本發(fā)明涉及在醫(yī)療、再生醫(yī)療、制藥等工業(yè)領(lǐng)域中使用的安全柜以及安全柜的除污方法。

背景技術(shù)：

安全柜的內(nèi)部除作業(yè)用的開口部以外形成準(zhǔn)封閉狀態(tài)的作業(yè)室，并且具備如下功能：吸引在該作業(yè)室內(nèi)產(chǎn)生的污染懸浮顆粒，不使其向作業(yè)者側(cè)流出，另一方面，吸引回收后的污染空氣通過HEPA過濾器實現(xiàn)無菌、清潔化后排氣，根據(jù)所處理的病原體的水平，被分類為等級I、II、III。

作為這樣的安全柜的一個例子，已知有專利文獻(xiàn)1所記載的安全柜。該安全柜具備：柜主體，其在前表面具有開閉門，且在內(nèi)部形成作業(yè)室；供氣用的高性能過濾器，其設(shè)于所述作業(yè)室的一側(cè)；送風(fēng)機(jī)，其向該供氣用的高性能過濾器壓送空氣；作業(yè)臺，其配置于所述作業(yè)室的另一側(cè)，并具有供該作業(yè)室內(nèi)的空氣通過的排氣孔；連通路，其通過所述送風(fēng)機(jī)吸引通過所述排氣孔從所述作業(yè)室流出的空氣；以及排出路，其設(shè)于所述送風(fēng)機(jī)的下風(fēng)側(cè)，經(jīng)由排氣用的高性能過濾器向所述柜主體外排出空氣。

另外，在所述連通路上設(shè)有臭氧產(chǎn)生器，在所述排出路上設(shè)有臭氧去除構(gòu)件，在關(guān)閉所述開閉門的狀態(tài)下使該臭氧產(chǎn)生器工作，并且使所述送風(fēng)機(jī)以額定轉(zhuǎn)速以下的低速進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，并且在所述臭氧產(chǎn)生器停止的狀態(tài)下使所述送風(fēng)機(jī)以額定轉(zhuǎn)速進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)。

在這樣的安全柜中，在作業(yè)結(jié)束后，當(dāng)在關(guān)閉開閉門的狀態(tài)下使該臭氧產(chǎn)生器工作而產(chǎn)生臭氧氣體時，產(chǎn)生的該臭氧氣體在送風(fēng)機(jī)的作用下在連通路內(nèi)循環(huán)，由此，能夠進(jìn)行作業(yè)室外的連通路的殺菌(除污)。尤其是，在臭氧產(chǎn)生器工作中，由于送風(fēng)機(jī)以額定轉(zhuǎn)速以下的低速進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，因此抑制生成不必要的臭氧氣體，并且能夠進(jìn)行相對大范圍的殺菌。

另外，由于在臭氧產(chǎn)生器停止而基于臭氧氣體的殺菌(除污)結(jié)束之后，送風(fēng)機(jī)以額定轉(zhuǎn)速進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，因此將柜主體內(nèi)的空氣所含的臭氧氣體經(jīng)由排氣用的高性能過濾器逐漸排出，此時在排出路上也設(shè)置臭氧去除構(gòu)件，因此能夠迅速地去除臭氧氣體，能夠避免臭氧氣體與排氣一并向外部排出。

在這樣的安全柜的作業(yè)室中，也進(jìn)行抗癌劑、荷爾蒙劑、抗生素等的調(diào)整作業(yè)。而且，由于在調(diào)整作業(yè)結(jié)束之后，抗癌劑、荷爾蒙劑、抗生素等有可能作為殘留物而懸浮或附著于作業(yè)室及其內(nèi)壁面，因此為了防止殘留物的再飛散，也需要對該殘留物進(jìn)行除污。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平7-8811號公報

然而，已知臭氧氣體具有分解去除抗癌劑等的效果，在上述以往的安全柜中，能夠利用臭氧氣體來進(jìn)行作業(yè)室外的連通路的除污。

但是，由于臭氧產(chǎn)生器所產(chǎn)生的臭氧氣體沒有向作業(yè)室供給，因此難以完全對在作業(yè)室中懸浮的殘留物、在作業(yè)室的內(nèi)壁面上附著的殘留物進(jìn)行除污。

而且，雖然若向上述的以往的安全柜的作業(yè)室導(dǎo)入臭氧氣體，則能夠?qū)ψ鳂I(yè)室內(nèi)的殘留物進(jìn)行除污，但在該情況下，需要封閉作業(yè)室并且使臭氧氣體在作業(yè)室循環(huán)，以免在除污中臭氧氣體向作業(yè)室(安全柜)的外側(cè)漏出。

