一種帶清洗部件的液體噴灑裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶片涂膠顯影工藝中的晶元表面噴灑液體的裝置，具體地說是一種帶清洗部件的液體噴灑裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在在半導(dǎo)體晶片上或它的涂層上形成保護膜以及晶片曝光后的顯影工藝中對晶圓表面進行液體噴灑主要包括供液管直噴、通過噴嘴形成水簾或者水幕噴灑這幾種方式進行。通過水幕式噴灑可以有效的將液體均勻的噴灑在晶圓表面，但噴嘴形成均勻水幕較為困難，且噴嘴在噴灑液體時需距離晶圓表面0.5-3mm，噴嘴在噴灑液體時晶圓表面的雜質(zhì)可能會附著在噴嘴上，從而對噴嘴造成污染。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種帶清洗部件的液體噴灑裝置。該裝置在顯影工藝中噴灑均勻的液體，可以有效的保證顯影工藝效果。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種帶清洗部件的液體噴灑裝置，包括噴嘴和清洗部件，其中噴嘴包括噴嘴底件和噴嘴上蓋，其中噴嘴底件的上表面上沿長度方向設(shè)有液體均布槽，所述噴嘴上蓋設(shè)置于噴嘴底件的上方，噴嘴上蓋與所述液體均布槽相對應(yīng)的一側(cè)向下延伸、并與噴嘴底件的側(cè)壁之間留有用于形成水幕的縫隙，所述噴嘴上蓋上設(shè)有與噴嘴底件上的液體均布槽連通的液體進口，液體由液體進口進入液體均布槽、并由縫隙流出形成水幕；所述噴嘴噴灑完液體后，將噴嘴放置于清洗部件上，通過清洗部件進行清洗。
[0006]所述噴嘴底件上的液體均布槽包括過渡槽和斜坡，所述過渡槽和斜坡均沿長度方向設(shè)置于噴嘴底件的上表面上，所述過渡槽和斜坡之間沿長度方向設(shè)有低于噴嘴底件上表面的排氣凸起。
[0007]所述噴嘴上設(shè)有保溫裝置。所述保溫裝置包括恒溫水管道1、恒溫水管道II及噴嘴連接塊，其中恒溫水管道I和恒溫水管道II分別沿長度方向設(shè)置于噴嘴上蓋和噴嘴底件的內(nèi)部，所述噴嘴連接塊連接于噴嘴的端部、并將恒溫水管道I和恒溫水管道II連通。
[0008]所述清洗部件的上表面沿長度方向設(shè)有兩排孔，所述兩排孔分別為噴液孔和排液孔，所述清洗部件內(nèi)部沿長度方向設(shè)有兩條分別與噴液孔和排液孔連通的通道I和通道II，所述清洗部件的底部設(shè)有分別與通道I和通道II連通的清洗用液體進口和清洗用液體出口。
[0009]所述清洗部件的上表面設(shè)有凹槽，所述噴液孔和排液孔均設(shè)置于所述凹槽內(nèi)。所述清洗用液體出口與真空管連接。
[0010]本發(fā)明還包括固定調(diào)節(jié)裝置，所述固定調(diào)節(jié)裝置包括水平調(diào)節(jié)固定塊、噴嘴調(diào)節(jié)塊、噴嘴固定塊及調(diào)節(jié)螺絲，其中噴嘴調(diào)節(jié)塊連接于噴嘴的端部，所述噴嘴固定塊轉(zhuǎn)動連接在噴嘴的端部一側(cè)，所述水平調(diào)節(jié)固定塊連接于噴嘴固定塊上，所述調(diào)節(jié)螺絲螺紋連接在水平調(diào)節(jié)固定塊上、并下端與噴嘴調(diào)節(jié)塊抵接，所述噴嘴固定塊與顯影裝置連接，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺絲使噴嘴轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)噴嘴的水平調(diào)節(jié)。所述噴嘴固定塊上設(shè)有噴嘴繞軸，所述噴嘴的端部轉(zhuǎn)動安裝在噴嘴繞軸上。
