本發(fā)明屬于耐氟涂層制備，具體涉及一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝。

背景技術(shù)：

1、在pecvd工藝中，pecvd腔體中f-離子對鋁基材的表面會造成腐蝕，因此為了避免f-離子對鋁基材的表面造成腐蝕，通常會采用在鋁基材的表面制備一層耐氟涂層。

2、但是現(xiàn)有含氟離子的耐氟涂層制備工藝存在如下問題：

3、(1)傳統(tǒng)制造工藝為噴涂方式，所得膜層厚度不均勻；

4、(2)所得膜層結(jié)合力不夠，在使用過程中會脫落污染腔體；

5、(3)制造設(shè)備所需能耗較高，制備時對原料本身性質(zhì)要求較高，如純度、粉體粒度、粉體流動性等；

6、(4)成膜所需設(shè)備昂貴，工藝復(fù)雜。

7、公開于該背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在增加對本發(fā)明的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，其能夠解決現(xiàn)有的含氟離子的耐氟涂層制備時存在膜層厚度不均勻、膜層結(jié)合力不足、制備時能耗高以及成膜設(shè)備昂貴的問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明一具體實(shí)施例提供的技術(shù)方案如下：

3、一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，包括以下步驟：

4、s1、對工件的表面進(jìn)行打磨拋光，去除表面的氧化層；由于工件表面的氧化層會對耐氟涂層與工件之間的附著力造成影響，因此在進(jìn)行耐氟涂層前，需要通過打磨拋光的方式將工件表面的氧化層去除。

5、s2、對工件進(jìn)行噴砂處理；通過噴砂使工件的表面獲得一定的清潔度和不同的粗糙度，使工件表面的機(jī)械性能得到改善，因此提高了工件的抗疲勞性，增加了工件和耐氟涂層之間的附著力，延長了涂膜的耐久性，也有利于涂料的流平和裝飾。

6、s3、在工件表面涂覆pvdf；通過pvdf提高了工件表面的抗老化、耐化學(xué)藥品、耐氣候、耐紫外光輻射等性能。

7、s4、將工件放置于反應(yīng)室內(nèi)，使得工件在反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行養(yǎng)護(hù)，使得f-浸入鋁基材表面；將完成表面涂覆的工件放置于反應(yīng)室內(nèi)，在反應(yīng)室內(nèi)，對工件的涂料進(jìn)行養(yǎng)護(hù)，從而使得氟離子浸入到鋁基材的表面。

8、s5、在反應(yīng)室內(nèi)養(yǎng)護(hù)完成的部件去除后進(jìn)行清洗，清洗完成后便可以完成對工件表面含氟離子的耐氟涂層的制備。在反應(yīng)室內(nèi)完成養(yǎng)護(hù)的工件，通過清洗后便完成了含氟離子耐氟涂層的制備。

9、在本發(fā)明的一個或多個實(shí)施例中，所述s2中工件表面的噴砂處理針對于對工件表面平面度要求較低的工件，若工件表面的平整度要求較高，則工件表面不需要進(jìn)行噴砂處理。由于噴砂會在工件的表面增加粗糙度，因此對工件的表面平整度要求高的工件表面不易進(jìn)行噴砂處理。

10、在本發(fā)明的一個或多個實(shí)施例中，所述s4中對工件進(jìn)行養(yǎng)護(hù)時，反應(yīng)室需要處于真空狀態(tài)，使得工件處在真空狀態(tài)下。通過將抽真空裝置使得反應(yīng)室處在真空狀態(tài)下，從而使得工件處在真空狀態(tài)下，從而提高了對工件表面含氟離子的耐氟涂層的養(yǎng)護(hù)效果。

11、在本發(fā)明的一個或多個實(shí)施例中，所述s4中對工件進(jìn)行養(yǎng)護(hù)時，反應(yīng)室的處于特定的溫度范圍內(nèi)，并且在特定的溫度范圍內(nèi)對工件養(yǎng)護(hù)一定的時間。將工件放置于反應(yīng)室內(nèi)，在特定的溫度和時間條件下，提高了對工件表面含氟離子的耐氟涂層的養(yǎng)護(hù)效果。