但是，在以往的安全柜中，難以在基于臭氧氣體的除污中防止臭氧氣體從作業(yè)室漏出并使臭氧氣體在作業(yè)室循環(huán)，并且也難以利用規(guī)定濃度的臭氧氣體來進(jìn)行除污。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

本發(fā)明是鑒于所述情況而作出的，其目的在于提供一種安全柜，該安全柜能夠在基于臭氧氣體等氣狀除污劑的除污中防止氣狀除污劑從作業(yè)室漏出，并使氣狀除污劑在作業(yè)室循環(huán)而利用該氣狀除污劑對作業(yè)室進(jìn)行除污，并且能夠利用規(guī)定濃度的氣狀除污劑對作業(yè)室進(jìn)行除污。

用于解決課題的手段

為了實現(xiàn)所述目的，本發(fā)明的安全柜具備在內(nèi)部具有作業(yè)室的柜主體、設(shè)于該柜主體的前表面并能夠使與所述作業(yè)室連通的開口部開閉的開閉構(gòu)件、以及從所述作業(yè)室排出氣體的排氣路，所述作業(yè)室內(nèi)的氣體能夠進(jìn)行內(nèi)部循環(huán)，其特征在于，

所述安全柜具備：

排氣閥，其設(shè)于所述排氣路；

供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇，其設(shè)于所述作業(yè)室；

除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，其向所述作業(yè)室導(dǎo)入氣狀除污劑；

控制部，其控制所述排氣閥、所述供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇以及所述除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)；以及

氣密封閉機(jī)構(gòu)，其能夠利用所述開閉構(gòu)件將所述開口部封閉為氣密。

在本發(fā)明中，在利用氣狀除污劑對作業(yè)室進(jìn)行除污的情況下，控制部關(guān)閉排氣閥，并且利用氣密封閉機(jī)構(gòu)借助開閉構(gòu)件將開口部封閉為氣密，之后，當(dāng)控制部控制除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，將氣狀除污劑導(dǎo)入作業(yè)室，并且使供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇驅(qū)動時，由于排氣閥被關(guān)閉并且開口部被氣密地封閉，因此向作業(yè)室導(dǎo)入的氣狀除污劑不會從作業(yè)室漏出，而是在作業(yè)室進(jìn)行內(nèi)部循環(huán)。

因而，能夠在基于氣狀除污劑的除污中防止氣狀除污劑從作業(yè)室漏出，使氣狀除污劑在作業(yè)室循環(huán)，利用該氣狀除污劑對作業(yè)室進(jìn)行除污。

另外，在本發(fā)明的所述結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選的是，檢測所述作業(yè)室的氣狀除污劑的濃度的濃度傳感器設(shè)為與所述控制部連接，所述控制部基于由該濃度傳感器檢測出的氣狀除污劑的濃度而控制所述除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)。

根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，控制部基于由濃度傳感器檢測出的氣狀除污劑的濃度而控制除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，因此能夠利用規(guī)定濃度的氣狀除污劑對作業(yè)室進(jìn)行除污。

另外，在本發(fā)明的所述結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選的是，所述控制部基于由所述濃度傳感器檢測出的氣狀除污劑的濃度與除污時間之乘積、即CT值而控制所述除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)。

根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于控制部基于由濃度傳感器檢測出的氣狀除污劑的濃度與除污時間之乘積、即CT值而控制除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，因此在該CT值為設(shè)定CT值以上時，控制部能夠使除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)停止。因而，能夠利用氣狀除污劑在適當(dāng)?shù)臅r間進(jìn)行作業(yè)室的除污。

另外，在本發(fā)明的所述結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選的是，所述氣密封閉機(jī)構(gòu)具有充氣密封件。

根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，通過使充氣密封件膨脹，能夠利用開閉構(gòu)件將與作業(yè)室連通的開口部封閉為氣密，另一方面，通過使充氣密封件收縮，能夠容易地使開閉構(gòu)件從開口部移動，打開開口部。

另外，在本發(fā)明的所述結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選的是，所述除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)構(gòu)成為能夠向所述作業(yè)室導(dǎo)入空氣，檢測所述作業(yè)室的內(nèi)部壓力的壓力傳感器設(shè)為與所述控制部連接。

根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于在利用氣狀除污劑對作業(yè)室進(jìn)行除污之前，控制部關(guān)閉排氣閥，并且利用除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)向作業(yè)室導(dǎo)入空氣，由此使作業(yè)室的內(nèi)部壓力上升，利用壓力傳感器來檢測該上升的內(nèi)部壓力。然后，在壓力傳感器檢測到作業(yè)室的內(nèi)部壓力以規(guī)定的內(nèi)部壓力維持規(guī)定時間的情況下，控制部能夠使除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)啟動而向作業(yè)室導(dǎo)入氣狀除污劑。因而，能夠避免氣狀除污劑的初期漏出。

