本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片制作，尤其是涉及一種微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體器件是電力電子應(yīng)用產(chǎn)品的基礎(chǔ)，也是構(gòu)成電力電子變化裝置的核心器件，主要用于電力電子設(shè)備的整流、穩(wěn)壓、開關(guān)、混頻等，具有應(yīng)用范圍廣，用量大等特點(diǎn)。

2、在晶圓加工工序中，光刻膠固化是一個(gè)關(guān)鍵步驟，它確保了光刻膠在后續(xù)的刻蝕或離子注入過(guò)程中能夠穩(wěn)定地充當(dāng)保護(hù)層，整個(gè)光刻膠固化過(guò)程需要精確控制，以確保光刻膠的質(zhì)量和最終集成電路的性能。高溫交聯(lián)光刻膠的固化技術(shù)是一種保護(hù)光刻膠圖形的方法，通過(guò)顯影后烘焙來(lái)固化光刻膠圖形。

3、在反應(yīng)室內(nèi)，通過(guò)紫外線（uv）光照射光刻膠層，引起聚合反應(yīng)。uv光的強(qiáng)度是影響光刻膠固化效果的主要因素。常規(guī)的uv固膠方法是使用烤箱烘烤，但采用烤箱烘烤由于uv光的強(qiáng)度難以控制，容易導(dǎo)致光刻膠固化不完全。此外，由于烤箱烘烤的溫度控制不均勻，還可能導(dǎo)致固化的不均勻。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一，為此，本發(fā)明提出一種微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，能夠通過(guò)調(diào)節(jié)微波電源的功率調(diào)節(jié)uv光的強(qiáng)度，從而確保光刻膠固化的質(zhì)量。

2、根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，包括：第一殼體，第一殼體呈中空?qǐng)A柱狀，第一殼體內(nèi)開設(shè)有微波腔體；磁控管，磁控管通過(guò)波導(dǎo)管與微波腔體連通，磁控管與微波電源連接；反射罩，反射罩呈中空?qǐng)A臺(tái)狀，反射罩內(nèi)開設(shè)有反射腔，反射腔與微波腔體連通，反射罩下端設(shè)置有敞口；汞燈，汞燈吊設(shè)在反射墻內(nèi)，汞燈內(nèi)部灌裝有汞氣；控溫盤，控溫盤正對(duì)敞口設(shè)置在反射腔下方，控溫盤用于放置晶圓并為晶圓的光刻膠層提供適合的固化溫度，控溫盤上設(shè)置有第一測(cè)溫元件，第一測(cè)溫元件與控溫盤電連接，控溫盤根據(jù)第一測(cè)溫元件所檢測(cè)到的溫度對(duì)晶圓的溫度進(jìn)行調(diào)控；散熱機(jī)構(gòu)，散熱機(jī)構(gòu)呈圓環(huán)狀，散熱機(jī)構(gòu)套設(shè)在敞口上，控溫盤可拆卸地裝配在散熱機(jī)構(gòu)下端，散熱機(jī)構(gòu)與控溫盤之間設(shè)置有密封圈。

3、根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，至少具有如下有益效果：本微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置通過(guò)在微波激勵(lì)腔體的內(nèi)部安裝了灌裝了汞氣的燈泡，燈泡內(nèi)部灌裝的是汞氣，經(jīng)過(guò)微波激勵(lì)后，汞氣會(huì)被激勵(lì)并產(chǎn)生uv光，?uv光的強(qiáng)度可以通過(guò)調(diào)節(jié)微波電源的功率進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而對(duì)uv光的強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)精確控制，提高光刻膠固化的質(zhì)量。

4、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，還包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)置在第一殼體上端，旋轉(zhuǎn)電機(jī)與汞燈傳動(dòng)連接，旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)汞燈轉(zhuǎn)動(dòng)，使汞燈對(duì)晶圓的照射更加均勻。

5、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，散熱機(jī)構(gòu)上設(shè)置有觸發(fā)開關(guān)，溫控盤上對(duì)應(yīng)設(shè)置有觸發(fā)件，觸發(fā)開關(guān)與微波電源電連接，將控溫盤從散熱機(jī)構(gòu)上拆卸時(shí)，觸發(fā)件與觸發(fā)開關(guān)分離，磁控管停止運(yùn)作。

