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一種電子級(jí)多晶硅尾氣吸收的控制系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):11415352閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種電子級(jí)多晶硅尾氣吸收的控制系統(tǒng),其特征在于,包括:

吸收塔(1),所述吸收塔具有位于塔身側(cè)壁靠下位置的第一進(jìn)料口(101)、位于塔身側(cè)壁靠上位置的第二進(jìn)料口(102)、位于塔頂?shù)牡谝怀隽峡?103)、位于塔底的第二出料口(104);

解吸塔(2),所述解吸塔具有位于塔身側(cè)壁中部位置的第三進(jìn)料口(201)和位于塔身側(cè)壁靠上位置的第四進(jìn)料口(202)、位于塔頂?shù)牡谌隽峡?203)、位于塔底的第四出料口(204);

第一在線色譜儀(3);

第二在線色譜儀(4);

DCS控制系統(tǒng)(5);

所述第二進(jìn)料口(102)通過第一管道(6)和所述第四出料口(204)相連;所述第一出料口(103)連接第二管道(7),所述第二出料口(104)通過第三管道(8)與第三進(jìn)料口(201)相連;

所述第三出料口(203)通過第四管道(9)與第四進(jìn)料口(202)連接,所述第四管道(9)上設(shè)有回流氣動(dòng)閥(10);

所述第一管道(6)上設(shè)有第一三通(11),所述第一三通(11)兩端連通第一管道(6),第三端連通第一在線色譜儀引入管(12);所述第一在線色譜儀引入管(12)末端連接有第一氣動(dòng)三通閥(13),所述第一氣動(dòng)三通閥(13)通過管道連接于第一在線色譜儀(3),所述第一在線色譜儀(3)連接到DCS控制系統(tǒng)(5)上;

所述第二管道(7)上設(shè)有第二三通(14),所述第二三通(14)兩端連通第二管道(7),第三端連通第二在線色譜儀引入管(15);所述第二在線色譜儀引入管(15)末端連接有第二氣動(dòng)三通閥(16),所述第二氣動(dòng)三通閥(16)通過管道連接于第二在線色譜儀(4),所述第二在線色譜儀(4)連接到DCS控制系統(tǒng)(5)上;

所述DCS控制系統(tǒng)(5)連接所述回流氣動(dòng)閥(10)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述電子級(jí)多晶硅尾氣吸收的控制系統(tǒng),其特征在于,所述第四管道(9)上在所述第三出料口(203)和所述回流氣動(dòng)閥(10)之間還依次設(shè)有塔頂換熱器(17)和塔頂回流罐(18)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述電子級(jí)多晶硅尾氣吸收的控制系統(tǒng),其特征在于,所述第一進(jìn)料口(101)與多晶硅尾氣回收系統(tǒng)的深冷裝置出口連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述電子級(jí)多晶硅尾氣吸收的控制系統(tǒng),其特征在于,所述第二管道(7)與多晶硅尾氣回收系統(tǒng)的活性炭吸附塔入口相連。

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