技術(shù)編號：11415352
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種電子級多晶硅尾氣吸收的控制系統(tǒng)。背景技術(shù)電子級多晶硅生產(chǎn)都采用改良西門子法，在本工藝中尾氣回收大多采用干法回收的工藝。包含有三氯氫硅、二氯二氫硅、四氯化硅、氫氣和氯化氫的還原尾氣經(jīng)過深冷后，分離出的氫氣會通入吸收塔，在此借助后端循環(huán)利用的氯硅烷對氫氣進(jìn)行淋洗，吸收掉氫氣中含有的HCL、氯硅烷等雜質(zhì)后，氫氣再通往吸附塔進(jìn)行進(jìn)一步除雜，從而變?yōu)榭蛇M(jìn)行還原沉積的合格氫氣原料。吸收了HCL、氯硅烷等雜質(zhì)的氯硅烷則通往解吸塔，在解吸塔中分離出較為純凈的氯硅烷部...
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