本發(fā)明涉及向測試器供給半導(dǎo)體器件的分選機(handler)。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體器件在生產(chǎn)后發(fā)貨前需要進行測試。為此需要測試器和分選機，本發(fā)明涉及分選機。

分選機用于使多個半導(dǎo)體器件與測試器電連接，而使測試器能夠測試半導(dǎo)體器件。此時，分選機在根據(jù)所要求的測試條件的環(huán)境下刺激半導(dǎo)體器件后使其與測試器電連接。分選機可根據(jù)測試條件、待測試的半導(dǎo)體器件的種類或顧客的要求等以多種形態(tài)制作，如韓國公開專利10-2011-0136440號、10-2012-0106320號、10-2014-0121909號等。

通常，分選機具備裝載要素，用于使多個半導(dǎo)體器件同時移動或一次性地對其同時進行測試。根據(jù)分選機的種類，半導(dǎo)體器件能夠以裝載于裝載要素的狀態(tài)下與測試器電連接或者從裝載要素引出后與測試器電連接。其中，裝載要素根據(jù)分選機的種類具有測試托盤、穿梭(shuttle)、裝載板等多種結(jié)構(gòu)及名稱。

另一方面，如韓國公開專利10-2009-0005901號，將相同生產(chǎn)條件下生產(chǎn)的相同種類的半導(dǎo)體器件分為以批次(lot)單位同時進行測試。其理由為在相同條件下生產(chǎn)的半導(dǎo)體器件在相同條件下進行測試，由此能夠追蹤不良品為在何時何種條件下生產(chǎn)的。由于對以批次為單位的半導(dǎo)體器件進行測試，分選機為了防止半導(dǎo)體器件的混合，以先入先出的方式將半導(dǎo)體器件加載于裝載要素或從裝載要素卸載。

然而，在測試過程中的物流的流動中會出現(xiàn)半導(dǎo)體器件脫離或混合的現(xiàn)象，會出現(xiàn)因分選機或者工作員的失誤(error)而不能實現(xiàn)100％先入先出的情況。因此，有必要經(jīng)常要確認是否以批次(lot)為單位進行管理。尤其，最近因生產(chǎn)條件的細分導(dǎo)致半導(dǎo)體器件的批次為單位的生產(chǎn)處于減少的趨勢，因此更需要留心。

另外，為優(yōu)化細分化的生產(chǎn)條件，比較在何種生產(chǎn)條件下以何種環(huán)境條件進行測試的半導(dǎo)體器件出現(xiàn)何種特性的必要性也在抬頭。

但是以批次為單位管理的現(xiàn)有的方式不能解決或滿足上面涉及的問題。

因此預(yù)測在不遠的將來會需要對半導(dǎo)體器件進行個別管理。本發(fā)明涉及在大量的半導(dǎo)體器件一次性地供給并對多個半導(dǎo)體器件一次性地同時測試的分選機中，需要對于半導(dǎo)體器件進行個別管理時所使用的技術(shù)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

技術(shù)問題

本發(fā)明提供一種能夠管理對于半導(dǎo)體器件的個別履歷的分選機的技術(shù)。

解決問題的手段

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的半導(dǎo)體器件測試用分選機包括：裝載要素，能夠裝載待測試的半導(dǎo)體器件；輸送機，用于輸送上述裝載要素；加載部分，將待測試的半導(dǎo)體器件向位于加載位置的上述裝載要素加載；測試部分，對于借助上述加載部分向上述裝載要素加載的半導(dǎo)體器件進行測試；卸載部分，將在上述測試部分結(jié)束測試的半導(dǎo)體器件從位于卸載位置上的上述裝載要素卸載；條形碼識別部分，用于在從借助上述加載部分的加載的位置移動至借助上述卸載部分的卸載的位置的半導(dǎo)體器件的移動路徑上的一位置，識別對多個半導(dǎo)體器件賦予的條形碼；以及控制部分，對上述輸送機、加載部分、測試部分、卸載部分及條形碼識別部分進行控制，并讀取借助上述條形碼識別部分識別的條形碼，來分別管理每個半導(dǎo)體器件的信息。