6、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，散熱機(jī)構(gòu)包括第二殼體，第二殼體呈圓環(huán)柱狀，第二殼體外側(cè)開設(shè)有出風(fēng)口，微波電源的啟停帶動(dòng)出風(fēng)口閉合和開啟，第二殼體內(nèi)側(cè)與反射腔連通，第二殼體內(nèi)設(shè)置風(fēng)扇。

7、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，第二殼體內(nèi)設(shè)置有擋板，擋板呈空心圓柱狀，擋板可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在第二殼體內(nèi)，擋板上開設(shè)有與出風(fēng)口對(duì)應(yīng)的開口，擋板與微波電源電連接，微波電源的啟停帶動(dòng)擋板轉(zhuǎn)動(dòng)，使開口與出風(fēng)口重疊和錯(cuò)位；當(dāng)開口與出風(fēng)口重疊時(shí)，出風(fēng)口開啟；當(dāng)開口與出風(fēng)口錯(cuò)位時(shí)，出風(fēng)口閉合。

8、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，出風(fēng)口和開口均設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)出風(fēng)口沿第二殼體的周向均布，多個(gè)開口沿?fù)醢宓闹芟蚓肌?/p>

9、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，反射腔內(nèi)設(shè)置有第二測(cè)溫元件，第二測(cè)溫元件與散熱機(jī)構(gòu)電連接，根據(jù)第二測(cè)溫元件檢測(cè)的溫度控制散熱機(jī)構(gòu)的啟停。

10、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，散熱機(jī)構(gòu)與敞口之間設(shè)置有減震墊圈。

11、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，汞燈上套設(shè)有散射件，散射件為透明件。

12、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，還包括換熱機(jī)構(gòu)，換熱機(jī)構(gòu)包括吸熱組件和放熱組件，吸熱組件設(shè)置在微波腔體的內(nèi)壁上，吸熱腔體用于幫助微波腔體進(jìn)行散熱，放熱組件設(shè)置在控溫盤內(nèi)，放熱組件用于為控溫盤提供熱源，吸熱組件與放熱組件之間連接有傳熱管路，傳熱管路內(nèi)流通有傳熱介質(zhì)，傳熱管路上設(shè)置有泵體。

13、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，吸熱組件包括第三殼體，第三殼體設(shè)置在微波腔體內(nèi)壁上，第三殼體呈圓弧狀，第三殼體的形狀與微波腔體內(nèi)相吻合，第三殼體呈中空結(jié)構(gòu)，第三殼體內(nèi)設(shè)置有吸熱腔，吸熱腔與傳熱管路連通，第三殼體朝向?yàn)槲⒉ㄇ惑w內(nèi)側(cè)的一面上穿設(shè)有多個(gè)第一熱管。

14、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，第一熱管呈中空?qǐng)A柱狀，第一熱管的兩端分別為第一吸熱部和第一放熱部，第一吸熱部位于微波腔體內(nèi)，第一放熱部位于吸熱腔內(nèi)，第一熱管內(nèi)密封有換熱介質(zhì)，換熱介質(zhì)在第一吸熱部?jī)?nèi)吸收微波腔體中的熱量，吸收了熱量的換熱介質(zhì)移動(dòng)至第一放熱部向吸熱腔釋放熱量。

15、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，控溫盤包括加熱面板，加熱面板用于放置晶圓，加熱面板下方開設(shè)有熱源腔，熱源腔用于加熱面板上的晶圓，放熱組件設(shè)置在熱源腔內(nèi)。

16、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，放熱組件包括第四殼體，第四殼體設(shè)置在熱源腔內(nèi)，第四殼體呈中空結(jié)構(gòu)，第四殼體內(nèi)設(shè)置有放熱腔，放熱腔與傳熱管路連通，第四殼體上穿設(shè)有多個(gè)第二熱管。

