專利名稱：一種用于圓片真空封裝的夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種圓片真空封裝裝置，具體涉及一種真空條件下的MEMS器件鍵合所要求的定位和夾緊裝置。
背景技術(shù)：
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是20世紀(jì)末、21世紀(jì)初興起的工程技術(shù)前沿，是當(dāng)前科研工作的熱點(diǎn)。鍵合操作在MEMS器件的加工中廣泛應(yīng)用，可以把相同的或不同的襯底，相同或不同的圓片，以及襯底和圓片通過機(jī)械或電作用永久地連結(jié)在一起?，F(xiàn)有的卡具無法同時(shí)滿足真空環(huán)境下封裝的高定位精度和鍵合器件間小間隙的要求，容易出現(xiàn)鍵合部位錯(cuò)誤、鍵合真空度不高，影響器件的品質(zhì)因數(shù)的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提供一種用于圓片真空封裝的夾具。該夾具定位精度高，適用于真空環(huán)境下的MEMS器件的陽極鍵合、共晶鍵合等定位精度要求高的場(chǎng)合。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是在托盤上開有定位孔，在托盤上裝有二套或三套夾緊裝置，每套夾緊裝置的結(jié)構(gòu)是，第一連桿通過第四銷軸與第一從動(dòng)桿的一端連接，第一連桿的一端通過第三銷軸與第一主動(dòng)桿的一端連接，在第一連桿的另一端固定第一壓片，第一彈簧的兩端分別接在第一主動(dòng)桿的另一端及支座上，第一主動(dòng)桿通過第一銷軸連接在支座上，第一從動(dòng)桿的另一端通過第二銷軸連接在支座上，支座與托盤相固定；第二連桿通過第六銷軸與第二從動(dòng)桿的一端連接，第二連桿的一端通過第五銷軸與第二主動(dòng)桿的一端連接，在第二連桿的另一端固定第二壓片，第二彈簧的兩端分別接在第二主動(dòng)桿的另一端及支座上，第二主動(dòng)桿通過第一銷軸連接在支座上，第二從動(dòng)桿的另一端通過第二銷軸連接在支座上。
所述夾緊裝置在托盤上均勻布置。
所述定位孔為二個(gè)或三個(gè)。定位孔在圓周上均勻分布。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于(1)定位精度高，在顯微對(duì)準(zhǔn)裝置下可實(shí)現(xiàn)高精度對(duì)準(zhǔn)。
(2)采用平行四桿機(jī)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)雙穩(wěn)態(tài)，使定位和夾緊更加合理，不易損壞MEMS器件。
(3)操作簡(jiǎn)單，既可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作，也可以手動(dòng)操作。
(4)本發(fā)明適用于真空環(huán)境下的MEMS器件的陽極鍵合、共晶鍵合等定位精度要求高的場(chǎng)合。


圖1是本發(fā)明一種實(shí)施例的正面立體圖。
圖2是圖1實(shí)施例的反面立體圖。
圖3是圖1的俯視圖。
圖4是圖3的A-A剖面圖。
具體實(shí)施例方式
由圖1～圖4所示，在托盤2上開有三個(gè)定位孔3，最好在圓周上均勻分布。
在托盤2的圓周上裝有三套夾緊裝置，最好均勻分布。每套夾緊裝置的結(jié)構(gòu)是，第一連桿5通過第四銷軸6與第一從動(dòng)桿7的一端連接，第一連桿5的一端通過第三銷軸8與第一主動(dòng)桿9的一端連接，在第一連桿5的另一端固定第一壓片4，用來壓緊硅片，可通過螺釘固定，第一彈簧10的兩端可通過螺釘分別掛接在第一主動(dòng)桿9的另一端及支座1上，第一主動(dòng)桿9通過第一銷軸18連接在支座1上，第一從動(dòng)桿7的另一端通過第二銷軸19連接在支座1上，支座1與托盤2相固定，實(shí)現(xiàn)平行四桿機(jī)構(gòu)的雙穩(wěn)態(tài)。
第二連桿16通過第六銷軸15與第二從動(dòng)桿14的一端連接，第二連桿16的一端通過第五銷軸13與第二主動(dòng)桿12的一端連接，在第二連桿16的另一端固定第二壓片17，用來壓緊玻璃片，可通過螺釘固定，第二彈簧11的兩端可通過螺釘分別掛接在第二主動(dòng)桿12的另一端及支座1上，第二主動(dòng)桿12通過第一銷軸18連接在支座1上，第二從動(dòng)桿14的另一端通過第二銷軸19連接在支座1上，實(shí)現(xiàn)平行四桿機(jī)構(gòu)的雙穩(wěn)態(tài)。
