專利名稱：微機械結(jié)構(gòu)和用于制造微機械結(jié)構(gòu)的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微機械結(jié)構(gòu)和一種用于制造微機械結(jié)構(gòu)的方法。
技術(shù)背景
這樣的微機械結(jié)構(gòu)是普遍公知的。例如，由文獻DE 196 39 946 Al已知一種微 機械結(jié)構(gòu)元件形式的加速度傳感器，其設(shè)有一個具有一個表面的襯底和一個一體的表面結(jié) 構(gòu)，其中，該表面結(jié)構(gòu)具有可運動的電極，這些可運動的電極懸掛在彎曲彈簧上并且可相對 于襯底運動，其中，該微機械結(jié)構(gòu)元件具有固定的電極，這些固定的電極與可運動的電極相 對置地設(shè)置且不可相對于襯底運動，該表面結(jié)構(gòu)以至少兩個錨定區(qū)域固定在該表面上并且 換句話說以離開該表面的一個間距延伸，其中所述至少兩個錨定區(qū)域相互間具有一個與該 表面微結(jié)構(gòu)的橫向膨脹尺寸相比很小的間距。該表面結(jié)構(gòu)相對于襯底的偏移，例如由于外 部慣性力，可通過可運動的電極與固定的電極之間的電容量的變化來檢測。該第一和第二 錨定區(qū)域在此設(shè)置在微機械結(jié)構(gòu)元件的中心區(qū)域中，從而減小了該表面結(jié)構(gòu)中的機械應(yīng) 力。這種布置的缺點在于，不能對該表面結(jié)構(gòu)的偏移進行差分式分析處理。由文獻DE 197 19 770AUW0 2004/010 150 A2和DE 10 1006 033 636A1還公知微機械的加速度傳感器。發(fā)明內(nèi)容
與該現(xiàn)有技術(shù)相比，根據(jù)本發(fā)明的微機械結(jié)構(gòu)和根據(jù)本發(fā)明的用于制造微機械結(jié) 構(gòu)的方法具有以下優(yōu)點借助第一和第二電極結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)對振動質(zhì)量相對于襯底的偏移的 全差分的分析處理，同時不但第一電極結(jié)構(gòu)而且第二電極結(jié)構(gòu)為了應(yīng)力去耦合在微機械結(jié) 構(gòu)的中心區(qū)域中固定在襯底上。這具有以下效果一方面可實現(xiàn)在檢測偏移時的高靈敏度 和比較好的信噪比，另一方面可實現(xiàn)第一和第二電極結(jié)構(gòu)與襯底的有效的應(yīng)力去耦合，從 而提高微機械結(jié)構(gòu)的偏移量或零點穩(wěn)定性。尤其地，由此避免了在反電極結(jié)構(gòu)與第一和第 二電極結(jié)構(gòu)之間由襯底翹曲引起的相對移動，否則該襯底翹曲會導(dǎo)致偏移量移位。這樣的 襯底翹曲例如在帶有應(yīng)力的模制封裝中關(guān)于溫度或使用壽命出現(xiàn)并且尤其通過襯底材料、 模制材料和/或粘接材料的不同熱膨脹系數(shù)引起。該襯底優(yōu)選包括一個半導(dǎo)體材料和特 別優(yōu)選地包括一個硅襯底。該微機械結(jié)構(gòu)的中心區(qū)域尤其包括該微機械結(jié)構(gòu)的平行于主延 伸平面的中心以及該中心的平行于主延伸平面的周圍，其中，該中心區(qū)域平行于主延伸平 面的最大延伸尺寸包括所述微機械結(jié)構(gòu)平行于主延伸平面沿著第一方向或沿著與第一方 向垂直的第二方向的最大延伸尺寸的優(yōu)選最大60 %，特別優(yōu)選最大40 %和極其優(yōu)選最大 30%。該微機械結(jié)構(gòu)優(yōu)選包括加速度傳感器，特別優(yōu)選包括一個具有平行于主延伸平面定 向的感測方向的橫向加速度傳感器。該襯底優(yōu)選具有用于第一和/或第二電極結(jié)構(gòu)和/或 振動質(zhì)量的電觸點接通的帶狀導(dǎo)體。該第一錨定元件優(yōu)選包括多個設(shè)置在中心區(qū)域中的第 一錨定元件，而該第二錨定元件優(yōu)選包括多個設(shè)置在該中心區(qū)域中的第二錨定元件。
