬件中。通常,陣列驅(qū)動(dòng)器22從驅(qū)動(dòng)器控制器29接收已格式化的信息且將視頻數(shù)據(jù)重新格式化為一組平行波形,所述波形以每秒多次的速度被施加到來(lái)自顯示器的x_y像素矩陣的數(shù)百且有時(shí)數(shù)千個(gè)引線。在一個(gè)實(shí)施例中,驅(qū)動(dòng)器控制器29、陣列驅(qū)動(dòng)器22和顯示器陣列30適用于本文中所描述類型的顯示器的任一者。舉例來(lái)說(shuō),在一個(gè)實(shí)施例中,驅(qū)動(dòng)器控制器29是常規(guī)顯示器控制器或雙穩(wěn)態(tài)顯示器控制器(例如,干涉式調(diào)制器控制器)。在另一實(shí)施例中,陣列驅(qū)動(dòng)器22是常規(guī)驅(qū)動(dòng)器或雙穩(wěn)態(tài)顯示器驅(qū)動(dòng)器(例如,干涉式調(diào)制器顯示器)。在一個(gè)實(shí)施例中,驅(qū)動(dòng)器控制器29與陣列驅(qū)動(dòng)器22集成。此實(shí)施例在例如蜂窩式電話、手表和其它小面積顯示器等高度集成系統(tǒng)中是常見(jiàn)的。在又一實(shí)施例中,顯示器陣列30是典型的顯示器陣列或雙穩(wěn)態(tài)顯示器陣列(例如,包含干涉式調(diào)制器陣列的顯示器)。輸入裝置48允許用戶控制示范性顯示器裝置40的操作。在一個(gè)實(shí)施例中,輸入裝置48包含例如QWERTY鍵盤(pán)或電話小鍵盤(pán)等小鍵盤(pán)、按鈕、開(kāi)關(guān)、觸敏屏幕、壓敏或熱敏隔膜。在一個(gè)實(shí)施例中,麥克風(fēng)46是用于示范性顯示器裝置40的輸入裝置。當(dāng)使用麥克風(fēng)46將數(shù)據(jù)輸入到所述裝置時(shí),用戶可提供聲音命令以用于控制示范性顯示器裝置40的操作。電源50可包含此項(xiàng)技術(shù)中眾所周知的多種能量存儲(chǔ)裝置。舉例來(lái)說(shuō),在一個(gè)實(shí)施例中,電源50是例如鎳鎘電池或鋰離子電池等可再充電電池。在另一實(shí)施例中,電源50是可再生能源、電容器或太陽(yáng)能電池,包含塑料太陽(yáng)能電池和太陽(yáng)能電池涂料。在另一實(shí)施例中,電源50經(jīng)配置以從壁式插座接收電力。在某些實(shí)施方案中,如上文中所描述,控制可編程性駐留在驅(qū)動(dòng)器控制器中,所述驅(qū)動(dòng)器控制器可位于電子顯示器系統(tǒng)中的若干位置中。在某些情況下,控制可編程性駐留在陣列驅(qū)動(dòng)器22中。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解,上述優(yōu)化可實(shí)施在任何數(shù)目的硬件和/或軟件組件中且可以各種配置實(shí)施。根據(jù)上文陳述的原理而操作的干涉式調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)可廣泛變化。舉例來(lái)說(shuō),圖7A到7E說(shuō)明可移動(dòng)反射層14及其支撐結(jié)構(gòu)的五個(gè)不同實(shí)施例。圖7A是圖I的實(shí)施例的橫截面,其中金屬材料條帶14沉積在垂直延伸的支撐件18上。在圖7B中,可移動(dòng)反射層14在系鏈(tether)32上僅在隅角處附接到支撐件。在圖7C中,可移動(dòng)反射層14從可包括柔性金屬的可變形層34懸掛。所述可變形層34直接或間接地連接到圍繞可變形層34的周邊的襯底20。這些連接在本文中稱為支柱。圖7D中說(shuō)明的實(shí)施例具有支柱插塞42,可變形層34擱置在所述支柱插塞42上。如圖7A到7C中,可移動(dòng)反射層14保持懸掛于腔上方,但可變形層34并不通過(guò)填充可變形層34與光學(xué)堆疊16之間的孔而形成所述支柱。而是,支柱由平坦化材料形成,平坦化材料用以形成支柱插塞42。