另外，本發(fā)明的安全柜的除污方法是對上述安全柜進(jìn)行除污的方法，其特征在于，

使用氣密封閉機(jī)構(gòu)借助開閉構(gòu)件將所述安全柜的作業(yè)室的開口部封閉為氣密，并且關(guān)閉排氣閥，在所述作業(yè)室的氣體密度達(dá)到規(guī)定值以上之后，利用除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu)向所述作業(yè)室導(dǎo)入氣狀除污劑，

在所述氣狀除污劑的濃度上升至規(guī)定值的狀態(tài)下，利用所述氣狀除污劑對所述作業(yè)室進(jìn)行除污。

在本發(fā)明中，在基于氣狀除污劑的除污中防止氣狀除污劑從作業(yè)室漏出，能夠利用規(guī)定的濃度的氣狀除污劑對作業(yè)室進(jìn)行除污。

另外，在本發(fā)明的所述結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選的是，在所述作業(yè)室的氣狀除污劑的CT值達(dá)到規(guī)定值時，停止所述氣狀除污劑的導(dǎo)入。

根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于在作業(yè)室的氣狀除污劑的CT值達(dá)到規(guī)定值時，停止氣狀除污劑的導(dǎo)入，因此能夠利用氣狀除污劑在適當(dāng)?shù)臅r間進(jìn)行作業(yè)室的除污。

另外，在本發(fā)明的所述結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選的是，在所述作業(yè)室內(nèi)的所述氣狀除污劑的濃度為規(guī)定值以上的情況下，通過使充氣密封件膨脹而將能夠使與所述作業(yè)室連通的開口部開閉的開閉構(gòu)件保持為無法打開。

根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于在作業(yè)室內(nèi)的氣狀除污劑的濃度為規(guī)定值以上的情況下，利用充氣密封件將開閉構(gòu)件保持為無法打開，因此作業(yè)者不會意外地打開開閉構(gòu)件，在安全方面優(yōu)異。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠在基于氣狀除污劑的除污中防止氣狀除污劑從作業(yè)室漏出，使氣狀除污劑在作業(yè)室循環(huán)，利用該氣狀除污劑對作業(yè)室進(jìn)行除污，并且能夠利用規(guī)定濃度的氣狀除污劑對作業(yè)室進(jìn)行除污。

附圖說明

圖1示出本發(fā)明的循環(huán)式的安全柜的一個例子，且是示出其概略結(jié)構(gòu)的框圖。

圖2A示出作業(yè)室開口部的氣密封閉機(jī)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)，且是示出充氣密封件進(jìn)行收縮的狀態(tài)的俯視剖視圖。

圖2B示出作業(yè)室開口部的氣密封閉機(jī)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)，且是示出充氣密封件進(jìn)行膨脹的狀態(tài)的俯視剖視圖。

圖2C示出作業(yè)室開口部的氣密封閉機(jī)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)，且是示出充氣密封件進(jìn)行膨脹的狀態(tài)的側(cè)視剖視圖。

圖3是用于說明本發(fā)明的安全柜的運(yùn)轉(zhuǎn)流程的流程圖。

圖4是用于說明本發(fā)明的安全柜的停止流程的流程圖。

圖5是用于說明本發(fā)明的安全柜的除污運(yùn)轉(zhuǎn)流程的流程圖。

圖6是用于說明本發(fā)明的安全柜的除污自動停止流程的流程圖。

圖7是用于說明本發(fā)明的安全柜的除污強(qiáng)制停止流程的流程圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。

圖1是示出本實施方式的安全柜的概略結(jié)構(gòu)的框圖。

如圖1所示，安全柜具備：柜主體1，其在內(nèi)部具有作業(yè)室2；閘門(開閉構(gòu)件)4，其設(shè)于該柜主體1的前表面，并能夠使與作業(yè)室2連通的開口部3開閉；以及排氣路6，其從作業(yè)室2排出氣體。

需要說明的是，雖省略圖示，在柜主體1設(shè)有HEPA過濾器等過濾器，通過排氣路6從作業(yè)室向外部排出的氣體通過所述過濾器實現(xiàn)清潔化。

另外，在排氣路6上設(shè)有排氣閥B2。該排氣閥B2由電磁閥構(gòu)成，與控制部10電連接，被該控制部10控制。

另外，在柜主體1中設(shè)有供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1。該供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1具有如下功能：從開口部3向作業(yè)室2吸引并供給空氣，并且將作業(yè)室2的氣體通過排氣路6向外部排出。

另外，供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1也具有產(chǎn)生使作業(yè)室2內(nèi)的氣體進(jìn)行內(nèi)部循環(huán)的循環(huán)氣流SA的功能。