本發(fā)明的有利設(shè)計構(gòu)型和擴展構(gòu)型可由從屬權(quán)利要求以及參照附圖的說明中得 出ο
根據(jù)一種優(yōu)選的實施方案，所述振動質(zhì)量與一個設(shè)置在所述中心區(qū)域中的第三錨 定區(qū)域耦接，其中，所述振動質(zhì)量與所述第三錨定區(qū)域優(yōu)選通過彈簧元件彈簧彈性地耦接。 因此，也以有利的方式實現(xiàn)了振動質(zhì)量在微機械結(jié)構(gòu)的中心區(qū)域中的連接，使得以顯著的 方式減小了一方面反電極結(jié)構(gòu)與另一方面第一和第二電極結(jié)構(gòu)之間的完全由襯底翹曲引 起的相對移動的危險。該第一、第二和/或第三錨定元件沿著一個垂直于第一方向且平行 于主延伸平面的第二方向尤其基本上相互重合地和/或沿著第一方向分別相對于該微機 械結(jié)構(gòu)設(shè)置在中央。
根據(jù)一種優(yōu)選的實施方案，該第一電極結(jié)構(gòu)具有一個第一連接區(qū)域，該第一連接 區(qū)域垂直于主延伸平面至少部分地設(shè)置在第二電極結(jié)構(gòu)與襯底之間，尤其地設(shè)置在第二指 形電極與襯底之間。該第一連接區(qū)域以有利的方式允許第二電極結(jié)構(gòu)的跨接，由此允許兩 個相互電分離的區(qū)域的張臂式的、即與襯底去耦合的交叉，也就是說尤其第一和第二電極 結(jié)構(gòu)的交叉，而為此不需要第一和第二電極結(jié)構(gòu)的襯底連接。這樣的交叉尤其允許實現(xiàn)全 差分的分析處理，也就是說第三指形電極分別始終設(shè)置在第一和第二指形電極之間，其中， 同時可實現(xiàn)第一和第二電極結(jié)構(gòu)以及反電極結(jié)構(gòu)在中心區(qū)域中的錨定。此外，由此明顯簡 化了微機械結(jié)構(gòu)內(nèi)部的布線，使得該微機械結(jié)構(gòu)相對結(jié)構(gòu)緊湊。
根據(jù)一種優(yōu)選的實施方式，所述第一指形電極借助所述第一連接區(qū)域固定在所述 第一錨定元件上。因此，以有利的方式與第二電極結(jié)構(gòu)無關(guān)地實現(xiàn)第一指形電極在第一錨 定元件上的電觸點接通和機械連接，因為用于連接第一指形電極的該第一連接區(qū)域部分地 在襯底與第二電極結(jié)構(gòu)之間(垂直于主延伸平面)延伸。
根據(jù)一種優(yōu)選的實施方式，所述第二電極結(jié)構(gòu)具有一個第二連接區(qū)域，所述第二 連接區(qū)域垂直于所述主延伸平面至少部分地設(shè)置在所述第一電極結(jié)構(gòu)與所述襯底之間，尤 其設(shè)置在所述第一指形電極與所述襯底之間。因此，也以有利的方式通過張臂式的第二連 接區(qū)域?qū)崿F(xiàn)了第一電極結(jié)構(gòu)的跨接，從而又實現(xiàn)第一與第二電極結(jié)構(gòu)的交叉。
根據(jù)一種優(yōu)選的實施方式，所述第二指形電極借助所述第二連接區(qū)域固定在所述 第二錨定元件上。由此，以有利的方式與第一電極結(jié)構(gòu)無關(guān)地實現(xiàn)第二指形電極在第二錨 定元件上的電觸點接通和機械連接。
根據(jù)一種優(yōu)選的實施方式，所述第一連接區(qū)域垂直于所述主延伸平面比所述第一 指形電極更薄和/或所述第二連接區(qū)域垂直于所述主延伸平面比所述第二指形電極更薄， 使得在微機械結(jié)構(gòu)的制造期間可比較簡單地實現(xiàn)第一和/或第二連接區(qū)域的結(jié)構(gòu)化。還可 以將在對接下來的平面進行光刻和微機械結(jié)構(gòu)化時的形貌問題保持得很小。