圖7E中說(shuō)明的實(shí)施例是基于圖7D中展示的實(shí)施例,但也可適于與圖7A到7C中說(shuō)明的實(shí)施例以及未圖示的額外實(shí)施例的任一者一起發(fā)揮作用。在圖7E中所示的實(shí)施例中,已使用金屬或其它導(dǎo)電材料的額外層來(lái)形成總線結(jié)構(gòu)44。這允許信號(hào)沿著干涉式調(diào)制器的背面進(jìn)行路由,從而消除許多原本可能必須形成在襯底20上的電極。在例如圖7中所示的那些實(shí)施例的實(shí)施例中,干涉式調(diào)制器充當(dāng)直接觀看裝置,其中從透明襯底20的前側(cè)觀看圖像,所述側(cè)與上面布置有調(diào)制器的一側(cè)相對(duì)。在這些實(shí)施例中,反射層14以光學(xué)方式遮蔽在反射層的與襯底20相對(duì)側(cè)上的干涉式調(diào)制器的一些部分,其包含可變形層34和總線結(jié)構(gòu)44。這允許對(duì)遮蔽區(qū)域進(jìn)行配置和操作而不會(huì)消極地影響圖像質(zhì)量。這種可分離的調(diào)制器結(jié)構(gòu)允許選擇用于調(diào)制器的機(jī)電方面和光學(xué)方面的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料且使其彼此獨(dú)立地發(fā)揮作用。此外,圖7C到7E中所示的實(shí)施例具有源自反射層14的光學(xué)性質(zhì)與其機(jī)械性質(zhì)脫離的額外益處,所述益處由可變形層34執(zhí)行。這允許用于反射層14的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料在光學(xué)性質(zhì)方面得以優(yōu)化,且用于可變形層34的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料在所要機(jī)械性質(zhì)方面得以優(yōu)化。如上文所描述,顯示器裝置的一個(gè)實(shí)施例包括形成于前板上的復(fù)數(shù)個(gè)顯示器元件和導(dǎo)電布線。在一個(gè)實(shí)施例中,顯示器元件為例如圖7A到圖7E中說(shuō)明的干涉式調(diào)制器的干涉式調(diào)制器,且導(dǎo)電布線包含用于驅(qū)動(dòng)如上文關(guān)于圖5A到圖5B描述的干涉式調(diào)制器的行電極和列電極。導(dǎo)電布線也可包含互連圖6A到圖6B中說(shuō)明的顯示器裝置的各種元件的布線。因?yàn)閷?dǎo)電布線可能通過(guò)透明前板可見(jiàn),所以導(dǎo)電布線的放置、大小和結(jié)構(gòu)受限制。舉例來(lái)說(shuō),導(dǎo)電布線可包含在顯示器元件矩陣的周邊的行電極和列電極,行電極和列電極不會(huì)干擾通過(guò)矩陣顯示的圖像的視覺(jué)質(zhì)量。顯示器元件的額外功能性可通過(guò)在后板上形成導(dǎo)電布線并通過(guò)導(dǎo)電凸起輪廓電連接每一板上的導(dǎo)電布線來(lái)實(shí)現(xiàn)。后板上的導(dǎo)電布線的大小、放置和結(jié)構(gòu)受少得多的限制,因?yàn)槠淇煞胖糜陲@示器元件后面而不干擾其視覺(jué)外觀。在一個(gè)實(shí)施例中,將導(dǎo)電凸起輪廓印刷到后板上。在一個(gè)實(shí)施例中,將導(dǎo)電布線或?qū)щ娵E線同時(shí)印刷到后板上,或作為相同印刷工藝的部分而印刷。在另一實(shí)施例中,先前或稍后通過(guò)印刷或某一其它方法將導(dǎo)電布線或跡線形成到后板上。在一個(gè)實(shí)施例中,通過(guò)噴墨印刷來(lái)印刷導(dǎo)電凸起輪廓,而在其它實(shí)施例中,通過(guò)電鍍、凸起噴砂或屏幕印刷而沉積輪廓。圖8A到圖8D展示處于各制造階段的后板。在圖8A中,后板800作為襯底810開(kāi)始。襯底810可為許多材料中的任一者。在一個(gè)實(shí)施例中,襯底810與前板的襯底為相同材料。因此,襯底810可為透明的,由(例如)玻璃或塑料制成。