本技術(shù)涉及電子化學(xué)品，尤其涉及一種電子級鹽酸的制備裝置。

背景技術(shù)：

1、隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，對電子級鹽酸的需求日益提高，目前電子級鹽酸的制備方法多為鹽酸解析后再用高純水吸收。鹽酸解析的方法主要有氯化鈣法、差壓法和常壓解析法，其中氯化鈣法和差壓法可以實現(xiàn)全解析，但氯化鈣法需要額外引入破共沸劑氯化鈣，流程復(fù)雜，系統(tǒng)穩(wěn)定性對操作要求高，差壓法操作穩(wěn)定性好，但能耗高，常壓解析法流程簡單，能耗低，穩(wěn)定性好，但無法完全解析。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型解決的技術(shù)問題是常壓解析法無法實現(xiàn)全解析。

2、本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

3、一種電子級鹽酸的制備裝置，包括相連的氯化氫合成單元、第一吸收單元、脫析單元以及第二吸收單元；其中，

4、所述氯化氫合成單元以及所述脫析單元均通過管路與所述第一吸收單元相連，且所述脫析單元通過至少兩條管路與所述第一吸收單元相連；

5、所述脫析單元通過管路與所述第二吸收單元相連。

6、作為優(yōu)選，所述第一吸收單元包括依次通過管路相連的粗hcl吸收塔、第一循環(huán)泵以及第一冷卻器；所述第一冷卻器的物料出口通過管路與所述脫析單元相連。

7、作為優(yōu)選，所述第一吸收單元還包括與所述粗hcl吸收塔相連的氧化劑配制罐。

8、作為優(yōu)選，所述脫析單元包括脫析塔、脫析再沸器、第一預(yù)熱器以及第二冷卻器；所述脫析塔、所述脫析再沸器、所述第一預(yù)熱器、所述第二冷卻器以及所述粗hcl吸收塔依次通過管路相連。

9、作為優(yōu)選，所述脫析單元還包括冷凝模塊；所述脫析塔、所述冷凝模塊以及所述第二吸收單元通過管路相連。

10、作為優(yōu)選，所述脫析單元還包括設(shè)置于所述冷凝模塊與所述第二吸收單元之間的第一除霧器與第二預(yù)熱器。

11、作為優(yōu)選，所述脫析單元還包括設(shè)置于所述第二預(yù)熱器與所述第二吸收單元之間的干燥模塊。

12、作為優(yōu)選，所述干燥模塊包括通過管路相連的干燥塔以及第二除霧器。

13、作為優(yōu)選，所述第二吸收單元包括吸收塔，以及依次設(shè)置于所述吸收塔下游的第二循環(huán)泵與第三冷卻器。

14、本實用新型的有益效果是：

15、本實用新型提供的電子級鹽酸的制備裝置，通過將氯化氫合成單元、第一吸收單元以及脫析單元相配合，可以對生成的稀鹽酸進行吸收，形成濃鹽酸再次返回脫析單元，從而實現(xiàn)鹽酸的全解析，在保證電子級鹽酸質(zhì)量的前提下，提高產(chǎn)率，同時減少后續(xù)處理步驟，降低成本，減少污染。

技術(shù)特征：

1.一種電子級鹽酸的制備裝置，其特征在于，包括相連的氯化氫合成單元(1)、第一吸收單元(2)、脫析單元(3)以及第二吸收單元(4)；其中，

2.如權(quán)利要求1所述的電子級鹽酸的制備裝置，其特征在于，所述第一吸收單元(2)包括依次通過管路相連的粗hcl吸收塔(21)、第一循環(huán)泵(22)以及第一冷卻器(23)；所述第一冷卻器(23)的物料出口通過管路與所述脫析單元(3)相連。

3.如權(quán)利要求2所述的電子級鹽酸的制備裝置，其特征在于，所述第一吸收單元(2)還包括與所述粗hcl吸收塔(21)相連的氧化劑配制罐(24)。

4.如權(quán)利要求3所述的電子級鹽酸的制備裝置，其特征在于，所述脫析單元(3)包括脫析塔(31)、脫析再沸器(32)、第一預(yù)熱器(33)以及第二冷卻器(34)；所述脫析塔(31)、所述脫析再沸器(32)、所述第一預(yù)熱器(33)、所述第二冷卻器(34)以及所述粗hcl吸收塔(21)依次通過管路相連。

5.如權(quán)利要求4所述的電子級鹽酸的制備裝置，其特征在于，所述脫析單元(3)還包括冷凝模塊(35)；所述脫析塔(31)、所述冷凝模塊(35)以及所述第二吸收單元(4)通過管路相連。

6.如權(quán)利要求5所述的電子級鹽酸的制備裝置，其特征在于，所述脫析單元(3)還包括設(shè)置于所述冷凝模塊(35)與所述第二吸收單元(4)之間的第一除霧器(36)與第二預(yù)熱器(37)。

7.如權(quán)利要求6所述的電子級鹽酸的制備裝置，其特征在于，所述脫析單元(3)還包括設(shè)置于所述第二預(yù)熱器(37)與所述第二吸收單元(4)之間的干燥模塊(38)。

8.如權(quán)利要求7所述的電子級鹽酸的制備裝置，其特征在于，所述干燥模塊(38)包括通過管路相連的干燥塔(381)以及第二除霧器(382)。

9.如權(quán)利要求1-8任一項所述的電子級鹽酸的制備裝置，其特征在于，所述第二吸收單元(4)包括吸收塔(41)，以及依次設(shè)置于所述吸收塔(41)下游的第二循環(huán)泵(42)與第三冷卻器(43)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及電子化學(xué)品技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種電子級鹽酸的制備裝置，所述制備裝置包括相連的氯化氫合成單元、第一吸收單元、脫析單元以及第二吸收單元；其中，所述氯化氫合成單元以及所述脫析單元均通過管路與所述第一吸收單元相連，且所述脫析單元通過至少兩條管路與所述第一吸收單元相連；所述脫析單元通過管路與所述第二吸收單元相連。本技術(shù)提供的電子級鹽酸的制備裝置，通過將氯化氫合成單元、第一吸收單元以及脫析單元相配合，可以對生成的稀鹽酸進行吸收，形成濃鹽酸再次返回脫析單元，從而實現(xiàn)鹽酸的全解析，在保證電子級鹽酸質(zhì)量的前提下，提高產(chǎn)率，同時減少后續(xù)處理步驟，降低成本，減少污染。

技術(shù)研發(fā)人員：釗文科,羅斯格,李睿
受保護的技術(shù)使用者：無錫英羅唯森科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240424
技術(shù)公布日：2024/12/17