本發(fā)明涉及光阻涂布技術(shù)，特別是涉及一種光阻涂布裝置及噴嘴。

背景技術(shù)：

黃光制程是制造顯示面板的重要過程，而光阻涂布又是黃光制程中的關(guān)鍵步驟，該步驟主要是通過涂布機(jī)(slitcoater)在玻璃基板上涂布一定厚度的光阻層，以在后續(xù)制程中將電路圖案刻印在光阻層上。

然而，現(xiàn)有的涂布機(jī)在涂布光阻時(shí)，常常會(huì)因?yàn)閲娮靸?nèi)的氣泡而導(dǎo)致光阻涂布破膜，影響光阻層的質(zhì)量，容易導(dǎo)致產(chǎn)品不良甚至報(bào)廢。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種光阻涂布裝置及噴嘴，能夠有效地將噴嘴內(nèi)的氣體排出，以減少噴嘴內(nèi)的氣泡，從而可以提高光阻層的質(zhì)量，有利于提升產(chǎn)品良率。

本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于光阻涂布的噴嘴，包括內(nèi)部形成有一空腔的噴嘴本體，所述空腔設(shè)置有注入孔和排氣孔；

所述空腔包括頂部、底部以及位于所述頂部和所述底部之間的側(cè)部，其中所述排氣孔位于所述空腔的頂部，用于將所述空腔內(nèi)的氣體排出，所述注入孔位于所述空腔的側(cè)部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，用于注入光阻液。

在本發(fā)明所述的噴嘴中，所述注入孔位于所述空腔的側(cè)部且靠近所述空腔的底部，其中所述注入孔的數(shù)量為二，兩個(gè)所述注入孔相對(duì)設(shè)置。

在本發(fā)明所述的噴嘴中，還包括控制模塊、開關(guān)和光阻液供給管路；

所述光阻液供給管路的一端與其中一個(gè)所述注入孔連接，另一端連接至光阻液供給裝置，所述開關(guān)設(shè)置在所述光阻液供給管路中，所述控制模塊與所述開關(guān)連接，用于間隔預(yù)定時(shí)間控制所述開關(guān)打開，以導(dǎo)通所述光阻液供給管路。

在本發(fā)明所述的噴嘴中，所述空腔呈錐形，所述空腔的錐頂為所述空腔的頂部，所述空腔的錐底面為所述空腔的底部。

在本發(fā)明所述的噴嘴中，所述空腔呈圓柱形。

本發(fā)明實(shí)施例還提供一種光阻涂布裝置，包括噴嘴和光阻液供給裝置，所述噴嘴包括內(nèi)部形成有一空腔的噴嘴本體，所述空腔設(shè)置有注入孔和排氣孔；

所述空腔包括頂部、底部以及位于所述頂部和所述底部之間的側(cè)部，其中所述排氣孔位于所述空腔的頂部，用于將所述空腔內(nèi)的氣體排出，所述注入孔位于所述空腔的側(cè)部且靠近所述空腔的底部，或者所述注入孔位于所述空腔的底部，所述光阻液供給裝置與所述注入孔連接，用于提供光阻液。

在本發(fā)明所述的光阻涂布裝置中，所述注入孔位于所述空腔的側(cè)部且靠近所述空腔的底部，其中所述注入孔的數(shù)量為二，兩個(gè)所述注入孔相對(duì)設(shè)置。

在本發(fā)明所述的光阻涂布裝置中，還包括控制模塊、開關(guān)和光阻液供給管路；

所述光阻液供給管路的一端與其中一個(gè)所述注入孔連接，另一端連接至所述光阻液供給裝置，所述開關(guān)設(shè)置在所述光阻液供給管路中，所述控制模塊與所述開關(guān)連接，用于間隔預(yù)定時(shí)間控制所述開關(guān)打開，以導(dǎo)通所述光阻液供給管路。

在本發(fā)明所述的光阻涂布裝置中，所述空腔呈錐形，所述空腔的錐頂為所述空腔的頂部，所述空腔的錐底面為所述空腔的底部。

在本發(fā)明所述的光阻涂布裝置中，所述空腔呈圓柱形。

相較于現(xiàn)有的涂布機(jī)，本發(fā)明的用于光阻涂布的噴嘴，用于存儲(chǔ)光阻液的空腔設(shè)置有注入孔和排氣孔，通過將排氣孔設(shè)置在空腔的頂部，注入孔設(shè)置在空腔的側(cè)部且靠近空腔的底部，或者注入孔設(shè)置在空腔的底部，由此使得光阻液從空腔的底部或靠近底部的側(cè)部注入，從而可以減小光阻液對(duì)氣體流動(dòng)的阻礙影響，有利于氣體升上頂部并從頂部的排氣孔排出，從而可以減小噴嘴內(nèi)的氣泡，提高產(chǎn)品良率。

為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下：

附圖說明

圖1是本發(fā)明用于光阻涂布的噴嘴一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明用于光阻涂布的噴嘴另一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明光阻涂布裝置一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「側(cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。

在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號(hào)表示。

參閱圖1，本發(fā)明用于光阻涂布的噴嘴一實(shí)施方式中，噴嘴包括噴嘴本體10。噴嘴本體10的內(nèi)部形成有一空腔101，用于儲(chǔ)存光阻液。

空腔101設(shè)置有注入孔21、排氣孔22以及排出孔23。光阻液自注入孔21注入空腔101內(nèi)，排氣孔22用于將空腔101內(nèi)的氣體排出，排出孔23用于輸出光阻液，以實(shí)現(xiàn)光阻涂布。

