本實(shí)用新型涉及一種噴嘴，尤其是涉及一種用于化學(xué)噴射沉積的超聲波噴嘴。

背景技術(shù)：

隨著全球氣候變暖、生態(tài)環(huán)境惡化和常規(guī)能源的短缺，太陽(yáng)能已成為各國(guó)可持續(xù)發(fā)展的重要戰(zhàn)略決策。太陽(yáng)能電池就是一種將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化成電能的裝置，具備超過(guò)電能、風(fēng)能等資源的獨(dú)特性能，而有希望成為未來(lái)電力行業(yè)的重要支柱。太陽(yáng)能電池主要分為硅太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體薄膜電池、有機(jī)聚合物電池、納米晶電池、有機(jī)薄膜電池等。其中，銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽(yáng)能電池屬于半導(dǎo)體薄膜電池，由于銅銦鎵硒具備直接帶隙結(jié)構(gòu)，并且具有較高的吸收系數(shù)，膜層只需達(dá)到微米級(jí)就可全部吸收能量大于銅銦鎵硒薄膜帶寬的入射光，因此銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)能電池可節(jié)省大量的原料，并且受稀有元素價(jià)格提升和原料短缺的影響相對(duì)較小，具有光吸收能力強(qiáng)，放電穩(wěn)定性好、轉(zhuǎn)化效率高，白天發(fā)電時(shí)間長(zhǎng)、發(fā)電量高，生產(chǎn)成本低以及能源回收周期短等諸多優(yōu)勢(shì)，因而具有廣闊的市場(chǎng)前景。

銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)能電池主要有窗口層、緩沖層、吸收層、背電極和襯底組成。其中，緩沖層的作用有兩個(gè)：一是作為吸收層的保護(hù)層，防止后續(xù)工藝對(duì)吸收層的破壞，二是作為吸收層和窗口層的過(guò)渡層，減小晶格失配。緩沖層的制備一般采用化學(xué)沉積法，利用噴嘴將溶液噴射到襯底上通過(guò)化學(xué)沉積制備。目前化學(xué)沉積使用的噴嘴溶液出孔直徑為0.4mm左右，出孔在噴嘴上均勻分布，噴灑溶液時(shí)容易堵塞，噴灑分布不均勻，從而易造成襯底上生成的薄膜不均一。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型目的是提供一種用于化學(xué)噴射沉積的超聲波噴嘴，以解決現(xiàn)有技術(shù)的不足。

本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種用于化學(xué)噴射沉積的超聲波噴嘴，包括噴嘴本體，噴嘴本體上端設(shè)置溶液進(jìn)孔，上端兩側(cè)分別設(shè)置超聲波發(fā)生部件，噴嘴本體下端設(shè)置若干溶液出孔，以每列溶液出孔計(jì)數(shù)，分為n孔、n-1孔、n-2孔，溶液出孔按若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔在噴嘴本體下端排列。

優(yōu)選地，n為大于等于3的自然數(shù)。

優(yōu)選地，若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔，各列數(shù)相同或不相同。

優(yōu)選地，噴嘴本體兩側(cè)端分別設(shè)置支撐頭。

優(yōu)選地，超聲波發(fā)生部件包括超聲波發(fā)生器和超聲波換能器，超聲波發(fā)生器和超聲波換能器電連接，超聲波換能器設(shè)置在噴嘴本體內(nèi)部。

本實(shí)用新型的有益效果：

1、目前噴嘴溶液出孔直徑較小，容易發(fā)生堵塞，本實(shí)用新型在噴嘴本體上端兩側(cè)分別設(shè)置超聲波發(fā)生部件，使溶液在噴嘴里面充分振動(dòng)，避免噴嘴阻塞，可以保持長(zhǎng)時(shí)間噴灑均勻。

2、目前溶液出孔在噴嘴下端均勻排布，在實(shí)際成產(chǎn)中，襯底中間部分受到噴嘴中間噴灑溶液的影響，還受到兩邊噴灑溶液的影響，而兩邊只受到各自所在邊和中間的影響，溶液噴灑在襯底上分布不均勻，中間多，兩邊少，沉積的膜不均勻，本實(shí)用新型溶液出孔按若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔在噴嘴本體下端排列，可以有效減弱中間的影響，使得噴灑的溶液分布均勻。

綜上，本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置超聲波發(fā)生部件和改變?nèi)芤撼隹着帕?，使得溶液噴灑更流暢，噴射的液體在襯底表面分布更均勻，保持了襯底表面液體的均勻性，充分提高了化學(xué)噴射沉積薄膜的均勻性。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型的俯視圖。

圖3為本實(shí)用新型的仰視圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

一種用于化學(xué)噴射沉積的超聲波噴嘴，如圖1至圖3所示，包括噴嘴本體1，噴嘴本體1上端設(shè)置溶液進(jìn)孔2，上端兩側(cè)分別設(shè)置超聲波發(fā)生部件5。噴嘴本體1下端設(shè)置若干溶液出孔3，以每列溶液出孔計(jì)數(shù)，分為n孔、n-1孔、n-2孔，優(yōu)選地，n為大于等于3的自然數(shù)。溶液出孔3按若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔在噴嘴本體下端排列，各列數(shù)相同或不相同。圖3中n為3，溶液出孔3按3列3孔–3列2孔–3列1孔-3列2孔–3列3孔在噴嘴本體1下端排列。噴嘴本體1兩側(cè)端分別設(shè)置支撐頭4。

超聲波發(fā)生部件5包括超聲波發(fā)生器和超聲波換能器，超聲波發(fā)生器和超聲波換能器電連接，超聲波換能器設(shè)置在噴嘴本體1內(nèi)部。超聲波發(fā)生器作用是把市電轉(zhuǎn)換成與超聲波換能器相匹配的高頻交流電信號(hào)，驅(qū)動(dòng)超聲波換能器工作。超聲波換能器的功能是將輸入的電功率轉(zhuǎn)換成機(jī)械功率(即超聲波)再傳遞出去，而自身消耗很少的一部分功率。超聲波發(fā)生部件5的設(shè)置使溶液在噴嘴里面充分振動(dòng)，避免噴嘴阻塞，可以保持長(zhǎng)時(shí)間噴灑均勻。

溶液出孔3按若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔在噴嘴本體1下端排列，這樣可以有效減弱中間的影響，可以使得兩邊噴出的溶液比中間多，適當(dāng)加大兩邊噴射流量，減弱中間的流量，而兩邊的溶液在襯底上可以向中間流動(dòng)，這樣使得液體在兩邊和中間分布的更均勻，使得溶液噴灑分布均勻。

本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置超聲波發(fā)生部件5和改變?nèi)芤撼隹?排列，使得溶液噴灑更流暢，噴射的液體在襯底表面分布更均勻，保持了襯底表面液體的均勻性，充分提高了化學(xué)噴射沉積薄膜的均勻性。

以上通過(guò)具體的和優(yōu)選的實(shí)施例詳細(xì)的描述了本實(shí)用新型，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，本實(shí)用新型并不局限于以上所述實(shí)施例，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。