[0011]本發(fā)明的優(yōu)點及有益效果是:
[0012]1.本發(fā)明中的噴嘴可以在顯影工藝中噴灑均勻的液體，可以有效的保證顯影工藝效果。
[0013]2.本發(fā)明中的清洗部件可以及時對噴嘴進行清洗，使噴嘴保持潔凈。
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明中噴嘴的立體示意圖之一；
[0015]圖2為本發(fā)明中噴嘴的立體示意圖之二；
[0016]圖3為本發(fā)明中噴嘴的縱剖結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖4為本發(fā)明中噴嘴形成水幕的示意圖；
[0018]圖5為本發(fā)明中噴嘴內(nèi)恒溫水管道的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖6為本發(fā)明中清洗裝置的立體示意圖之一；
[0020]圖7為本發(fā)明中清洗裝置的立體示意圖之二 ；
[0021 ] 圖8為本發(fā)明的縱剖結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]其中:1為噴嘴底件，2為噴嘴連接塊，3為水平調(diào)節(jié)固定塊，4為噴嘴調(diào)節(jié)塊，5為清洗部件，6為噴嘴上蓋,7為噴嘴固定塊,8為液體進口，9為恒溫水管道1,10為恒溫水管道II，11為過渡槽，12為斜坡,13為縫隙，14為噴嘴補液管路,15為水幕,16為清洗用液體出口，17為清洗用液體出口，18為通道I，19為通道II，20為調(diào)節(jié)螺絲，21為噴嘴繞軸，M為恒溫水。
【具體實施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細描述。
[0024]如圖1-5所示，本發(fā)明包括噴嘴和清洗部件5，其中噴嘴包括噴嘴底件1、噴嘴上蓋6和保溫裝置，其中噴嘴底件I的上表面上沿長度方向設(shè)有液體均布槽，所述噴嘴上蓋6設(shè)置于噴嘴底件I的上方，噴嘴上蓋6與所述液體均布槽相對應(yīng)的一側(cè)向下延伸、并與噴嘴底件I的側(cè)壁之間留有用于形成水幕的縫隙13，所述噴嘴上蓋6上設(shè)有與噴嘴底件I上的液體均布槽連通的液體進口 8，液體進口 8與噴嘴補液管路14連接。液體由液體進口 8進入噴嘴內(nèi)部液體均布槽、并由縫隙13流出形成水幕；所述噴嘴噴灑完液體后，將噴嘴放置于清洗部件5上，通過清洗部件5進行清洗。
[0025]所述噴嘴底件I上的液體均布槽包括過渡槽11和斜坡12，所述過渡槽11和斜坡12均沿長度方向設(shè)置于噴嘴底件I的上表面上，所述過渡槽11和斜坡12之間沿長度方向設(shè)有低于噴嘴底件I上表面的排氣凸起。
[0026]所述噴嘴上設(shè)有保溫裝置，所述保溫裝置包括恒溫水管道I 9、恒溫水管道II 10及噴嘴連接塊2，其中恒溫水管道I 9和恒溫水管道II 10分別沿長度方向設(shè)置于噴嘴上蓋6和噴嘴底件I的內(nèi)部，所述噴嘴連接塊2連接于噴嘴的端部、并將恒溫水管道I 9和恒溫水管道II 10連通。
[0027]如圖6-8所示，所述清洗部件5的上表面沿長度方向設(shè)有兩排孔，所述兩排孔分別為噴液孔和排液孔，所述清洗部件5的內(nèi)部沿長度方向設(shè)有兩條分別與噴液孔和排液孔連通的通道I 18和通道II 19，所述清洗部件5的底部設(shè)有分別與通道I 18和通道II 19連通的清洗用液體進口 16和清洗用液體出口 17。
[0028]所述清洗部件5的上表面設(shè)有凹槽，所述噴液孔和排液孔均設(shè)置于所述凹槽內(nèi)。清洗部件5上的凹槽