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一種不規(guī)則半導(dǎo)體材料破碎裝置的制作方法

文檔序號(hào):11606579閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種不規(guī)則半導(dǎo)體材料破碎裝置,涉及材料破碎領(lǐng)域,該裝置包括:處理室、高壓脈沖發(fā)生器和電極組件,處理室中放置有向上開(kāi)口的破碎容器,破碎容器用于盛放待破碎的不規(guī)則半導(dǎo)體材料,高壓脈沖發(fā)生器電性連接電極組件,電極組件設(shè)置于破碎容器上方,高壓脈沖發(fā)生器用于通過(guò)電極組件向待破碎的不規(guī)則半導(dǎo)體材料發(fā)送高壓脈沖信號(hào),該裝置可以實(shí)現(xiàn)通過(guò)高壓脈沖信號(hào)破碎半導(dǎo)體材料且本發(fā)明中的電極組件的分布電感較低,可以有效提高放電效率,因此破碎效率較高,同時(shí)破碎操作在工藝流體中進(jìn)行,有效避免半導(dǎo)體材料被污染。

技術(shù)研發(fā)人員:魏丹
受保護(hù)的技術(shù)使用者:無(wú)錫市華莊電光源機(jī)械設(shè)備廠
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.24
技術(shù)公布日:2017.08.04
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