然而,在另一實(shí)施例中,襯底810由與前板的材料不同的材料制成。由于從前面看時(shí)后板800在顯示器元件后面,因此后板800及因此的襯底810無(wú)需為透明的。在一個(gè)實(shí)施例中,襯底810為非導(dǎo)電的。在另一實(shí)施例中,襯底810為導(dǎo)電的,在所述狀況下,鈍化層可形成于襯底上以電隔離任何導(dǎo)電布線、輪廓或跡線。合適的襯底材料包含(但不限于)金屬(例如,不銹鋼、鋁)、陽(yáng)極化金屬、硅(例如,硅晶片)、多晶硅、塑料、陶瓷、聚合物(例如,聚醢亞胺,MYLAR)、碳(例如,石墨)、玻璃和石英,以及合金和這些材料的復(fù)合物。在襯底810包括柔性塑料或金屬箔材料的某些實(shí)施例中,襯底具有足夠柔性以用于“卷軸式”或“網(wǎng)式”處理中,其中電子電路(例如,薄膜晶體管、電阻器、電容器)形成于襯底上(例如,通過(guò)沉積或光刻技術(shù))。在某些這些實(shí)施例中,可在大區(qū)域(例如,長(zhǎng)度一米或一米以上)上制造電路。在一個(gè)實(shí)施例中,襯底810為包含鈍化印刷電路板的不透明塑料襯底。在某些這些實(shí)施例中,可制造鈍化印刷電路板以包含所要電路。襯底810也可包括復(fù)數(shù)個(gè)襯底材料的層壓片。襯底810可為剛性的或柔性的。舉例來(lái)說(shuō),柔性襯底810可包括薄金屬或塑料箔。盡管不限于本文中所述的厚度范圍,但襯底可具有約0.I毫米到約I.0毫米,且更優(yōu)選從約0.3毫米到約0.7毫米的厚度。薄的不透明襯底可通過(guò)例如拉伸(例如,使金屬薄片在至少一晶粒之上伸展或伸展穿過(guò)至少一晶粒以使其更薄)的金屬形成操作獲得。襯底810優(yōu)選地不滲透濕氣且適當(dāng)?shù)剽g化。在各種實(shí)施例中,保護(hù)性鈍化層形成于不透明襯底的表面上。在某些實(shí)施例中,形成鈍化層使襯底810準(zhǔn)備用于后續(xù)處理(例如,形成導(dǎo)體或介電層)。在使用金屬襯底的某些實(shí)施例中,鈍化層提供電隔離以防止其它結(jié)構(gòu)短路到金屬襯底。保護(hù)性鈍化層無(wú)需為單獨(dú)層,但可通過(guò)初步鈍化處理形成于不透明襯底之上。某些實(shí)施例的鈍化處理包含(但不限于)借助于化學(xué)溶解,最通常通過(guò)用酸溶液處理來(lái)從表面去除外生鐵或鐵化合物,酸溶液將去除表面污染,但將不會(huì)顯著影響不透明襯底本身。這些處理包含出于增強(qiáng)保護(hù)性鈍化層的自發(fā)形成的目的而用輕度氧化劑(例如,硝酸溶液)化學(xué)處理不透明襯底。另外,鈍化步驟可包含氧化物沉積和有機(jī)平面化層的旋涂。圖8B展示具有導(dǎo)電凸起輪廓814的后板810。在一個(gè)實(shí)施例中,干燥圖案816同時(shí)形成到襯底810上。導(dǎo)電凸起輪廓814可使用噴墨印刷而印刷到襯底上。印刷輪廓814提供優(yōu)于形成輪廓814的其它方法的益處,因?yàn)榭筛?xì)地控制輪廓814的大小和圖案。舉例來(lái)說(shuō),在一個(gè)實(shí)施例中,凸起輪廓814小于其將對(duì)準(zhǔn)的布線。凸起輪廓814可從導(dǎo)電墨水印刷。在一個(gè)實(shí)施例中,凸起輪廓814是從熔融金屬印刷,熔融金屬冷卻為印刷凸起輪廓814的形式。在另一實(shí)施例中,導(dǎo)電跡線(未圖示)也印刷到襯底810上。這些導(dǎo)電跡線可被印刷以便電連接到延伸穿過(guò)襯底810的導(dǎo)電通孔。導(dǎo)電跡線可(例如)將導(dǎo)電凸起輪廓電連接到進(jìn)一步耦合到處理器的導(dǎo)電通孔。在圖8C中,后板800包含沉積到干燥圖案816上的干燥劑818。干燥圖案816可呈柵格或任何其它圖案的形式。干燥圖案816提供額外表面區(qū)域以供干燥劑818附著。干燥劑818為吸濕物質(zhì),其通過(guò)(例如)吸收水和水蒸氣來(lái)維持干燥劑周?chē)膮^(qū)域的干燥狀態(tài)。