本發(fā)明的另一個主題是用于制造微機械結(jié)構(gòu)的方法，其中，在第一制造步驟中提 供所述襯底，在第二制造步驟中制造所述第一錨定元件和所述第二錨定元件，在第三制造 步驟中制造所述第一電極結(jié)構(gòu)的第一連接區(qū)域和/或所述第二電極結(jié)構(gòu)的第二連接區(qū)域， 在第四制造步驟中制造所述第一電極結(jié)構(gòu)的所述第一指形電極和所述第二電極結(jié)構(gòu)的所 述第二指形電極，其中，所述第一連接區(qū)域與所述第一指形電極連接和/或所述第二連接 區(qū)域與所述第二指形電極連接。在該第三制造步驟中尤其將第一連接區(qū)域與第一錨定元件 連接和/或?qū)⒌诙B接區(qū)域與第二錨定元件連接。因此，允許以有利的方式與第二電極結(jié) 構(gòu)的幾何形狀無關(guān)地實現(xiàn)第一指形電極在第一錨定元件上的張臂式連接，因為第一連接區(qū) 域垂直于主延伸平面至少部分地在襯底與第二電極結(jié)構(gòu)之間延伸。反過來，附加地或替代地，允許與第一電極結(jié)構(gòu)的幾何形狀無關(guān)地實現(xiàn)第二指形電極在第二錨定元件上的張臂式 連接，因為第二連接區(qū)域垂直于主延伸平面至少部分地在襯底與第一電極結(jié)構(gòu)之間延伸。 因此，如上面已經(jīng)詳細說明的那樣，以有利的方式制造一個微機械結(jié)構(gòu)，它允許全差分的分 析處理以及同時允許第一和第二電極結(jié)構(gòu)在中心區(qū)域中的連接。
根據(jù)一種優(yōu)選的實施方式，在所述第二制造步驟中還制造一個第三錨定元件，在 所述第四制造步驟中還制造所述振動質(zhì)量，其中，所述振動質(zhì)量借助彈簧元件與所述第三 錨定元件耦接。因此，也以有利的方式使振動質(zhì)量在微機械結(jié)構(gòu)的中心區(qū)域中耦接在襯底 上，使得即便在全差分的電極布置中也實現(xiàn)微機械結(jié)構(gòu)與襯底翹曲的最大應(yīng)力去耦合。
根據(jù)一種優(yōu)選的實施方式，在所述第一制造步驟與所述第三制造步驟之間在所述 襯底上沉積和結(jié)構(gòu)化出一個第一消耗層，在所述第三制造步驟與所述第四制造步驟之間在 所述第一連接區(qū)域和/或所述第二連接區(qū)域上沉積和結(jié)構(gòu)化出一個第二消耗層，其中，在 第五制造步驟中對所述第一消耗層和/或所述第二消耗層進行蝕刻。因此，以有利的方式 實現(xiàn)了張臂式結(jié)構(gòu)的相對簡單且成本有利的制造，即尤其第一、第二和第三指形電極、振動 質(zhì)量以及第一和第二連接區(qū)域的相對簡單且成本有利的制造。


本發(fā)明的實施例在附圖中示出并且在以下說明書中詳細地闡述。附圖示出
圖1示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的微機械結(jié)構(gòu)的示意性俯視圖，
圖2示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的另一微機械結(jié)構(gòu)的示意性俯視圖，
圖3示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的微機械結(jié)構(gòu)的示意性俯視圖，
圖4示出根據(jù)本發(fā)明的第二實施方式的微機械結(jié)構(gòu)的示意性俯視圖，
圖5示出根據(jù)本發(fā)明的第三實施方式的微機械結(jié)構(gòu)的示意性俯視圖。
在各幅圖中，相同的部件始終以相同的附圖標記表示，因此通常也分別僅命名或 提到一次。
具體實施方式