12、在本發(fā)明的一個或多個實(shí)施例中，所述反應(yīng)室的溫度控制在430～470℃。對工件進(jìn)行養(yǎng)護(hù)時，將反應(yīng)室的溫度控制在430～470℃，在該溫度范圍內(nèi)，使得含氟離子的耐氟涂層的氧化效果最佳。

13、在本發(fā)明的一個或多個實(shí)施例中，所述工件養(yǎng)護(hù)的時間為在反應(yīng)室溫度保持不變的情況下維持4～5小時。對工件進(jìn)行養(yǎng)護(hù)時，在430～470℃的溫度范圍內(nèi)，對工件養(yǎng)護(hù)4～5小時，使得含氟離子的耐氟涂層的氧化效果最佳。

14、在本發(fā)明的一個或多個實(shí)施例中，所述s5中對工件進(jìn)行清洗時，采用多重清洗方式對工件進(jìn)行清洗。多重清洗方式確保將工件表面的廢棄物清理干凈。

15、在本發(fā)明的一個或多個實(shí)施例中，所述多重清洗方式選用去離子高壓水沖洗和超聲波清洗，首先對工件通過去離子高壓水沖洗，去離子水沖洗完成后通過超聲波對工件的表面進(jìn)行再次清洗。通過去離子水對養(yǎng)護(hù)完成的工件表面進(jìn)行初次清洗，然后通過超聲波對工件表面進(jìn)行再次清洗，從而將工件表面的廢棄物清洗干凈。

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的具有如下優(yōu)點(diǎn)：

17、(1)所得膜層為生長膜層，厚度均勻，致密性良好；

18、(2)層間結(jié)合力良好，使用過程中能對母材起到良好的保護(hù)作用，膜層不易脫落；

19、(3)制造工藝簡單，所用試劑價值較低；

20、(4)所用設(shè)備簡單，步驟較少，可大大降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)特征：

1.一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，其特征在于，包括以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，其特征在于，所述s2中工件表面的噴砂處理針對于對工件表面平面度要求較低的工件，若工件表面的平整度要求較高，則工件表面不需要進(jìn)行噴砂處理。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，其特征在于，所述s4中對工件進(jìn)行養(yǎng)護(hù)時，反應(yīng)室需要處于真空狀態(tài)，使得工件處在真空狀態(tài)下。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，其特征在于，所述s4中對工件進(jìn)行養(yǎng)護(hù)時，反應(yīng)室的處于特定的溫度范圍內(nèi)，并且在特定的溫度范圍內(nèi)對工件養(yǎng)護(hù)一定的時間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，其特征在于，所述反應(yīng)室的溫度控制在430～470℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，其特征在于，所述工件養(yǎng)護(hù)的時間為在反應(yīng)室溫度保持不變的情況下維持4～5小時。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，其特征在于，所述s5中對工件進(jìn)行清洗時，采用多重清洗方式對工件進(jìn)行清洗。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，其特征在于，所述多重清洗方式選用去離子高壓水沖洗和超聲波清洗，首先對工件通過去離子高壓水沖洗，去離子水沖洗完成后通過超聲波對工件的表面進(jìn)行再次清洗。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種含氟離子的耐氟涂層制備工藝，屬于耐氟涂層制備技術(shù)領(lǐng)域，含氟離子的耐氟涂層制備工藝包括以下步驟：S1、對工件的表面進(jìn)行打磨拋光，去除表面的氧化層；S2、對工件進(jìn)行噴砂處理；S3、在工件表面涂覆PVDF；S4、將工件放置于反應(yīng)室內(nèi)，使得工件在反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行養(yǎng)護(hù)，使得F?浸入鋁基材表面；S5、在反應(yīng)室內(nèi)養(yǎng)護(hù)完成的部件去除后進(jìn)行清洗，清洗完成后便可以完成對工件表面含氟離子的耐氟涂層的制備。本發(fā)明所得膜層為生長膜層，厚度均勻，致密性良好；層間結(jié)合力良好，使用過程中能對母材起到良好的保護(hù)作用，膜層不易脫落；制造工藝簡單，所用試劑價值較低；所用設(shè)備簡單，步驟較少，可大大降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：羅磊,黎靜,葛現(xiàn)金,高旭,李志豪
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇實(shí)為半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/23