使用時(shí)，將硅片放在托盤2上，第一壓片4將硅片夾住，然后將玻璃片放在第一壓片4上，第二壓片17將玻璃片夾住。當(dāng)有壓頭壓住第二主動(dòng)桿12的后端時(shí)，第二主動(dòng)桿12順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，第二壓片17脫離玻璃片。當(dāng)有另一壓頭壓住第一主動(dòng)桿9的后端時(shí)，第一主動(dòng)桿9順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，第一壓片4脫離硅片。
權(quán)利要求
1.一種用于圓片真空封裝的夾具，其特征在于在托盤(2)上開有定位孔(3)，在托盤(2)上裝有二套或三套夾緊裝置，每套夾緊裝置的結(jié)構(gòu)是，第一連桿(5)通過第四銷軸(6)與第一從動(dòng)桿(7)的一端連接，第一連桿(5)的一端通過第三銷軸(8)與第一主動(dòng)桿(9)的一端連接，在第一連桿(5)的另一端固定第一壓片(4)，第一彈簧(10)的兩端分別接在第一主動(dòng)桿(9)的另一端及支座(1)上，第一主動(dòng)桿(9)通過第一銷軸(18)連接在支座(1)上，第一從動(dòng)桿(7)的另一端通過第二銷軸(19)連接在支座(1)上，支座(1)與托盤(2)相固定；第二連桿(16)通過第六銷軸(15)與第二從動(dòng)桿(14)的一端連接，第二連桿(16)的一端通過第五銷軸(13)與第二主動(dòng)桿(12)的一端連接，在第二連桿(16)的另一端固定第二壓片(17)，第二彈簧11的兩端分別接在第二主動(dòng)桿(12)的另一端及支座(1)上，在第二主動(dòng)桿(12)的另一端與支座(1)之間接有第二彈簧(11)，第二主動(dòng)桿(12)通過第一銷軸(18)連接在支座(1)上，第二從動(dòng)桿(14)的另一端通過第二銷軸(19)連接在支座(1)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于所述夾緊裝置在托盤(2)上均勻布置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于所述定位孔(3)為二個(gè)或三個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具，其特征在于所述定位孔(3)在圓周上均勻分布。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于圓片真空封裝的夾具，在托盤上裝有二套或三套夾緊裝置，每套夾緊裝置由兩個(gè)平行四桿機(jī)構(gòu)組成，該機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)為，第一連桿通過第四銷軸與第一從動(dòng)桿的一端連接，第一連桿的一端通過第三銷軸與第一主動(dòng)桿的一端連接，在第一連桿的另一端固定第一壓片，第一彈簧的兩端分別接在第一主動(dòng)桿的另一端及支座上，第一主動(dòng)桿通過第一銷軸接在支座上，第一從動(dòng)桿的另一端通過第二銷軸接在支座上，支座與托盤相固定。本發(fā)明定位精度高；采用平行四桿機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)雙穩(wěn)態(tài)，使定位和夾緊更加合理，不易損壞MEMS器件；操作簡(jiǎn)單，既可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作，也可手動(dòng)操作；適用于真空環(huán)境下的MEMS器件的陽極鍵合、共晶鍵合等定位精度要求高的場(chǎng)合。
文檔編號(hào)B81C3/00GK1644484SQ200510018220
公開日2005年7月27日 申請(qǐng)日期2005年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月28日
發(fā)明者汪學(xué)方, 張鴻海, 劉勝, 關(guān)榮鋒, 王志勇, 甘志銀, 史鐵林, 林棟 申請(qǐng)人:華中科技大學(xué)