在圖1中示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的微機械結(jié)構(gòu)1’的示意性俯視圖。該微機械結(jié)構(gòu)1’ 包括一個具有主延伸平面100的襯底2和一個可相對于該襯底2運動的振動質(zhì)量3。該振 動質(zhì)量3通過彈簧元件8與一個第三錨定元件61耦接，該第三錨定元件在該微機械結(jié)構(gòu)1， 的中心區(qū)域7中固定地與襯底2連接。該振動質(zhì)量3還包括一個反電極結(jié)構(gòu)6，該反電極結(jié) 構(gòu)具有多個第三指形電極60。該微機械結(jié)構(gòu)1’還包括第一和第二電極結(jié)構(gòu)4，5。該第一 電極結(jié)構(gòu)4包括張臂式的第一指形電極40，其中，這些第一指形電極40分別通過自己的第 一錨定元件41固定在襯底2上。該第二電極結(jié)構(gòu)5包括張臂式的第二指形電極50，其中， 這些第二指形電極50同樣分別通過自己的第二錨定元件51固定在襯底2上。這些第三指 形電極60沿著一個平行于主延伸平面100的第一方向X(也稱為感測方向)分別設(shè)置在一 個第一和一個第二指形電極40，50之間。該第一和第二電極結(jié)構(gòu)4，5相互電絕緣，從而允 許對振動質(zhì)量3沿著第一方向X相對于襯底2的偏移進行全差分的分析處理。缺點是該第 一和第二電極結(jié)構(gòu)4，5不是僅僅在微機械結(jié)構(gòu)1’的中心區(qū)域7中連接到襯底2上，因而襯 底翹曲導(dǎo)致第一和第二指形電極40，50相對于第三指形電極60的相對移動，由此產(chǎn)生零點移位或偏移。
在圖2中示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的另一微機械結(jié)構(gòu)1’的示意性俯視圖，該微機械結(jié)構(gòu) 基本上與在圖1中示出的微機械結(jié)構(gòu)1’相似，其中，第一指形電極40全部通過僅一個第一 錨定元件41固定在襯底2上，而第二指形電極50全部通過僅一個第二錨定元件51固定在 襯底2上，其中，該第一和第二錨定元件41，51設(shè)置在微機械結(jié)構(gòu)1’的中心區(qū)域7中。以 垂直于第一方向的第二方向Y為參照，該第一電極結(jié)構(gòu)4在此僅僅設(shè)置在振動質(zhì)量3的第 一側(cè)102上，而該第二電極結(jié)構(gòu)5在此僅僅設(shè)置在振動質(zhì)量3的第二側(cè)103上。因此，與根 據(jù)圖1的微機械結(jié)構(gòu)1’不同的是，這些第三指形電極60不是沿著第一方向X分別設(shè)置在 一個第一和一個第二指形電極40，50之間。因此不允許對振動質(zhì)量3的偏移進行全差分的 分析處理。
在圖3中示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的微機械結(jié)構(gòu)1的示意性俯視圖，其中， 該第一實施方式基本上與在圖1和2中圖示的微機械結(jié)構(gòu)1’相似，每個第三指形電極60沿 著第一方向X，即沿著傳感方向設(shè)置在一個第一和第一第二指形電極40，50之間，同時所有 的第一指形電極40在第一側(cè)102借助一個第一錨固元件41固定在襯底2上，而所有的第 二指形電極50在第一側(cè)102借助一個第二錨固元件51固定在襯底2上，其中，該第一和第 二錨定元件41，51僅僅布置在中間區(qū)域7中。因此，根據(jù)第一實施方式的微機械結(jié)構(gòu)1允 許全差分的分析處理并且同時對于襯底翹曲比較不敏感。在微機械結(jié)構(gòu)1的第一側(cè)102，第 一指形電極40直接地通過一個基本上沿著第一方向X延伸的第一梁元件43與第一錨定元 件41連接。這些第一指形電極40和第一梁元件43構(gòu)造成張臂式的，即垂直于主延伸平面 100從襯底2間隔開。這些第二指形電極50通過一個第二連接區(qū)域52與該第二錨定元件 51機械地且導(dǎo)電地連接，其中，用于跨接第一電極結(jié)構(gòu)4或第一梁元件43的該第二連接區(qū) 域52垂直于主延伸平面100部分地在襯底2與第一電極結(jié)構(gòu)4之間延伸。這些第二指形 電極50以及該第二連接區(qū)域52在此構(gòu)造成張臂式的。在第二側(cè)103，另外的第二指形電極 50’類似地直接與一個另外的第二梁元件53’機械地且導(dǎo)電地連接，其中，另外的第一指形 電極40’通過一個第一連接區(qū)域42與一個另外的第一錨定元件41’連接。