另外，在柜主體1的內(nèi)部設(shè)置隔壁11，利用該隔壁11將柜主體1的內(nèi)部劃分為作業(yè)室2與設(shè)置室12。在本實施方式中，由于作為氣狀除污劑而使用臭氧氣體，因此在該設(shè)置室12中設(shè)有臭氧產(chǎn)生器(除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu))13。

臭氧產(chǎn)生器13具備氧產(chǎn)生器13a與臭氧化器13b，氧產(chǎn)生器13a獲取外部空氣而產(chǎn)生氧氣，并且將該氧氣向臭氧化器13b供給，利用臭氧化器13b來產(chǎn)生臭氧氣體(氣狀除污劑)。

由臭氧化器13b產(chǎn)生的臭氧氣體通過臭氧氣體供給路13c導(dǎo)入至作業(yè)室2。在該臭氧氣體供給路13c上設(shè)有供給閥13d，通過該供給閥13d的開閉來進(jìn)行臭氧氣體朝向作業(yè)室2的供給以及停止。需要說明的是，供給閥13d由電磁閥構(gòu)成。

另外，氧產(chǎn)生器13a、臭氧化器13b以及供給閥13d與控制部10電連接，被該控制部10控制。

另外，此類結(jié)構(gòu)的臭氧產(chǎn)生器13構(gòu)成為，通過驅(qū)動氧產(chǎn)生器13a的壓縮機(jī)而能夠向作業(yè)室2導(dǎo)入空氣。

另外，在柜主體1中設(shè)有檢測作業(yè)室2的臭氧氣體的臭氧濃度的濃度傳感器15、以及檢測作業(yè)室2的溫度濕度的溫度濕度傳感器16，上述濃度傳感器15以及溫度濕度傳感器16與控制部10電連接。另外，在作業(yè)室2設(shè)有加濕器17，該加濕器17與控制部10電連接。

另外，在柜主體1中設(shè)有檢測作業(yè)室2內(nèi)的內(nèi)部壓力的壓力傳感器20。該壓力傳感器20測定從作業(yè)室2向外部與作業(yè)室2連通并延伸的延伸管21內(nèi)的內(nèi)部壓力，由此檢測作業(yè)室2內(nèi)的內(nèi)部壓力，該壓力傳感器20與控制部10電連接。

在延伸管21的比壓力傳感器20靠上游側(cè)的位置設(shè)有分解機(jī)構(gòu)22。該分解機(jī)構(gòu)22具有臭氧氣體分解催化劑，通過利用該分解機(jī)構(gòu)22來分解臭氧氣體，由此不會使臭氧氣體向比分解機(jī)構(gòu)22靠下游側(cè)的位置流出。另外，在延伸管21的比壓力傳感器20靠下游側(cè)的位置設(shè)有由電磁閥構(gòu)成的開閉閥23，該開閉閥23與控制部10電連接。

另外，在柜主體1的外側(cè)設(shè)有臭氧監(jiān)視傳感器25，該臭氧監(jiān)視傳感器25與控制部10電連接。

另外，在柜主體1的外側(cè)設(shè)有外部排氣風(fēng)扇P3，該外部排氣風(fēng)扇P3與控制部10電連接。然后，在利用臭氧監(jiān)視傳感器25在柜主體1的外側(cè)檢測到臭氧氣體的情況下，控制部10打開排氣閥B2，驅(qū)動外部排氣風(fēng)扇P3，將該臭氧氣體向建筑物外排出。

另外，在柜主體1上設(shè)有能夠利用閘門4氣密地開閉開口部3的氣密封閉機(jī)構(gòu)30。

即，如圖2A～圖2C所示，在矩形狀的開口部3的四周部中的、沿著左右邊的側(cè)緣部與沿著下邊的下緣部設(shè)有剖面U字形的閘門導(dǎo)軌31，在沿著上邊的上緣部，如圖2C所示那樣設(shè)有與閘門4平行分離的橫條34，在該橫條34上設(shè)有按壓機(jī)構(gòu)35。該按壓機(jī)構(gòu)35具備安裝于橫條34的下表面的剖面L形的框架35a、與設(shè)于該框架35a的螺紋孔螺合的軸部35b、以及設(shè)于該軸部35b的前端部的抵接部35c，作業(yè)者通過使軸部35b繞軸轉(zhuǎn)動，由此使抵接部35c相對于閘門4接觸分離。

然后，向剖面U字形的閘門導(dǎo)軌31插入矩形板狀的閘門4的左右邊部與下邊部，閘門4的上邊部插入到比抵接部35c靠內(nèi)側(cè)的位置。因而，閘門4能夠沿著位于左右側(cè)緣部的閘門導(dǎo)軌31上下滑動，并且能夠在抵接部35c的作用下以該閘門4的下端部為支點沿閘門4的厚度方向移動。