干燥劑818可為(例如)硅膠、氧化鈣、氯化鈣、硫酸鈣、蒙脫粘土、分子篩,和/或其混合物。在圖8D中,后板800進(jìn)一步包含沉積于襯底810的邊緣周?chē)拿芊鈩?20。盡管圖8D說(shuō)明密封在凸起輪廓814和干燥劑818周?chē)纬煞忾]形狀,但在其它實(shí)施例中,密封齊IJ820并不形成封閉形狀。在其它實(shí)施例中,密封劑形成不包圍所有凸起輪廓814的封閉形狀。密封劑820可為基于環(huán)氧樹(shù)脂的粘合劑或PIB、O形環(huán)、聚氨基甲酸酯、液體旋壓玻璃、焊料、聚合物或塑料。在一個(gè)實(shí)施例中,密封劑為非導(dǎo)電的。圖9A說(shuō)明包含如上文關(guān)于圖8A到圖8D描述的后板800和前板830的部分形成的顯示器裝置900。前板830包含透明襯底840,例如玻璃或塑料,顯示器元件832和導(dǎo)電布線834形成于透明襯底840上。在一個(gè)實(shí)施例中,顯示器元件832為干涉式調(diào)制器且導(dǎo)電布線834包含行電極和列電極。為了制造顯示器裝置900,將前板830和后板800對(duì)準(zhǔn),使得前板上的導(dǎo)電布線834與后板800上的凸起輪廓814匹配。在一個(gè)實(shí)施例中,凸起輪廓814印刷到某一高度,所述高度在垂直于襯底810測(cè)量時(shí)大于顯示器元件832在垂直于襯底840測(cè)量時(shí)的高度。在將前板830與后板800對(duì)準(zhǔn)之后,將前板830與后板800按壓在一起,使得凸起輪廓814電連接到導(dǎo)電布線832且使得密封劑820將前板830粘著到后板800。在一個(gè)實(shí)施例中,密封劑820在其界限內(nèi)形成氣密或部分氣密密封,且顯示器元件834和干燥劑816駐留于其中。在一個(gè)實(shí)施例中,導(dǎo)電布線834在密封劑下方延伸且延伸超過(guò)密封的內(nèi)部。圖9B說(shuō)明在后板800和前板830已通過(guò)密封劑820密封在一起之后的部分形成的顯示器裝置900。圖10是說(shuō)明制造具有電連接的前板和后板的顯示器裝置的方法的流程圖。工藝1000在框1010中以前板和后板開(kāi)始,在框1010中,將導(dǎo)電凸起輪廓印刷到非導(dǎo)電后板上。如本文中使用,“非導(dǎo)電后板”并不意味后板不含有導(dǎo)電元件,而是非接觸印刷圖案在印刷之后立即被電隔離。因此,非導(dǎo)電后板可為沉積有非導(dǎo)電隔離層的金屬襯底,導(dǎo)電凸起輪廓印刷到非導(dǎo)電隔離層上。因此,借助于印刷于隔離層上,在框1010中印刷之后,非接觸導(dǎo)電輪廓不電耦合。在一個(gè)實(shí)施例中,使用噴墨印刷而印刷導(dǎo)電凸起輪廓???例如)通過(guò)下文關(guān)于圖11描述的印刷機(jī)執(zhí)行印刷。接下來(lái),在框1020中,將后板與非導(dǎo)電前板對(duì)準(zhǔn)。類似于上文描述的“非導(dǎo)電后板”的定義,“非導(dǎo)電前板”并不意味前板不含有導(dǎo)電元件,而是導(dǎo)電元件中的某些導(dǎo)電元件彼此電隔離。將后板與前板對(duì)準(zhǔn),使得導(dǎo)電凸起輪廓電耦合到形成于前板上的導(dǎo)電布線。可(例如)通過(guò)下文關(guān)于圖11描述的坐標(biāo)方位儀執(zhí)行對(duì)準(zhǔn)。最后,在框1030中,將前板和后板密封在一起。在一個(gè)實(shí)施例中,此操作涉及將對(duì)準(zhǔn)的前板和后板按壓在一起以便激活如上文關(guān)于圖9A到圖9B描述的密封劑的粘合性質(zhì)。在另一實(shí)施例中,前板和后板通過(guò)形成于每一板上的互補(bǔ)閉鎖機(jī)構(gòu)而密封在一起???例如)通過(guò)下文關(guān)于圖11描述的密封器執(zhí)行密封。圖11是用于制造具有電耦合的前板和后板的顯示器裝置的系統(tǒng)的框圖。系統(tǒng)1100包含用于將凸起導(dǎo)電輪廓印刷到后板上的印刷機(jī)1110??