該第一連接區(qū) 域42垂直于主延伸平面100至少部分地設(shè)置在襯底2與該另外的第二電極結(jié)構(gòu)5’、尤其 該另外的第二指形電極50’之間。這些彈簧元件8借助一個第三梁元件63與該第三錨定 元件61連接，其中，該第三梁元件63沿著第二方向Y設(shè)置在該第一梁元件43與該另外的 第二梁元件53’之間。此外，該第一錨定元件41、該第二錨定元件51、該另外的第一錨定元 件41’、該另外的第二錨定元件51’和該第三錨定元件61設(shè)置在中心區(qū)域7中，其中，該第 三錨定元件61沿著第二方向Y設(shè)置在該第一錨定元件41與該另外的第二錨定元件51’之 間。該振動質(zhì)量3尤其包括一個完全包圍該機械結(jié)構(gòu)1的外部框架。該第一錨定元件41、 該第二錨定元件51、該另外的第一錨定元件41’、該另外的第二錨定元件51’和/或該第三 錨定元件61沿著第二方向Y尤其基本上相互重合地且沿著第一方向X分別相對于微機械 結(jié)構(gòu)1在中央地設(shè)置。該第一和該第二連接區(qū)域42，52垂直于主延伸平面100比第一指形 電極40、另外的第一指形電極40’、另外的第二指形電極50’和第二指形電極50更薄地和 /或比該第一梁元件43和該另外的第二梁元件53’更薄地構(gòu)造。
在圖4中示出根據(jù)本發(fā)明的第二實施方式的微機械結(jié)構(gòu)1的示意性俯視圖，其中， 該第二實施方式基本上與在圖3中圖示的第一實施方式相同，在第一側(cè)102，第二連接區(qū)域52不是直接地與第二錨定元件51連接，而是該第二連接區(qū)域52與一個第二梁元件53連 接，該第二梁元件53又與該第二錨定元件51連接。在此，該第二梁元件53在第一側(cè)102 并且沿著第二方向Y設(shè)置在第一梁元件43與第三梁元件63之間。該第二連接區(qū)域52垂 直于主延伸平面100部分地設(shè)置在襯底2與第一梁元件43之間并且用于從第一梁元件43 下面穿過地觸點接通和固定該第二指形電極50。類似地，在第二側(cè)103，在第一連接區(qū)域42 與該另外的第一錨定元件41’之間設(shè)有一個另外的第一梁元件43’，該另外的第一梁元件 在第二側(cè)103沿著第二方向Y設(shè)置在第三梁元件63與該另外的第二梁元件53’之間。該 第一錨定元件41、該另外的第一錨定元件41’、該另外的第二錨定元件51’、第二錨定元件 51和/或該第三錨定元件61沿著第二方向Y又基本上相互重合地且沿著第一方向X分別 相對于微機械結(jié)構(gòu)1在中央地設(shè)置。與第一實施方式相比，該第二梁元件53在第二側(cè)102 引起該第二連接區(qū)域52的加強，而該另外的第一梁元件43’在第二側(cè)103引起第一連接區(qū) 域42的加強。
在圖5中示出根據(jù)本發(fā)明的第三實施方式的微機械結(jié)構(gòu)1的示意性俯視圖，其中， 該第三實施方式基本上與在圖4中圖示的第二實施方式相同，在第一側(cè)102，第二梁元件53 沿著第一方向X中斷并且分成兩個第二梁元件段M，其中，每一個第二梁元件段M具有一 個在中心區(qū)域7中的第二錨定元件51。第一錨定元件41沿著第一方向X設(shè)置在這些第二 梁元件段M之間，第一梁元件43沿著第一方向X至少部分地設(shè)置在這些第二梁元件段M 之間。類似地，在第二側(cè)103，該另外的第一梁元件43’沿著第一方向X中斷并且分成兩個 另外的第一梁元件段44’，其中，每一個另外的第一梁元件段44’具有一個在中心區(qū)域7中 的另外的第一錨定元件41’。該另外的第二錨定元件51’沿著第一方向X設(shè)置在這些另外 的第一梁元件段44’之間，該另外的第二梁元件53’沿著第一方向X至少部分地設(shè)置在這 些另外的第一梁元件段44’之間。