在上述裝載要素，可至少沿著上述裝載要素移動的方向能夠并排裝載多個半導(dǎo)體器件，上述條形碼識別部分設(shè)置于上述裝載要素的移動路徑的上方，用于依次識別裝載于移動的上述裝載要素的多個半導(dǎo)體器件的條形碼，當(dāng)上述裝載要素通過上述條形碼識別部分的下方時，上述控制部分控制上述輸送機，使得上述裝載要素反復(fù)一次以上的移動和停止，以使上述條形碼識別部分依次識別對裝載于上述裝載要素的多個半導(dǎo)體器件賦予的條形碼。

上述條形碼識別部分包括：條形碼識別器，用于識別條形碼；照明器，用于使上述條形碼識別器識別條形碼，而向半導(dǎo)體器件的表面照射照明。

上述照明器設(shè)置于上述條形碼識別器和上述裝載要素之間，上述照明器具有識別窗，用于使上述條形碼識別器識別位于上述照明器的下方的半導(dǎo)體器件的條形碼。

上述照明器包括：設(shè)置部件，其下方具有向上方突出的半圓筒面；以及至少一個照射源，設(shè)置于上述設(shè)置部件的上述半圓筒面上，上述識別窗設(shè)置于上述設(shè)置部件。

上述照明器包括：反射板，呈向上方突起的穹形；以及至少一個照射源，設(shè)置于上述反射板的下部，通過上述反射板向半導(dǎo)體器件提供間接照明，上述識別窗設(shè)置于上述反射板。

上述裝載要素及輸送機設(shè)有多個，以使半導(dǎo)體器件以多個路徑移動，上述條形碼識別部分包括：條形碼識別器，用于識別條形碼；以及移動器，移動上述條形碼識別器，來使上述條形碼識別器選擇性地位于上述多個路徑的上方。

上述條形碼識別部分還包括照明器，用于借助上述條形碼識別器識別條形碼而向半導(dǎo)體器件表面照射照明，上述條形碼識別器和上述照明器借助結(jié)合部件相互結(jié)合，上述條形碼識別器和上述照明器借助上述移動器的工作同時移動。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的半導(dǎo)體器件測試用分選機的信息處理方法包括識別步驟，在半導(dǎo)體器件移動的路徑上識別對半導(dǎo)體器件賦予的條形碼；確認步驟，對上述識別步驟中識別的條形碼進行分析，確認各個半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符以及與該半導(dǎo)體器件有關(guān)的信息；存儲步驟，存儲上述確認步驟中確認的各個半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符和信息；以及傳送步驟，向測試器側(cè)傳送上述存儲步驟中存儲的標(biāo)識符和信息，在測試器側(cè)以與該半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符相關(guān)聯(lián)的方式存儲半導(dǎo)體器件的測試結(jié)果，對半導(dǎo)體器件進行測試之前或之后實施上述識別步驟及上述傳送步驟。

上述半導(dǎo)體器件測試用分選機還包括記錄步驟，與半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符相關(guān)聯(lián)的方式記錄從側(cè)接收的與半導(dǎo)體器件有關(guān)的測試結(jié)果。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，在半導(dǎo)體器件被大量供給后，一次性地對多個半導(dǎo)體器件同時進行測試的分選機中，利用條形碼管理與半導(dǎo)體器件有關(guān)的個別履歷，因此具有以下效果。

