技術(shù)編號：5269995
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的領(lǐng)域涉及顯示器和加速度計。背景技術(shù)微機電系統(tǒng)(MEMS)包含微機械元件、激活器和電子元件。可使用沉積、蝕刻和/或蝕刻掉襯底和/或已沉積材料層的部分或者添加層以形成電裝置和機電裝置的其它微加工工藝來產(chǎn)生微機械元件。一種類型的MEMS裝置稱作干涉式調(diào)制器。如本文中使用，術(shù)語干涉式調(diào)制器或干涉光調(diào)制器指代使用光學干涉的原理選擇性地透射、吸收和/或反射光的裝置。在某些實施例中，干涉式調(diào)制器可包括一對導電板，所述導電板中的一者或兩者可為完全或部分透明的和/或...
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