在第一側(cè)102，該第一梁元件43向著第三梁元件63的方 向推進，在第二側(cè)103，該另外的第二梁元件53’向著第三梁元件63推進，使得相對于第二 實施方式整體上實現(xiàn)了微機械結(jié)構(gòu)1的結(jié)構(gòu)空間更緊湊的布置，由此實現(xiàn)了更高的基本電 容量。該振動質(zhì)量3例如包括一個多孔的振動質(zhì)量3。在該微機械結(jié)構(gòu)1下方還僅僅示例 性地設(shè)有用于第一電極結(jié)構(gòu)4、第二電極結(jié)構(gòu)5、另外的第一電極結(jié)構(gòu)4’和/或另外的第二 電極結(jié)構(gòu)5’和/或振動質(zhì)量3的觸點接通的帶狀導(dǎo)體。
權(quán)利要求
1.微機械結(jié)構(gòu)(1)，設(shè)有具有主延伸平面(100)的襯底(2)和可相對于該襯底(2)沿著 平行于該主延伸平面(100)的第一方向(X)運動的振動質(zhì)量(3)，其中，該微機械結(jié)構(gòu)(1) 具有與該襯底(2)連接的第一電極結(jié)構(gòu)(4，4’ )和與該襯底(2)連接的第二電極結(jié)構(gòu)(5， 5’)，其中，該振動質(zhì)量(3)具有反電極結(jié)構(gòu)(6)，其中，該反電極結(jié)構(gòu)(6)的第三指形電極(60)沿著第一方向(X)設(shè)置在該第一電極結(jié)構(gòu)(4，4’)的第一指形電極(40，40’ )與該第 二電極結(jié)構(gòu)(5，5，)的第二指形電極(50，50’)之間，其特征在于，該第一電極結(jié)構(gòu)G，4’) 借助設(shè)置在該微機械結(jié)構(gòu)(1)的中心區(qū)域(7)中的第一錨定元件(41，41’ )固定在該襯底 (2)上，該第二電極結(jié)構(gòu)(5，5’ )借助設(shè)置在該中心區(qū)域(7)中的第二錨定元件(51，51’ ) 錨定在該襯底( 上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的微機械結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述振動質(zhì)量(3)與設(shè)置在所述 中心區(qū)域(7)中的第三錨定區(qū)域(61)耦接，其中，所述振動質(zhì)量(3)與所述第三錨定區(qū)域(61)優(yōu)選通過彈簧元件(8)彈簧彈性地耦接。
3.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的微機械結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述第一電極結(jié)構(gòu)G，4’) 具有第一連接區(qū)域(42)，所述第一連接區(qū)域0 垂直于所述主延伸平面(100)至少部分 地設(shè)置在所述第二電極結(jié)構(gòu)(5，5’ )與所述襯底( 之間，尤其設(shè)置在所述第二指形電極 (50，50’ )與所述襯底(2)之間。
4.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的微機械結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述第一指形電極G0， 40’ )借助所述第一連接區(qū)域0 固定在所述第一錨定元件Gl，41’ )上。
5.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的微機械結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述第二電極結(jié)構(gòu)(5，5’) 具有第二連接區(qū)域(52)，所述第二連接區(qū)域(5 垂直于所述主延伸平面(100)至少部分 地設(shè)置在所述第一電極結(jié)構(gòu)(4，4’ )與所述襯底( 之間，尤其設(shè)置在所述第一指形電極 (40，40，)與所述襯底(2)之間。