其中，空腔101包括頂部1011、底部1012以及位于頂部1011和底部1012之間的側(cè)部1013。排氣孔22位于頂部1011。本實(shí)施方式中。注入孔21位于側(cè)部1013，并且靠近底部1012設(shè)置。

進(jìn)一步地，注入孔21的數(shù)量為二，兩個(gè)注入孔21相對(duì)設(shè)置。

通過本實(shí)施方式，光阻液從空腔101的靠近底部1012的側(cè)部注入，以向空腔101的頂部1011逐漸填滿，由此可以減小光阻液對(duì)氣體流動(dòng)的阻礙影響，有利于氣體升上頂部并從頂部的排氣孔22排出，能夠減少空腔內(nèi)氣體的存在，并且能夠借助光阻液的流向推動(dòng)氣體向頂部1011的排氣孔22排出，可以進(jìn)一步將空腔101內(nèi)的氣體排除干凈，進(jìn)而可以提高光阻涂布的質(zhì)量。

并且，本實(shí)施例通過設(shè)置兩個(gè)相對(duì)的注入孔21，更有利于將空腔101內(nèi)的氣體向頂部1011推動(dòng)，以盡可能地將氣體排凈。

其中，兩個(gè)注入孔21可以通過一管路相互連通，例如，利用一y型管路，該y型管路的兩個(gè)端口各自連接一個(gè)注入孔21，y型管路的另一個(gè)端口連接光阻液供給裝置，從而光阻液供給裝置可以通過y型管路同時(shí)從兩個(gè)注入孔21注入光阻液。

可選地，噴嘴還包括控制模塊11、開關(guān)12和光阻液供給管路13。光阻液供給管路13的一端與其中一個(gè)注入孔21連接，例如以圖1所示視圖為例，光阻液供給管路13的一端與右側(cè)的注入孔21連接，另一端則連接至光阻液供給裝置，光阻液供給裝置用于通過光阻液供給管路13將光阻液從右邊的注入孔21注入空腔101中。開關(guān)12設(shè)置在光阻液供給管路13中，控制模塊11與開關(guān)12連接，用于控制開關(guān)12的打開和關(guān)閉，進(jìn)而控制光阻液供給管路13的導(dǎo)通和斷開。光阻液提供裝置還與左邊的注入孔21連接。

在噴嘴進(jìn)行光阻涂布的作業(yè)中，光阻液供給裝置與左邊的注入孔21之間的連接處于常導(dǎo)通狀態(tài)，以不斷將光阻液從注入孔21中注入。開關(guān)12則處于常閉狀態(tài)，當(dāng)需要排氣泡時(shí)，控制模塊11控制開關(guān)12打開，以導(dǎo)通光阻液供給管路13，從而光阻液供給裝置通過光阻液供給管路13對(duì)空腔101注入光阻，以進(jìn)行排泡。

具體而言，光阻液從左邊的注入孔21不斷注入空腔101中，以對(duì)噴嘴提供涂布所需的光阻液。而光阻液中可能會(huì)存在氣泡，當(dāng)左邊的注入孔21注入一定量的光阻液時(shí)，為了更好地氣泡從空腔101排出，本實(shí)施例設(shè)計(jì)為使控制模塊11每間隔預(yù)定時(shí)間控制開關(guān)12打開，從而使得光阻液從右邊的注入孔21注入空腔101內(nèi)，由此通過左右兩側(cè)的注入孔21同時(shí)注入光阻液，以利用光阻液的流速將空腔101內(nèi)的氣泡盡可能推至空腔101的頂部1011，進(jìn)而從排氣孔22排出。

其中，預(yù)定時(shí)間可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)定，例如可以是0.5小時(shí)、1小時(shí)或1.5小時(shí)等。

開關(guān)12導(dǎo)通一定的時(shí)間后，例如10分鐘、20分鐘或30分鐘等，控制模塊11控制開關(guān)12關(guān)閉，以關(guān)閉光阻液供給管路13，進(jìn)行下一輪循環(huán)。

本實(shí)施方式中，通過控制開關(guān)12每隔預(yù)定時(shí)間才打開，有助于排泡，同時(shí)還可以避免左右兩個(gè)注入孔21處于長時(shí)間持續(xù)同時(shí)打開的狀態(tài)，從而可以降低光阻液同時(shí)從兩個(gè)注入孔注入而對(duì)涂布效果產(chǎn)生的不良影響。

其中，本實(shí)施方式的空腔101呈錐形。空腔101的錐頂為空腔101的頂部1011，空腔101的錐底面為空腔101的底部1012。當(dāng)然，空腔101還可以是其他形狀，例如圓柱形、方形或者不規(guī)則形等，對(duì)此不做限定。

當(dāng)然，在其他實(shí)施方式中，注入孔還可以位于其他位置，例如，如圖2所示，注入孔21還可以設(shè)置在空腔101的底部1012，排氣孔22設(shè)置在空腔101的頂部。當(dāng)然，還可以同時(shí)在空腔101的側(cè)部1013和底部1012均設(shè)置注入孔。

參閱圖3，本發(fā)明光阻涂布裝置一實(shí)施方式中，光阻涂布裝置包括噴嘴31和光阻液供給裝置32。其中，噴嘴31為上述任一實(shí)施方式所述的噴嘴，噴嘴31和光阻液供給裝置32之間的連接關(guān)系可參考圖1所示實(shí)施例進(jìn)行，出于簡潔的目的，在此不經(jīng)心一一贅述。

綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。