稍谟∷⒅巴ㄟ^(guò)坐標(biāo)方位儀1120或通過(guò)其它裝置對(duì)準(zhǔn)后板。舉例來(lái)說(shuō),可將后板配合到支撐件1122中,支撐件1122相對(duì)于印刷機(jī)1110對(duì)準(zhǔn)。在一個(gè)實(shí)施例中,印刷機(jī)1110為在精確位置處朝著后板推進(jìn)導(dǎo)電墨水或熔融金屬的噴墨印刷機(jī)。系統(tǒng)1100進(jìn)一步包含用于對(duì)準(zhǔn)后板和前板,使得印刷凸起輪廓與前板上的相應(yīng)導(dǎo)電布線電連接的坐標(biāo)方位儀1120。在一個(gè)實(shí)施例中,坐標(biāo)方位儀1120包含后支撐件1122,后板配合到后支撐件1122中。也可通過(guò)·支撐件1122對(duì)準(zhǔn)類似形狀的前板。在另一實(shí)施例中,坐標(biāo)方位儀1120包含馬達(dá)1124,馬達(dá)1124可為用于將板中的一者或兩者移動(dòng)到適當(dāng)位置的單級(jí)、雙級(jí)或三級(jí)馬達(dá)。坐標(biāo)方位儀1120可進(jìn)一步包含用于感測(cè)板中的一者或兩者的位置或用于感測(cè)凸起輪廓何時(shí)電耦合到導(dǎo)電布線的傳感器1124。一旦板對(duì)準(zhǔn),密封器1130便將兩個(gè)板密封在一起。在一個(gè)實(shí)施例中,密封器1130通過(guò)注射器1132將密封劑沉積到前板或后板上。在另一實(shí)施例中,密封器1130包含施加力從而將兩個(gè)板按壓在一起的機(jī)械壓力機(jī)1134。此機(jī)械壓力機(jī)可為自動(dòng)的或用手操作。在圖11中說(shuō)明的實(shí)施例中,系統(tǒng)1100包含用于控制印刷機(jī)1110、坐標(biāo)方位儀1120和密封器1130中的一者或一者以上的控制器1140。在一個(gè)實(shí)施例中,舉例來(lái)說(shuō),控制器1140從傳感器1122接收數(shù)據(jù)且指導(dǎo)馬達(dá)1122相應(yīng)地移動(dòng)板中的一者或兩者。系統(tǒng)1100也可包含用于從操作者接收命令的輸入裝置和用于向操作者輸出關(guān)于制造工藝的信息的輸出裝置。盡管上述描述已指出如應(yīng)用于各種實(shí)施例的本發(fā)明的新穎特征,但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)理解,在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下,可進(jìn)行說(shuō)明的裝置或工藝的形式和細(xì)節(jié)的各種省略、取代和改變。因此,本發(fā)明的范圍通過(guò)所附權(quán)利要求書(shū)而非通過(guò)前述描述來(lái)限定。在權(quán)利要求書(shū)的等效意義和范圍內(nèi)的所有變化均包含于權(quán)利要求書(shū)的范圍內(nèi)。權(quán)利要求1.一種制造機(jī)電裝置的方法,所述方法包括將導(dǎo)電凸起輪廓印刷到非導(dǎo)電后板上;將所述后板與非導(dǎo)電前板對(duì)準(zhǔn),使得所述凸起輪廓與所述前板上的導(dǎo)電布線對(duì)準(zhǔn)以電連接所述凸起輪廓與所述布線;以及密封所述后板與所述前板。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其進(jìn)一步包括將導(dǎo)電跡線印刷于所述后板上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中所述導(dǎo)電跡線將所述導(dǎo)電布線電連接到驅(qū)動(dòng)器電路。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中所述導(dǎo)電跡線將所述導(dǎo)電布線電連接到延伸穿過(guò)所述后板的一個(gè)或一個(gè)以上導(dǎo)電通孔。