第一，在測試過程中即使半導(dǎo)體器件被混合，也可確認各個半導(dǎo)體器件的信息。

第二，可確認在何種生產(chǎn)條件下通過何種測試條件完成何種質(zhì)量的半導(dǎo)體器件。

第三，可更精確樹立半導(dǎo)體器件的開發(fā)方向。

第四，因可存儲管理所有履歷，再測試(retest)時也可確認履歷。

第五，可減少用于防止半導(dǎo)體器件混合等問題的管理者的角色，從而提高人力的利用率。

附圖說明

圖1及圖2為對本發(fā)明一實施例的半導(dǎo)體器件測試分選機的概念性俯視圖。

圖3為適用于圖1的分選機的控制部分的結(jié)構(gòu)圖。

圖4為可適用于圖1的分選機的條形碼識別部分的第一例的結(jié)構(gòu)圖。

圖5為可適用于圖1的分選機的條形碼識別部分的第二例的結(jié)構(gòu)圖。

圖6為圖5的條形碼識別部分的變形例。

圖7為可適用于圖1的分選機的條形碼識別部分第三例的結(jié)構(gòu)圖。

圖8為在圖1的分選機中實施的信息處理方法的流程圖。

附圖文字的說明

100：分選機

111、112：加載板

121、122：第一輸送機

150：加載部分

160：測試部分

170：卸載部分

180：條形碼識別部分

181a、182、181b、181c：條形碼識別器

183b、183c：照明器

rp：反射板

ie：設(shè)置部件

is：照射源

rw：識別窗

184a、184b、184c：移動器

190：控制部分

具體實施方式

以下，為了說明的簡潔性，重復(fù)的說明盡可能省略或簡要的方式說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例。

分選機的基本結(jié)構(gòu)的說明

圖1及圖2為對本發(fā)明一實施例的半導(dǎo)體器件測試分選機100(以下簡稱分選機)的概念性俯視圖。

如圖1所示，本發(fā)明一實施例的分選機100包括：兩個加載板111、112、兩個第一輸送機121、122、兩個卸載板131、132、兩個第二輸送機141、142、加載部分150、測試部分160、卸載部分170、條形碼識別部分180及控制部分190。

加載板111、112借助第一輸送機121、122在加載位置lp1、lp2和測試位置tp之間移動，并具有可加載八個半導(dǎo)體器件的裝載槽ls。其中，八個裝載槽ls以2×4行列的形態(tài)排列。因此，半導(dǎo)體器件向前后方向并排設(shè)置有兩個，且沿著加載板111、112移動的左右方向并排設(shè)置有四個。即，加載板111、112起到裝載半導(dǎo)體器件的裝載要素的功能。

第一輸送機121、122輸送加載板111、112，以使加載板111、112選擇性地位于加載位置lp1、lp2和測試位置tp。

卸載板131、132借助第二輸送機141、142在測試位置tp和卸載位置up1、up2和之間移動，并具有可裝載八個半導(dǎo)體器件的裝載槽ls。

第二輸送機141、142輸送卸載板131、132，以使卸載板131、132選擇性地位于測試位置tp和卸載位置up1、up2。

加載部分150將待測試的半導(dǎo)體器件從用戶托盤加載到位于加載位置lp1、lp2的加載板111、112。

測試部分160將借助加載部分150向加載板111、112加載的八個半導(dǎo)體器件與測試器電連接。為了維持半導(dǎo)體器件的刺激狀態(tài)，如上所述的測試部分160可具有一定程度上阻隔外部環(huán)境的測試腔室161。另外，參照韓國專利公開10-2014-0121909號，測試部分160從加載板111、112引出半導(dǎo)體器件并使其與測試器電連接。當(dāng)然，可根據(jù)實施方式，測試部分160使處于加載板111、112裝載的狀態(tài)的半導(dǎo)體器件與測試器電連接。

卸載部分170將結(jié)束測試的半導(dǎo)體器件從位于卸載位置up1、up2的卸載板131、132向空的用戶托盤卸載。

條形碼識別部分180設(shè)置于加載板111、112移動的路徑的上方，在加載板111、112從加載位置lp1、lp2向測試位置tp移動的過程中，對經(jīng)過條形碼識別部分180的下方的加載板111、112中所加載的半導(dǎo)體器件的條形碼進行識別。本實施例的條形碼識別部分180設(shè)置于加載位置lp1、lp2和測試位置tp之間。但是可根據(jù)實施方式，在分選機100實現(xiàn)的加載到卸載，只要能夠在移動的半導(dǎo)體器件的移動路徑上識別對半導(dǎo)體器件賦予的條形碼來特定該半導(dǎo)體器件，則條形碼識別部分180可設(shè)置于半導(dǎo)體器件的移動路徑上的任一位置。