然后，在閘門4的下邊部插入到位于下緣部的閘門導(dǎo)軌31的狀態(tài)下，利用閘門4堵住開口部3，另一方面，通過使閘門4向上方滑動規(guī)定距離而打開開口部3。

另外，在左右對置的閘門導(dǎo)軌31、31之間、并且在下側(cè)的閘門導(dǎo)軌31與上側(cè)的抵接部35c之間、并且在比閘門4靠內(nèi)側(cè)的位置，設(shè)有矩形框狀的保持框32，該保持框32形成為剖面U字形，并且其開口部朝向閘門4側(cè)。在該保持框32中插入有沿該保持框32的周向延伸的環(huán)狀的充氣密封件33。

該充氣密封件33通過向管狀的橡膠制密封件裝入低壓的空氣而膨脹，在膨脹的狀態(tài)下，如圖2B以及圖2C所示，充氣密封件33與閘門4的背面外周部緊貼，并且通過充氣密封件33的膨脹將閘門4的表面外周部與剖面U字形的閘門導(dǎo)軌31的外側(cè)的片和按壓機(jī)構(gòu)35的抵接部35c緊密地壓接，由此利用閘門4氣密地封閉開口部3。

另外，在充氣密封件33膨脹時，通過轉(zhuǎn)動按壓機(jī)構(gòu)35的軸部35b，抵接部35c按壓閘門4，根據(jù)杠桿原理，該閘門4以其下端部為支點朝向上側(cè)的保持框32移動，閘門4的背面緊貼于充氣密封件33。

這樣，通過使充氣密封件33膨脹而將閘門4保持為作業(yè)室2的開口部3無法開放，能夠防止意外地打開閘門4。

另一方面，若通過從充氣密封件33抽出空氣而使該充氣密封件33收縮時，如圖2A所示，充氣密封件33與閘門4的背面外周部分離，該閘門4朝向閘門導(dǎo)軌壓接的壓接狀態(tài)也被解除，因此閘門4能夠向上方滑動。

接下來，說明這樣構(gòu)成的安全柜(以下簡稱為BSC。)的動作。

(1)BSC的運(yùn)轉(zhuǎn)流程

圖3是用于說明BSC的運(yùn)轉(zhuǎn)流程的流程圖。

首先，對于在步驟S1中形成使除污·BSC為停止?fàn)顟B(tài)的狀態(tài)、換句話說形成臭氧產(chǎn)生器13、供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1停止的狀態(tài)的情況，在步驟S2中，將閘門開度設(shè)置為設(shè)定值。換句話說，使閘門4上升，以使該閘門4的下緣與開口部3的下緣之間的距離(閘門高度)成為規(guī)定的距離(設(shè)定距離)的方式打開閘門4。

需要說明的是，在閘門開度超過設(shè)定值的情況下，供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1不啟動。

接下來，在步驟S3中按下運(yùn)轉(zhuǎn)開關(guān)。于是，由步驟S4打開排氣閥B2。

接下來，在步驟S5中，控制部10判斷排氣閥B2是否打開，若排氣閥B2沒有打開，則在確認(rèn)內(nèi)容之后，返回步驟S4。

另一方面，若打開排氣閥B2，則在步驟S6中控制部10使供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1以及外部排氣風(fēng)扇P3啟動。通過啟動該外部排氣風(fēng)扇P3，將吸引至安全柜的周圍的空氣向建筑物外排出。

接下來，在步驟S7中，控制部10判斷供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1以及外部排氣風(fēng)扇P3是否正在驅(qū)動，若沒有驅(qū)動，則在確認(rèn)內(nèi)容之后，返回步驟S4。

另一方面，若供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1以及外部排氣風(fēng)扇P3正在進(jìn)行驅(qū)動，則在步驟S8中持續(xù)驅(qū)動供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1一分鐘左右，進(jìn)行一分鐘左右除污運(yùn)轉(zhuǎn)。

之后，由于在步驟S9中使作業(yè)室2形成可開始作業(yè)狀態(tài)，因此這之后在作業(yè)室2進(jìn)行作業(yè)。

這樣的作業(yè)室2內(nèi)的作業(yè)成為循環(huán)規(guī)格。

(2)BSC的停止流程

圖4是用于說明BSC的停止流程的流程圖。

首先，對于在步驟S1中BSC成為運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況，在步驟S2中，長按風(fēng)扇開關(guān)3秒鐘左右。

于是，在步驟S3中，在作業(yè)結(jié)束之后，供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1持續(xù)進(jìn)行驅(qū)動一分鐘左右，進(jìn)行除污運(yùn)轉(zhuǎn)。