17、根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，第二熱管呈中空?qǐng)A柱狀，第二熱管的兩端分別為第二吸熱部和第二放熱部，第二吸熱部位于放熱腔內(nèi)，第二放熱部位于熱源腔內(nèi)，第二熱管內(nèi)密封有換熱介質(zhì)，換熱介質(zhì)在第二吸熱部?jī)?nèi)吸收放熱腔中的熱量，吸收了熱量的換熱介質(zhì)移動(dòng)至第二放熱部向熱源腔釋放熱量。

18、本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，還包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)（120），所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)（120）設(shè)置在所述第一殼體（100）上端，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)（120）與所述汞燈（400）傳動(dòng)連接，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)（120）帶動(dòng)所述汞燈（400）轉(zhuǎn)動(dòng)，使所述汞燈（400）對(duì)晶圓的照射更加均勻。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述散熱機(jī)構(gòu)（600）上設(shè)置有觸發(fā)開關(guān)（620），溫控盤上對(duì)應(yīng)設(shè)置有觸發(fā)件（520），所述觸發(fā)開關(guān)（620）與微波電源電連接，將所述控溫盤（500）從所述散熱機(jī)構(gòu)（600）上拆卸時(shí)，所述觸發(fā)件（520）與所述觸發(fā)開關(guān)（620）分離，所述磁控管（200）停止運(yùn)作。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述散熱機(jī)構(gòu)（600）包括第二殼體（630），所述第二殼體（630）呈圓環(huán)柱狀，所述第二殼體（630）外側(cè)開設(shè)有出風(fēng)口（631），微波電源的啟停帶動(dòng)所述出風(fēng)口（631）閉合和開啟，所述第二殼體（630）內(nèi)側(cè)與所述反射腔（310）連通，所述第二殼體（630）內(nèi)設(shè)置風(fēng)扇（640）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述第二殼體（630）內(nèi)設(shè)置有擋板（650），所述擋板（650）呈空心圓柱狀，所述擋板（650）可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述第二殼體（630）內(nèi)，所述擋板（650）上開設(shè)有與所述出風(fēng)口（631）對(duì)應(yīng)的開口（651），所述擋板（650）與微波電源電連接，微波電源的啟停帶動(dòng)所述擋板（650）轉(zhuǎn)動(dòng)，使所述開口（651）與所述出風(fēng)口（631）重疊和錯(cuò)位；當(dāng)所述開口（651）與所述出風(fēng)口（631）重疊時(shí)，所述出風(fēng)口（631）開啟；當(dāng)所述開口（651）與所述出風(fēng)口（631）錯(cuò)位時(shí)，所述出風(fēng)口（631）閉合。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述出風(fēng)口（631）和所述開口（651）均設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述出風(fēng)口（631）沿所述第二殼體（630）的周向均布，多個(gè)所述開口（651）沿所述擋板（650）的周向均布。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述反射腔（310）內(nèi)設(shè)置有第二測(cè)溫元件（330），所述第二測(cè)溫元件（330）與所述散熱機(jī)構(gòu)（600）電連接，根據(jù)所述第二測(cè)溫元件（330）檢測(cè)的溫度控制所述散熱機(jī)構(gòu)（600）的啟停。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述散熱機(jī)構(gòu)（600）與所述敞口（320）之間設(shè)置有減震墊圈（660）。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述汞燈（400）上套設(shè)有散射件（410），所述散射件（410）為透明件。