技術(shù)特征：

1.一種方法，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的方法，還包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的方法，

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的方法，其中，使所述變差計(jì)算應(yīng)用于至少一層(204(n*))的幾何形狀，并使所述層疊(200)的其余層保持不變。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的方法，還包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的方法，還包括：

11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述指示表示：

12.一種計(jì)算機(jī)程序，所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)使所述處理器實(shí)施根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的方法。

13.一種存儲(chǔ)有指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述指令被處理器執(zhí)行時(shí)使處理器實(shí)施根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的方法。

14.一種控制器(112)，包括：

15.一種真空涂覆組件(100)，包括：

16.一種層疊，包括：

技術(shù)總結(jié)
根據(jù)本公開(kāi)各種實(shí)施方案，一種方法可包括：基于關(guān)于層疊(200)的光譜屬性(a*)的實(shí)際狀態(tài)的預(yù)測(cè)(V(a*))與光譜屬性(a*)的實(shí)際狀態(tài)(I(a*))的比較，確定表示層疊(200)的光密度空間分布目標(biāo)狀態(tài)(200S)或?qū)盈B(200)的所得光譜屬性(a*)的要求(S(a*))的指示，其中，預(yù)測(cè)(V(a*))是基于層疊(200)的模型，實(shí)現(xiàn)層疊(200)的指示與光譜屬性(a*)之間的關(guān)聯(lián)；以及基于指示來(lái)控制執(zhí)行器，以影響用于形成層疊(200)的數(shù)個(gè)成層工序中的至少一個(gè)成層工序。

技術(shù)研發(fā)人員：約翰尼斯·洛納特
受保護(hù)的技術(shù)使用者：馮·阿登納資產(chǎn)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/26