接下來，在步驟S4中，利用控制部10使供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1停止，之后，在步驟S5中關(guān)閉閘門4，最后在步驟S6中形成BSC停止?fàn)顟B(tài)。

(3)BSC的除污運(yùn)轉(zhuǎn)流程

圖5是用于說明BSC的除污運(yùn)轉(zhuǎn)流程的流程圖。

首先，對于在步驟S1中形成除污·BSC成為停止?fàn)顟B(tài)的狀態(tài)、換句話說形成臭氧產(chǎn)生器13、供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1以及外部排氣風(fēng)扇P3停止的狀態(tài)的情況，在步驟S2中判斷閘門4是否關(guān)閉。若閘門4打開，則在步驟S3中關(guān)閉閘門4，返回步驟S2。

若在步驟S2中閘門4關(guān)閉(成為全閉狀態(tài))，則在步驟S4中按壓除污開關(guān)。

當(dāng)按壓除污開關(guān)時，控制部10關(guān)閉排氣閥B2。

另外，通過向充氣密封件33導(dǎo)入空氣并進(jìn)行加壓，利用閘門4將開口部3封閉為氣密。由于充氣密封件33的加壓以60～70KPa為大體基準(zhǔn)，因此在步驟S5中確認(rèn)充氣密封件33的加壓狀態(tài)，若加壓不充分，立即停止，在查明原因之后，返回步驟S4，再次按壓除污開關(guān)。

在步驟S5中，若充氣密封件33的加壓充分，則關(guān)閉排氣閥B2，因此在步驟S6中啟動氧產(chǎn)生器13a的壓縮機(jī)，另一方面將供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1預(yù)先設(shè)為停止?fàn)顟B(tài)，測定作業(yè)室2的氣體密度。即，在關(guān)閉開閉閥23的基礎(chǔ)上利用壓力傳感器20測定作業(yè)室2的氣體密度。在該情況下，利用所述壓縮機(jī)將作業(yè)室2加壓至300～500Pa并維持。

然后，在步驟S7中確認(rèn)能否將作業(yè)室2的氣體密度在1～30分鐘以內(nèi)維持90％以上規(guī)定的壓力，若氣體密度不合格，立即停止，在查明原因之后，返回步驟S4，再次按壓除污開關(guān)。

另一方面，若在步驟S7中作業(yè)室2的氣體密度合格，則在步驟S8中，在打開供給閥13d的基礎(chǔ)上啟動臭氧產(chǎn)生器13，將臭氧氣體導(dǎo)入(供給)到作業(yè)室2，并且啟動加濕器17。由此，作業(yè)室2的臭氧濃度逐漸上升，并且濕度也逐漸上升。

接下來，在步驟S9中通過濃度傳感器15測定作業(yè)室2的臭氧濃度。在臭氧濃度未達(dá)到200ppm等最低設(shè)定值的情況下，立即停止，在查明原因之后，返回步驟S4，再次按壓除污開關(guān)。

另一方面，在步驟S9中確認(rèn)臭氧濃度為200ppm等最低設(shè)定值之后，在步驟S10中通過溫度濕度傳感器16來測定作業(yè)室2的濕度。在作業(yè)室2的濕度未達(dá)到80％的情況下，立即停止，在查明原因之后，返回步驟S4，再次按壓除污開關(guān)。

另外，在步驟S10中確認(rèn)作業(yè)室2的濕度為80％以上之后，開始進(jìn)行后述的除污的CT值的累積計算。然后，在步驟S11中判斷臭氧產(chǎn)生器13是否正常驅(qū)動，在不正常的情況下，立即停止，在查明原因之后，返回步驟S4，再次按壓除污開關(guān)。

另一方面，若在步驟S11中臭氧產(chǎn)生器13正常驅(qū)動，則在步驟S12中始終判斷臭氧氣體是否漏出。

在該情況下，通過臭氧監(jiān)視傳感器25來監(jiān)視BSC外部的臭氧濃度，在臭氧濃度超過規(guī)定值的情況下，立即停止臭氧產(chǎn)生器13，啟動外部排氣風(fēng)扇P3，打開排氣閥B2，排出臭氧氣體。然后，在查明原因之后，返回步驟S4，再次按壓除污開關(guān)。

另一方面，對于在步驟S12中判斷為臭氧濃度處于規(guī)定值以上、且臭氧氣體沒有向外部漏出的情況，在步驟S13中，作為“正常除污中”進(jìn)行BSC的作業(yè)室2的除污。

