技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種用于化學(xué)噴射沉積的超聲波噴嘴，包括噴嘴本體，噴嘴本體上端設(shè)置溶液進(jìn)孔，上端兩側(cè)分別設(shè)置超聲波發(fā)生部件，噴嘴本體下端設(shè)置若干溶液出孔，以每列溶液出孔計數(shù)，分為n孔、n?1孔、n?2孔，溶液出孔按若干列n孔–若干列n?1孔–若干列n?2孔?若干列n?1孔–若干列n孔在噴嘴本體下端排列。本實用新型通過設(shè)置超聲波發(fā)生部件和改變?nèi)芤撼隹着帕?，使得溶液噴灑更流暢，噴射的液體在襯底表面分布更均勻，保持了襯底表面液體的均勻性，充分提高了化學(xué)噴射沉積薄膜的均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：張龍飛;任宇航;劉寬菲;羅明新
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江尚越新能源開發(fā)有限公司
文檔號碼：201720006825
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.04
技術(shù)公布日：2017.08.22