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，還包括換熱機(jī)構(gòu)，換熱機(jī)構(gòu)包括吸熱組件（700）和放熱組件（800），所述吸熱組件（700）設(shè)置在所述微波腔體（110）的內(nèi)壁上，吸熱腔（720）體用于幫助所述微波腔體（110）進(jìn)行散熱，所述放熱組件（800）設(shè)置在所述控溫盤（500）內(nèi)，所述放熱組件（800）用于為所述控溫盤（500）提供熱源，所述吸熱組件（700）與所述放熱組件（800）之間連接有傳熱管路（900），所述傳熱管路（900）內(nèi)流通有傳熱介質(zhì)，所述傳熱管路（900）上設(shè)置有泵體（910）。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述吸熱組件（700）包括第三殼體（710），所述第三殼體（710）設(shè)置在所述微波腔體（110）內(nèi)壁上，所述第三殼體（710）呈圓弧狀，所述第三殼體（710）的形狀與所述微波腔體（110）內(nèi)相吻合，所述第三殼體（710）呈中空結(jié)構(gòu)，所述第三殼體（710）內(nèi)設(shè)置有所述吸熱腔（720），所述吸熱腔（720）與所述傳熱管路（900）連通，所述第三殼體（710）朝向?yàn)樗鑫⒉ㄇ惑w（110）內(nèi)側(cè)的一面上穿設(shè)有多個(gè)第一熱管（730）。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述第一熱管（730）呈中空?qǐng)A柱狀，所述第一熱管（730）的兩端分別為第一吸熱部（740）和第一放熱部（750），所述第一吸熱部（740）位于所述微波腔體（110）內(nèi)，所述第一放熱部（750）位于所述吸熱腔（720）內(nèi)，所述第一熱管（730）內(nèi)密封有換熱介質(zhì)，換熱介質(zhì)在所述第一吸熱部（740）內(nèi)吸收所述微波腔體（110）中的熱量，吸收了熱量的換熱介質(zhì)移動(dòng)至所述第一放熱部（750）向所述吸熱腔（720）釋放熱量。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述控溫盤（500）包括加熱面板（810），所述加熱面板（810）用于放置晶圓，所述加熱面板（810）下方開設(shè)有熱源腔（820），所述熱源腔（820）用于所述加熱面板（810）上的晶圓，所述放熱組件（800）設(shè)置在所述熱源腔（820）內(nèi)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述放熱組件（800）包括第四殼體（830），所述第四殼體（830）設(shè)置在所述熱源腔（820）內(nèi)，所述第四殼體（830）呈中空結(jié)構(gòu)，所述第四殼體（830）內(nèi)設(shè)置有放熱腔（840），所述放熱腔（840）與所述傳熱管路（900）連通，所述第四殼體（830）上穿設(shè)有多個(gè)第二熱管（850）。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置，其特征在于，所述第二熱管（850）呈中空?qǐng)A柱狀，所述第二熱管（850）的兩端分別為第二吸熱部（860）和第二放熱部（870），所述第二吸熱部（860）位于所述放熱腔（840）內(nèi)，所述第二放熱部（870）位于所述熱源腔（820）內(nèi)，所述第二熱管（850）內(nèi)密封有換熱介質(zhì)，換熱介質(zhì)在所述第二吸熱部（860）內(nèi)吸收所述放熱腔（840）中的熱量，吸收了熱量的換熱介質(zhì)移動(dòng)至所述第二放熱部（870）向所述熱源腔（820）釋放熱量。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生UV光的光刻膠固化裝置，屬于半導(dǎo)體芯片制作技術(shù)領(lǐng)域，本微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生UV光的光刻膠固化裝置包括：第一殼體，第一殼體呈中空?qǐng)A柱狀，第一殼體內(nèi)開設(shè)有微波腔體；磁控管，磁控管通過(guò)波導(dǎo)管與微波腔體連通，磁控管與微波電源連接；反射罩，反射罩呈中空?qǐng)A臺(tái)狀，反射罩內(nèi)開設(shè)有反射腔，反射腔與微波腔體連通，反射罩下端設(shè)置有敞口；汞燈，汞燈吊設(shè)在反射墻內(nèi)，汞燈內(nèi)部灌裝有汞氣；控溫盤，控溫盤正對(duì)敞口設(shè)置在反射腔下方，控溫盤用于放置晶圓并為晶圓的光刻膠層提供適合的固化溫度，控溫盤上設(shè)置有第一測(cè)溫元件，控溫盤根據(jù)第一測(cè)溫元件所檢測(cè)到的溫度對(duì)晶圓的溫度進(jìn)行調(diào)控。

技術(shù)研發(fā)人員：丁雪苗,趙公魄,趙芝強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：珠海寶豐堂半導(dǎo)體股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19