(4)BSC的除污自動停止流程

圖6是用于說明BSC的除污自動停止流程的流程圖。

如上述那樣，作為“正常除污中”進(jìn)行BSC的作業(yè)室2的除污，在作業(yè)室2的除污結(jié)束的情況下，如以下那樣自動停止BSC的除污。

即，控制部10控制為，基于由濃度傳感器15檢測出的臭氧氣體的臭氧濃度與CT值，自動停止臭氧產(chǎn)生器13。

在此，說明CT值。

CT值是指，作業(yè)室2內(nèi)的臭氧濃度(ppm)與除污時間(分)之乘積，通常設(shè)為基于臭氧的除污作用的大體基準(zhǔn)。

并且，預(yù)先將作為大體基準(zhǔn)的CT值作為“設(shè)定CT值”分別針對各藥劑、菌類設(shè)定，將該設(shè)定CT值與實際的除污處理中的實測臭氧濃度和經(jīng)過時間之積相比較，用于判斷除污處理的結(jié)束。設(shè)定CT值根據(jù)作為除污處理的對象的藥劑、菌類等的耐臭氧性的程度來決定，另外，在使用臭氧氣體以外的氣狀除污劑的情況下，使用與之相應(yīng)的設(shè)定CT值。

如圖6所示，在步驟S1中，在正常除污中，控制部10對來自濃度傳感器15的臭氧濃度輸出進(jìn)行取樣，之后，控制部10從取樣出的臭氧濃度累計CT值，在步驟S2中判斷累計CT值是否達(dá)到設(shè)定CT值。

在此，說明控制部10進(jìn)行的CT值的累計。

控制部10在使臭氧產(chǎn)生器13啟動的同時，將內(nèi)部計時器的值復(fù)位。另外，控制部10將在未圖示的存儲部中分配有存儲區(qū)域的CT值(Sct)復(fù)位(Sct＝0)。

接著，控制部10將用于管理臭氧濃度的取樣間隔的取樣計時器的值Ts復(fù)位(Ts＝0)。

之后，每經(jīng)過預(yù)先設(shè)定為取樣間隔的時間Te(分)(Ts≥Te)，控制部10對臭氧濃度進(jìn)行取樣，將實際的取樣間隔Ts(分)與取樣出的臭氧濃度Co(ppm)之乘積與CT值Sct相加。

取樣間隔Te例如設(shè)定為0.5～5秒，但不限于此。

控制部10在每次向CT值Sct加上取樣間隔Ts與取樣出的臭氧濃度Co之乘積后，比較更新后的CT值Sct與設(shè)定CT值Ect。該比較的結(jié)果是，在CT值Sct為設(shè)定CT值Ect以下時，將取樣計時器的值Ts復(fù)位，反復(fù)進(jìn)行臭氧濃度的取樣等。

然后，在步驟S2中，若作為比較的結(jié)果而CT值Sct為設(shè)定CT值Ect以上時，例如CT值Sct達(dá)到例如作為設(shè)定CT值Ect的15000，則在步驟S3中，控制部10使臭氧產(chǎn)生器13停止。

之后，在步驟S4中，利用供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1在作業(yè)室2中通過循環(huán)氣流進(jìn)行分解。或者，僅使氧產(chǎn)生器13a的壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，利用分解機(jī)構(gòu)22來分解臭氧氣體，打開開閉閥23而將該分解后的氣體持續(xù)排出，從而降低臭氧氣體濃度。

然后，在步驟S5中，通過濃度傳感器15來測定作業(yè)室2內(nèi)的臭氧濃度，例如若臭氧濃度為1ppm以上，則在關(guān)閉閘門4的狀態(tài)下返回步驟S4。

另一方面，若臭氧濃度不足1ppm，則手動打開閘門4之后，由步驟S6使供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1、外部排氣風(fēng)扇P3驅(qū)動，打開排氣閥B2，將外部的空氣引入作業(yè)室2，在步驟S7中，在幾分鐘后全部停止。

(5)BSC的除污強(qiáng)制停止流程

圖7是用于說明BSC的除污強(qiáng)制停止流程的流程圖。

如上述那樣，在步驟S1中，對于在作為“正常除污中”對BSC的作業(yè)室2進(jìn)行除污的過程中需要強(qiáng)制停止除污的情況，在步驟S2中將除污開關(guān)例如長按三秒鐘左右。

于是，在步驟S3中，控制部10使臭氧產(chǎn)生器13停止。

之后，在步驟S4中，利用供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1在作業(yè)室2中通過循環(huán)氣流進(jìn)行分解?；蛘撸瑑H運(yùn)轉(zhuǎn)氧產(chǎn)生器13a的壓縮機(jī)，利用分解機(jī)構(gòu)22來分解臭氧氣體，打開開閉閥23將該分解后的氣體持續(xù)排出，從而降低臭氧氣體濃度。

然后，在步驟S5中，利用濃度傳感器15來測定作業(yè)室2內(nèi)的臭氧濃度，例如若臭氧濃度為1ppm以上，則在關(guān)閉閘門4的狀態(tài)下返回步驟S4。

