本實(shí)用新型屬于廢氣處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種過濾環(huán)組件及現(xiàn)場廢氣處理裝置。

背景技術(shù)：

在EPI(Epitaxy，外延)工藝中會(huì)對(duì)大量使用H₂和TCS(Trichlorosilane，三氯硅烷)，但這兩種氣體與空氣接觸有爆炸的風(fēng)險(xiǎn)，因此在EPI的工藝尾氣處理裝置中會(huì)有特殊設(shè)計(jì)的裝置來避免爆炸的發(fā)生，過濾環(huán)即是避免爆炸發(fā)生的特殊設(shè)計(jì)裝置之一。

如圖1所示，過濾環(huán)11的內(nèi)部設(shè)有沿所述過濾環(huán)1的長度方向貫通的通孔111；所述過濾環(huán)11的材質(zhì)是一種高分子材料，內(nèi)部為細(xì)密網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，具有良好的氣體通過性。現(xiàn)場廢氣處理裝置(Local Scrubber)正是利用了過濾環(huán)材質(zhì)的特性讓N₂均勻的通過過濾環(huán)與H₂及TCS均勻的混合，以避免爆炸的發(fā)生。

但由于在尾氣的處理過程中，會(huì)在過濾環(huán)的尾部噴灑水以吸附尾氣中的TCS，TCS遇水水解的方程式如下：

SiHCl₃+3H₂O＝H₂SiO₃+3HCl+H₂

硅酸遇熱分解的方程式如下：

H₂SiO₃＝SiO₂+H₂O

在TCS水解的產(chǎn)物硅酸遇熱后會(huì)分解形成SiO₂，SiO₂會(huì)附著在過濾環(huán)的表面，從而導(dǎo)致過濾環(huán)的堵塞。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種過濾環(huán)組件及現(xiàn)場廢氣處理裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于TCS與水反應(yīng)的產(chǎn)物會(huì)附著在過濾環(huán)的表面，從而導(dǎo)致過濾環(huán)堵塞的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種過濾環(huán)組件，所述過濾環(huán)組件包括：

過濾環(huán)，內(nèi)部設(shè)有沿其長度方向貫通的第一通孔，所述過濾環(huán)為高分子細(xì)密網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；

膈膜環(huán)，一端與所述過濾環(huán)的一端固定連接，所述膈膜環(huán)的內(nèi)部設(shè)有沿其長度方向貫通的第二通孔，且所述膈膜環(huán)的內(nèi)表面及外表面均為光滑表面。

作為本實(shí)用新型的過濾環(huán)組件的一種優(yōu)選方案，所述過濾環(huán)的軸向中心線、所述第一通孔的軸向中心線、所述膈膜環(huán)的軸向中心線及所述第二通孔的軸向中心線均相重合。

作為本實(shí)用新型的過濾環(huán)組件的一種優(yōu)選方案，所述第二通孔的橫向尺寸大于或等于所述第一通孔的橫向尺寸。

作為本實(shí)用新型的過濾環(huán)組件的一種優(yōu)選方案，所述膈膜環(huán)的橫向尺寸大于或等于所述過濾環(huán)的橫向尺寸。

作為本實(shí)用新型的過濾環(huán)組件的一種優(yōu)選方案，所述膈膜環(huán)的長度小于所述過濾環(huán)的長度。

作為本實(shí)用新型的過濾環(huán)組件的一種優(yōu)選方案，所述膈膜環(huán)的長度為所述過濾環(huán)的長度的1/9～1/8。

作為本實(shí)用新型的過濾環(huán)組件的一種優(yōu)選方案，所述膈膜環(huán)為透明結(jié)構(gòu)。

本實(shí)用新型還提供一種現(xiàn)場廢氣處理裝置，適于對(duì)外延工藝的尾氣進(jìn)行處理，所述現(xiàn)場廢氣處理裝置包括如上述任一方案中所述的過濾環(huán)組件。

作為本實(shí)用新型的現(xiàn)場廢氣處理裝置的一種優(yōu)選方案，所述現(xiàn)場廢氣處理裝置還包括：

排氣裝置，一端與外延工藝腔室相連接，另一端與所述過濾環(huán)遠(yuǎn)離所述膈膜環(huán)的一端相連接，適于將外延工藝的尾氣排至所述過濾環(huán)；