本實施例中，由于條形碼識別部分180設(shè)置于加載位置lp1、lp2和測試位置tp之間，加載板111、112的移動距離和卸載板131、132的移動距離不同。因此如上所述，用于移動加載板111、112的第一輸送機121、122和用于移動卸載板131、132的第二輸送機141、142單獨設(shè)置。但是在條形碼識別部分180位于加載位置lp1、lp2和測試位置tp之間或測試位置tp和卸載位置up1、up2和之間以外的其他位置的情況下，僅由兩個輸送機同時移動加載板111、112和卸載板131、132。

根據(jù)本實施例的分選機100，如圖2所示，由于加載板111、112及卸載板131、132設(shè)置有一對，因此半導(dǎo)體器件的移動路徑c1、c2也為2個。因此，條形碼識別部分180需對前方的加載板111中所裝載的半導(dǎo)體器件的條形碼和后方的加載板112中裝載的半導(dǎo)體器件的條形碼均可進行識別。

上述條形碼識別180為本發(fā)明的最重要的特征，因此在單獨的目次中根據(jù)實施例分解說明。

控制部分190對第一輸送機121、122，第二輸送機141、142、加載部分150、測試部分160、卸載部分170及條形碼識別部分180進行控制，并讀取借助條形碼識別部分180識別的條形碼，來分別管理每個半導(dǎo)體器件的信息。如圖3的結(jié)構(gòu)圖，控制部分190包括：確認部191、存儲部192、通信部193。

確認部191對條形碼識別部分180識別的條形碼進行分析，確認各個半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符和與該半導(dǎo)體器件有關(guān)的信息。

存儲部192存儲確認部191中確認的各個半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符和信息或存儲來自測試器側(cè)的信息。

通信部193向測試器側(cè)傳送存儲在存儲部192或待存儲的各個半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符和信息或接收來自測試器側(cè)的信息。

另一方面，本實施例中為了半導(dǎo)體器件的個別管理而將條形碼用作介質(zhì)。條形碼包含與該半導(dǎo)體器件有關(guān)的標(biāo)識符和與生產(chǎn)該半導(dǎo)體器件時的生產(chǎn)條件等有關(guān)的信息，由生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)商賦予。因此，只要是包含與該半導(dǎo)體器件有關(guān)的標(biāo)識符和生產(chǎn)該半導(dǎo)體器件時的生產(chǎn)條件等的信息，任何形態(tài)的介質(zhì)均可理解為本說明書及權(quán)利要求書中所說的條形碼。

以下說明具有上述結(jié)構(gòu)的分選機100的運行。

加載部分150將裝載在用戶托盤上的半導(dǎo)體器件向位于加載位置lp1、lp2上的加載板111、112加載。那么，第一輸送機121、122會被驅(qū)動，將加載板111、112從加載位置lp1、lp2向測試位置tp移動。此時，加載板111、112在從加載位置lp1、lp2向測試位置tp移動的過程中，條形碼識別部分180對裝載在加載板111、112的半導(dǎo)體器件的條形碼進行識別?？刂撇糠?90讀取所識別的條形碼來確認標(biāo)識符及信息后存儲標(biāo)識符及信息，并傳送至測試器側(cè)。此時，若需要借助條形碼識別部分180的條形碼的識別，則兩個加載板111、112可以相互交互地從加載位置lp1、lp2向測試位置tp移動。

接著，測試部分160從位于測試位置tp的加載板111、112引出半導(dǎo)體器件并使其與測試器側(cè)電連接后，若結(jié)束測試，則將引出的半導(dǎo)體器件裝載到在測試位置tp等待的卸載板131、132。裝載有結(jié)束測試的半導(dǎo)體器件的卸載板131、132從測試位置tp向卸載位置up1、up2移動。最后，卸載部分170從位于卸載位置up1、up2的卸載板131、132將半導(dǎo)體器件卸載到空的用戶托盤。