5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其進(jìn)一步包括將干燥圖案印刷于所述后板上。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其進(jìn)一步包括將干燥劑沉積于所述干燥圖案上。7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其進(jìn)一步包括提供所述前板。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其進(jìn)一步包括將所述導(dǎo)電布線電鍍于所述前板上。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其進(jìn)一步包括在所述前板上產(chǎn)生復(fù)數(shù)個(gè)顯示器元件。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其中所述顯示器元件為干涉式調(diào)制器。11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其中印刷導(dǎo)電凸起輪廓包括噴墨印刷。12.一種通過(guò)根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法產(chǎn)生的機(jī)電裝置。13.一種用于制造機(jī)電裝置的系統(tǒng),所述系統(tǒng)包括印刷機(jī),其經(jīng)配置以將導(dǎo)電凸起輪廓印刷到非導(dǎo)電后板上;坐標(biāo)方位儀,其經(jīng)配置以將所述后板與非導(dǎo)電前板對(duì)準(zhǔn),使得所述凸起輪廓與所述前板上的導(dǎo)電布線對(duì)準(zhǔn)以電連接所述凸起輪廓與所述布線;以及密封器,其經(jīng)配置以密封所述后板與所述前板。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng),其中所述印刷機(jī)包括噴墨印刷機(jī)。15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng),其中所述坐標(biāo)方位儀包括馬達(dá)、處理器或位置傳感器中的至少一者。16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng),其中所述密封器包括密封劑注射器。17.一種用于制造機(jī)電裝置的系統(tǒng),所述系統(tǒng)包括用于將導(dǎo)電凸起輪廓印刷到非導(dǎo)電后板上的裝置;用于將所述后板與非導(dǎo)電前板對(duì)準(zhǔn)使得所述凸起輪廓與所述前板上的導(dǎo)電布線對(duì)準(zhǔn)以電連接所述凸起輪廓與所述布線的裝置;以及用于密封所述后板與所述前板的裝置。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng),其中所述用于印刷的裝置包括噴墨印刷機(jī),其中所述用于對(duì)準(zhǔn)的裝置包括支撐件或馬達(dá),或其中所述用于密封的裝置包括壓力機(jī)。全文摘要揭示一種用于制造具有電連接的前板和后板的顯示器裝置的系統(tǒng)和方法。在一個(gè)實(shí)施例中,所述方法包括將導(dǎo)電凸起輪廓印刷到非導(dǎo)電后板上;將所述后板與非導(dǎo)電前板對(duì)準(zhǔn),使得所述凸起輪廓與所述前板上的導(dǎo)電布線對(duì)準(zhǔn)以電連接所述凸起輪廓與所述布線;以及密封所述后板與所述前板。文檔編號(hào)B81B7/00GK102753471SQ201080051795公開(kāi)日2012年10月24日申請(qǐng)日期2010年11月11日優(yōu)先權(quán)日2009年11月16日發(fā)明者納齊姆·洪塞里申請(qǐng)人:高通Mems科技公司
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