另一方面，若臭氧濃度不足1ppm，則在手動打開閘門4之后，在步驟S6中驅(qū)動供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1、外部排氣風(fēng)扇P3，打開排氣閥B2，將外部的空氣引入作業(yè)室2，在步驟S7中，在幾分鐘后全部停止。

如以上那樣，根據(jù)本實施方式，在利用臭氧氣體對作業(yè)室2進(jìn)行除污的情況下，控制部10關(guān)閉排氣閥B2，并且利用氣密封閉機(jī)構(gòu)30通過閘門4將開口部3封閉為氣密，之后，當(dāng)控制部10控制臭氧產(chǎn)生器13，將臭氧氣體導(dǎo)入作業(yè)室2并且驅(qū)動供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇P1時，由于排氣閥B2關(guān)閉，并且開口部3被封閉為氣密，因此向作業(yè)室2導(dǎo)入的臭氧氣體不會從作業(yè)室2漏出，而是在作業(yè)室2中循環(huán)。

因而，能夠在基于臭氧氣體的除污中防止臭氧氣體從作業(yè)室2漏出，使臭氧氣體在作業(yè)室2中循環(huán)，利用該臭氧氣體對作業(yè)室2進(jìn)行除污。

另外，檢測作業(yè)室2的臭氧濃度的濃度傳感器15與控制部10連接設(shè)置，由于控制部10基于由該濃度傳感器15檢測出的臭氧濃度控制臭氧產(chǎn)生器13，因此能夠利用規(guī)定濃度的臭氧氣體來除污作業(yè)室2。

此外，由于控制部10基于由濃度傳感器15檢測出的臭氧濃度與除污時間之乘積、即CT值來控制臭氧產(chǎn)生器13，因此在該CT值為設(shè)定CT以上時，控制部10能夠使臭氧產(chǎn)生器13停止。因而，能夠利用臭氧氣體在適當(dāng)?shù)臅r間進(jìn)行作業(yè)室2的除污。

另外，由于氣密封閉機(jī)構(gòu)30具有充氣密封件33，因此通過使該充氣密封件33膨脹，能夠利用閘門4將與作業(yè)室2連通的開口部3封閉為氣密，另一方面，通過使充氣密封件33收縮，能夠容易地使閘門4從開口部3上升，打開開口部3。

另外，通過使充氣密封件33膨脹，從而該充氣密封件33緊貼于閘門4，并且閘門4的表面外周部與閘門導(dǎo)軌31氣密地壓接，因此能夠可靠地氣密封閉開口部3。

另外，由于檢測作業(yè)室2的內(nèi)部壓力的壓力傳感器20與控制部10連接設(shè)置，因此在利用臭氧氣體對作業(yè)室2進(jìn)行除污之前，控制部10關(guān)閉排氣閥B2，并且驅(qū)動氧產(chǎn)生器13a的壓縮機(jī)，由此使作業(yè)室2的內(nèi)部壓力上升，通過壓力傳感器20來檢測該上升的內(nèi)部壓力。

然后，在壓力傳感器20檢測出作業(yè)室2的內(nèi)部壓力以規(guī)定的內(nèi)部壓力維持規(guī)定時間的情況下，控制部10能夠使臭氧產(chǎn)生器13啟動而向作業(yè)室2導(dǎo)入臭氧氣體。因而，能夠避免臭氧氣體的初期漏出。

另外，由于通過使充氣密封件33膨脹而能夠?qū)⒖砷_閉作業(yè)室2的開口部3的閘門4保持為無法打開，因此在作業(yè)室2內(nèi)的臭氧氣體的濃度為規(guī)定值以上的情況下，作業(yè)者不會意外地打開閘門4，在安全方面優(yōu)異。

需要說明的是，在本實施方式中，作為氣狀除污劑，以使用了臭氧氣體的情況為例進(jìn)行說明，但本發(fā)明不限于臭氧氣體，例如也可以使用具有除污作用的過氧化氫氣體、二氧化氯氣體等其他氣狀除污劑。

另外，在本實施方式中，將臭氧產(chǎn)生器13設(shè)置在柜主體1內(nèi)，但也可以將臭氧產(chǎn)生器13與柜主體1分體設(shè)置，以能夠裝卸的方式與該柜主體1連接。

附圖標(biāo)記說明：

1 柜主體

2 作業(yè)室

3 開口部

4 閘門(開閉構(gòu)件)

6 排氣路

10 控制部

13 臭氧產(chǎn)生器(除污劑導(dǎo)入機(jī)構(gòu))

15 濃度傳感器

20 壓力傳感器

30 氣密封閉機(jī)構(gòu)

B2 排氣閥

P1 供氣兼循環(huán)用風(fēng)扇

P3 外部排氣風(fēng)扇