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氣體純化器的制作方法

文檔序號(hào):11605912閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明是一種氣體純化器,其例如在次大氣壓下自惰性氣體及還原氣體移除濕氣及氧氣。該純化器可移除氣流中百萬分之一體積含量的濕氣至低于萬億分之100,且具有較低壓降及較陡穿透曲線。

技術(shù)研發(fā)人員:亞伯尼須·斯里瓦斯塔瓦;湯瑪斯·理察·賈弗尼;耶穌華·T·庫(kù)克;彼得·K·秀格瑞;戴姆辛·保羅·莫菲;史坦尼奧達(dá)柯司塔·沛瑞拉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:恩特格里斯公司
技術(shù)研發(fā)日:2013.02.08
技術(shù)公布日:2017.08.04
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