稀釋氣體供給裝置，位于所述過濾環(huán)的外側(cè)，適于提供稀釋氣體以將排至所述過濾環(huán)內(nèi)的尾氣進(jìn)行稀釋；

噴淋裝置，位于所述膈膜環(huán)遠(yuǎn)離所述過濾環(huán)的一端，適于向所述膈膜環(huán)的所述第二通孔內(nèi)噴淋水以回收部分與水反應(yīng)的廢氣。

如上所述，本實(shí)用新型的過濾環(huán)組件及現(xiàn)場廢氣處理裝置，本實(shí)用新型的有益效果為：通過增設(shè)內(nèi)外表面均為光滑表面的膈膜環(huán)，用于回收廢氣中與水反應(yīng)的廢氣的噴淋裝置會(huì)被移至膈膜環(huán)的底部，廢氣與水的反應(yīng)產(chǎn)物不會(huì)在過濾環(huán)處形成，不會(huì)附著于過濾環(huán)的表面，從而防止了過濾環(huán)的堵塞；又由于膈膜環(huán)的表面為光滑表面，廢氣與水的反應(yīng)產(chǎn)物不易在膈膜環(huán)的表面附著，或附著于膈膜環(huán)的表面后很容易被沖刷掉，從而防止了膈膜環(huán)的堵塞；進(jìn)而延長了所述過濾環(huán)組件的使用周期，減少保養(yǎng)次數(shù)，增加安全可靠度。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的過濾環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2顯示為本實(shí)用新型實(shí)施例一中提供的過濾環(huán)組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

元件標(biāo)號(hào)說明

11 過濾環(huán)

111 通孔

21 過濾環(huán)

211 第一通孔

22 膈膜環(huán)

221 第二通孔

具體實(shí)施方式

以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外不同的具體實(shí)施方式加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。

請(qǐng)參閱圖2。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想，雖圖示中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。

實(shí)施例一

請(qǐng)參閱圖2，本發(fā)明提供一種過濾環(huán)組件，所述過濾環(huán)組件包括：過濾環(huán)21，所述過濾環(huán)21內(nèi)部設(shè)有沿所述過濾環(huán)21的長度方向貫通的第一通孔211，所述過濾環(huán)21為高分子細(xì)密網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；膈膜環(huán)22，所述膈膜環(huán)22一端與所述過濾環(huán)21的一端固定連接，所述膈膜環(huán)22的內(nèi)部設(shè)有沿所述膈膜環(huán)22的長度方向貫通的第二通孔221，且所述膈膜環(huán)22的內(nèi)表面及外表面均為光滑表面。通過增設(shè)內(nèi)外表面均為光滑表面的所述膈膜環(huán)22，可以在所述過濾環(huán)組件應(yīng)用于廢氣處理裝置時(shí)將用于回收廢氣中與水反應(yīng)的廢氣的噴淋裝置移至所述膈膜環(huán)22的底部，廢氣與水的反應(yīng)產(chǎn)物不會(huì)在所述過濾環(huán)21處形成，不會(huì)附著于所述過濾環(huán)21的表面，從而防止了所述過濾環(huán)21的堵塞；又由于所述膈膜環(huán)22的表面為光滑表面，廢氣與水的反應(yīng)產(chǎn)物不易在所述膈膜環(huán)22的表面附著，即使廢氣與水的反應(yīng)物附著于所述膈膜環(huán)22的表面，也很容易被沖刷掉，從而防止了所述膈膜環(huán)22的堵塞；進(jìn)而延長了所述過濾環(huán)組件的使用周期，減少保養(yǎng)次數(shù)，增加安全可靠度。

作為示例，所述過濾環(huán)21及膈膜環(huán)22的形狀可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置為圓環(huán)柱形、方環(huán)柱形等等，優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述過濾環(huán)21及所述膈膜環(huán)22的形狀均為圓環(huán)柱形；所述第一通孔211及所述第二通孔221的形狀可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置為圓形、方形、三角形、六邊形等等，優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述第一通孔211及所述第二通孔221的形狀均為圓形。

