1.一種用于化學噴射沉積的超聲波噴嘴,其特征在于,包括噴嘴本體,噴嘴本體上端設置溶液進孔,上端兩側分別設置超聲波發(fā)生部件,噴嘴本體下端設置若干溶液出孔,以每列溶液出孔計數(shù),分為n孔、n-1孔、n-2孔,溶液出孔按若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔在噴嘴本體下端排列。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于化學噴射沉積的超聲波噴嘴,其特征在于,n為大于等于3的自然數(shù)。
3.根據(jù)權利要求1所述的用于化學噴射沉積的超聲波噴嘴,其特征在于,若干列n孔–若干列n-1孔–若干列n-2孔-若干列n-1孔–若干列n孔,各列數(shù)相同或不相同。
4.根據(jù)權利要求1所述的用于化學噴射沉積的超聲波噴嘴,其特征在于,噴嘴本體兩側端分別設置支撐頭。
5.根據(jù)權利要求1所述的用于化學噴射沉積的超聲波噴嘴,其特征在于,超聲波發(fā)生部件包括超聲波發(fā)生器和超聲波換能器,超聲波發(fā)生器和超聲波換能器電連接,超聲波換能器設置在噴嘴本體內(nèi)部。