與條形碼識別部分有關(guān)的說明

1.適用條形碼讀取器的情況

如圖4的結(jié)構(gòu)圖所示，條形碼識別部分180包括兩個條形碼識別器181a、182a及移動器184a。

條形碼識別器181a、182a作為條形碼讀取器，對加載在加載板111、112的半導(dǎo)體器件的條形碼進行識別。本例中由于借助條形碼讀取器讀取條形碼的速度慢、只能識別一個條形碼，因此為了識別條形碼而需要暫停在加載板111、112。因此，控制部分190在加載板111、112經(jīng)過條形碼識別器181a、182a的下方時控制第一輸送機121、122，以使加載板111、112反復(fù)四次移動及停止。當(dāng)然，前方的條形碼識別器181a識別位于加載板111、112的前列的半導(dǎo)體器件的條形碼，后方的條形碼識別器182a識別位于加載板111、112后列的半導(dǎo)體器件的條形碼。

移動器184a使兩個條形碼識別器181a、182a沿著前后方向移動，并能夠以氣缸形式設(shè)置。因此，條形碼識別器181a、182a可設(shè)置于位于前方的加載板111的上方，也可設(shè)置于位于后方的加載板112的上方。根據(jù)如上所述的移動器184a的結(jié)構(gòu)，僅以兩個條形碼識別器181a、182a也可讀取位于前方的加載板111和位于后方的加載板112所裝載的多個半導(dǎo)體器件的條形碼。當(dāng)然，半導(dǎo)體器件的移動路徑為三個以上的情況下，借助移動器184a的控制以兩個條形碼識別器181a、182a可讀取通過三個以上路徑移動的所有半導(dǎo)體器件的條形碼。

并且，由于可與條形碼識別器181a、182a的前后的寬度無關(guān)地減少前方的加載板111和后方的加載板112之間的距離，因此具有可減少裝置的前后寬度的優(yōu)點。

2.適用區(qū)域相機的情況

如圖5的結(jié)構(gòu)圖所示，根據(jù)本實施例的條形碼識別部分180包括：條形碼識別器181b、照明器183b及移動器184b。

條形碼識別器181b以區(qū)域相機設(shè)置，一次性拍攝裝載于加載板111、112的2×2行列的形態(tài)排列的四個半導(dǎo)體器件的條形碼。因此，控制部分190使加載板111、112僅停止兩次即可獲得八個半導(dǎo)體器件的條形碼。若設(shè)置拍攝區(qū)域大的區(qū)域相機，則使加載板111、112僅停止一次即可獲得八個半導(dǎo)體器件的條形碼。當(dāng)然，所拍攝的條形碼借助控制部分190來讀取，從而獲得與該半導(dǎo)體器件有關(guān)的標(biāo)識符和信息。

照明器183b放置于條形碼識別器181b的下部而設(shè)置于條形碼識別器181b和加載板111、112之間，并包括反射板rp及照射源is。

反射板rp呈向上方突起的穹形，將借助照射源is照射的光向位于下方的半導(dǎo)體器件的表面反射。如上所述的反射板rp具有以圓盤形穿透的識別窗rw來使半導(dǎo)體器件的表面向區(qū)域相機開放，以免妨礙條形碼識別器181b的拍攝。

照射源is將光照射至反射板rp側(cè)。即，本例中適用間接照明方式，借助照射源is照射的光借助反射板rp反射后，入射到半導(dǎo)體器件的表面。優(yōu)選地，為了照明的均衡，如上所述的照射源is以環(huán)形態(tài)排列在反射板rp的下部。優(yōu)選地，照射源is以能夠照射多種色彩的光的方式設(shè)置。因為，借助條形碼的顏色或底色等識別條件，條形碼識別器181b可進行特定顏色的照明的最優(yōu)化的識別。例如，具有100個照射源is的情況下，優(yōu)選地，以25個為單位來劃分發(fā)出藍色光、紅色光、綠色光及透明光的照射源is并適當(dāng)進行排列。

移動器184b將條形碼識別器181b向前后方向移動。因此，放置于條形碼識別器181b的照明器183b也借助移動器184b同時移動。

另一方面，根據(jù)變形例，如圖6的結(jié)構(gòu)圖所示，照明器184b＇可以由兩個反射鏡rm和照射源is構(gòu)成。

3.適用線陣相機(linescancamera)的情況

如圖7的結(jié)構(gòu)圖所示，根據(jù)本實施例的條形碼識別部分180可包括條形碼識別器181c、照明器183c及移動器184c。

條形碼識別器181c設(shè)置為線陣相機，對裝載于加載板111、112的半導(dǎo)體器件的條形碼進行識別。因此，控制部分190能夠使加載板111、112不停止而持續(xù)移動，獲得八個半導(dǎo)體器件的條形碼。