6.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的微機械結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述第二指形電極(50， 50’ )借助所述第二連接區(qū)域(5 固定在所述第二錨定元件(51，51’ )上。
7.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的微機械結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，所述第一連接區(qū)域G2)垂 直于所述主延伸平面(100)比所述第一指形電極(40，40’ )更薄和/或所述第二連接區(qū)域 (52)垂直于所述主延伸平面(100)比所述第二指形電極(50，50’ )更薄。
8.用于制造根據(jù)以上權(quán)利要求之一的微機械結(jié)構(gòu)(1)的方法，其特征在于，在第一制 造步驟中提供所述襯底O)，在第二制造步驟中制造所述第一錨定元件Gl，41’)和所述第 二錨定元件(51，51’)，在第三制造步驟中制造所述第一電極結(jié)構(gòu)(4，4’ )的第一連接區(qū)域 (42)和/或所述第二電極結(jié)構(gòu)(5，5’ )的第二連接區(qū)域(52)，在第四制造步驟中制造所述 第一電極結(jié)構(gòu)G，4’)的所述第一指形電極00，40’)和所述第二電極結(jié)構(gòu)(5，5，)的所述 第二指形電極(50，50’)，其中，所述第一連接區(qū)域0 與所述第一指形電極(40，40’ )連 接和/或所述第二連接區(qū)域(5 與所述第二指形電極(50，50’ )連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的方法，其特征在于，在所述第二制造步驟中還制造第三錨定元件 (61)，在所述第四制造步驟中還制造所述振動質(zhì)量(3)，其中，所述振動質(zhì)量C3)借助彈簧 元件(8)與所述第三錨定元件(61)耦接。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9的方法，其特征在于，在所述第一制造步驟與所述第三制造步 驟之間在所述襯底( 上沉積和結(jié)構(gòu)化出第一消耗層，在所述第三制造步驟與所述第四制造步驟之間在所述第一連接區(qū)域0 和/或所述第二連接區(qū)域(5 上沉積和結(jié)構(gòu)化出第 二消耗層，其中，在第五制造步驟中對所述第一消耗層和/或所述第二消耗層進行蝕刻。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種微機械結(jié)構(gòu)，設(shè)有一個具有主延伸平面的襯底和一個可相對于該襯底沿著一個平行于該主延伸平面的第一方向運動的振動質(zhì)量，其中，該微機械結(jié)構(gòu)具有一個與該襯底連接的第一電極結(jié)構(gòu)和一個與該襯底連接的第二電極結(jié)構(gòu)，其中，該振動質(zhì)量具有一個反電極結(jié)構(gòu)，其中，該反電極結(jié)構(gòu)的第三指形電極沿著第一方向設(shè)置在該第一電極結(jié)構(gòu)的第一指形電極與該第二電極結(jié)構(gòu)的第二指形電極之間，該第一電極結(jié)構(gòu)還借助一個設(shè)置在該微機械結(jié)構(gòu)的中心區(qū)域中的第一錨定元件固定在該襯底上，該第二電極結(jié)構(gòu)借助一個設(shè)置在該中心區(qū)域中的第二錨定元件錨定在該襯底上。本發(fā)明還涉及一種用于制造微機械結(jié)構(gòu)的方法。
文檔編號B81B7/02GK102030302SQ20101051098
公開日2011年4月27日 申請日期2010年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月6日
發(fā)明者C·比爾霍夫, J·克拉森 申請人:羅伯特·博世有限公司