照明器183c設(shè)置于條形碼識別器181c的下部并包括設(shè)置部件ie及照射源is。

設(shè)置部件ie呈下方具有向上方突出的半圓筒面的形象。設(shè)置部件ie具有垂直于加載板111、112移動的方向并向前后方向以長的方式穿透的識別窗rw，以使半導(dǎo)體器件的表面向線陣相機開放，以免妨礙條形碼識別器181c的掃描。另外，設(shè)置部件ie借助結(jié)合部件je與條形碼識別器181c相結(jié)合，從而可與條形碼識別器181c同時移動。

照射源is設(shè)置于設(shè)置部件ie的半圓筒面上將光照射至半導(dǎo)體器件的表面。優(yōu)選地，照射源is以能夠照射多種色彩的光的方式設(shè)置。

移動器184c使條形碼識別器181a向前后方向移動。

與信息處理方法有關(guān)的說明

接著，參照圖8的流程圖說明在具有上述結(jié)構(gòu)的分選機100實施的信息處理方法。

1.識別步驟s801

加載板111、112從加載位置lp1、lp2向測試位置tp移動時，條形碼識別部分180對裝載在加載板111、112的半導(dǎo)體器件的條形碼進行識別。

2.確認步驟s802

控制部分190的確認部191對步驟s801中識別的條形碼進行分析來確認與各個半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符和該半導(dǎo)體器件有關(guān)信息。因此，借助確認部191可確認該半導(dǎo)體器件在何種生產(chǎn)條件等生產(chǎn)的。

3.存儲步驟s803

存儲部192存儲在步驟s802確認的各個半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符和信息。

4.傳送步驟s804

控制部分190的通信部193將在步驟s803中存儲的標(biāo)識符合信息傳送至測試器側(cè)。因此，測試器側(cè)可將特定半導(dǎo)體器件的測試結(jié)果與特定半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符連接來存儲。

當(dāng)然，步驟s803和步驟s084根據(jù)實施方式可同時實施或依次實施。

5.接收步驟s805

通信部193接收與來自從測試器側(cè)的與特定半導(dǎo)體器件的測試結(jié)果有關(guān)的信息。

6.記錄步驟s806

存儲部192將與在存儲步驟s805接收的測試結(jié)果有關(guān)的信息與特定半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符連接來記錄并存儲。

根據(jù)本實施例，由于在測試之前實施步驟s804，因此測試器可獲知待測試的半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符及信息。但是可根據(jù)實施方式，條形碼識別部分180可設(shè)置于測試位置tp和卸載位置up1、up2之間，此種情況下，測試器可獲知已測試的半導(dǎo)體器件的標(biāo)識符及信息。當(dāng)然，無論任何情況下測試器可準(zhǔn)確特定待測試或已測試的半導(dǎo)體器件。

另一方面，在步驟s804向測試器側(cè)傳送的信息中包含與當(dāng)前分選機100的測試條件有關(guān)的信息而同時傳送。另外，與當(dāng)前分選機100的測試條件有關(guān)的信息在步驟s806中也記錄并保管。

并且，步驟s806中記錄并存儲的信息將在之后在半導(dǎo)體器件的再測試中會被利用，在進行再測試的情況下再測試結(jié)果也存儲在存儲部192。

另一方面，以上說明的實施例僅為說明多種形態(tài)的分選機中的一例，本發(fā)明并不局限于以上所涉及的分選機。即，本發(fā)明可適用于任何形態(tài)的分選機。

因此，照附圖的實施例對本發(fā)明進行了具體說明，然而上述實施例僅以本發(fā)明的優(yōu)選實施例來說明，因此不能理解為本發(fā)明限制于上述實施例，本發(fā)明請求保護的范圍應(yīng)由發(fā)明要求保護范圍及其等同范圍而理解。