作為示例，所述過濾環(huán)21的軸向中心線、所述第一通孔211的軸向中心線、所述膈膜環(huán)22的軸向中心線及所述第二通孔221的軸向中心線均相重合。

作為示例，所述第二通孔221及所述第一通孔211的直徑可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)定，所述第二通孔221的直徑可以與所述第一通孔211的直徑相同，也可以小于所述第一通孔211的直徑，還可以大于所述第一通孔211的直徑；優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述第二通孔221的直徑大于或等于所述第一通孔211的直徑。

作為示例，所述膈膜環(huán)22及所述過濾環(huán)21的尺寸可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)定，所述膈膜環(huán)22的直徑可以大于所述過濾環(huán)21的直徑，也可以小于或等于所述過濾環(huán)21的直徑；優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述膈膜環(huán)22的直徑大于或等于所述過濾環(huán)21的直徑。

作為示例，所述膈膜環(huán)22的長度小于所述過濾環(huán)21的長度；當(dāng)然，在其他示例中，所述膈膜環(huán)22的長度與可以大于或等于所述過濾環(huán)21的長度。需要說明的是，所述膈膜環(huán)22的長度及所述過濾環(huán)21的長度均為其軸向方向的尺寸，亦即為垂直于其端面方向的尺寸。

作為示例，所述膈膜環(huán)22的長度為所述過濾環(huán)21的長度的1/9～1/8。

作為示例，所述膈膜環(huán)22可以為透明結(jié)構(gòu)。具體的，所述膈膜環(huán)22可以為透明樹脂、透明玻璃、透明陶瓷等材質(zhì)的膈膜環(huán)。

實(shí)施例二

本實(shí)用新型還提供一種現(xiàn)場廢氣處理裝置，所述現(xiàn)場廢氣處理裝置適于對(duì)外延工藝的尾氣進(jìn)行處理，所述現(xiàn)場廢氣處理裝置至少包括實(shí)施例一中所述的過濾環(huán)組件。所述過濾環(huán)組件的具體結(jié)構(gòu)請(qǐng)參閱實(shí)施例一，此處不再累述。

作為示例，所述現(xiàn)場廢氣處理裝置還包括：排氣裝置，所述排氣裝置的一端與外延工藝腔室相連接，另一端與所述過濾環(huán)21遠(yuǎn)離所述膈膜環(huán)22的一端相連接，適于將外延工藝的尾氣(H₂和TCS)排至所述過濾環(huán)21；稀釋氣體供給裝置，所述稀釋氣體供給裝置位于所述過濾環(huán)21的外側(cè)，適于提供稀釋氣體以將排至所述過濾環(huán)21內(nèi)的尾氣進(jìn)行稀釋；噴淋裝置，所述噴淋裝置位于所述膈膜環(huán)22遠(yuǎn)離所述過濾環(huán)21的一端，適于向所述膈膜環(huán)22的所述第二通孔221內(nèi)噴淋水以回收部分與水反應(yīng)的TCS。

綜上所述，本實(shí)用新型的過濾環(huán)組件及現(xiàn)場廢氣處理裝置，所述過濾環(huán)組件包括：過濾環(huán)，內(nèi)部設(shè)有沿其長度方向貫通的第一通孔，所述過濾環(huán)為高分子細(xì)密網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；膈膜環(huán)，一端與所述過濾環(huán)的一端固定連接，所述膈膜環(huán)的內(nèi)部設(shè)有沿其長度方向貫通的第二通孔，且所述膈膜環(huán)的內(nèi)表面及外表面均為光滑表面。本實(shí)用新型的過濾環(huán)組件通過增設(shè)內(nèi)外表面均為光滑表面的膈膜環(huán)，用于回收廢氣中與水反應(yīng)的廢氣的噴淋裝置會(huì)被移至膈膜環(huán)的底部，廢氣與水的反應(yīng)產(chǎn)物不會(huì)在過濾環(huán)處形成，不會(huì)附著于過濾環(huán)的表面，從而防止了過濾環(huán)的堵塞；又由于膈膜環(huán)的表面為光滑表面，廢氣與水的反應(yīng)產(chǎn)物不易在膈膜環(huán)的表面附著，或附著于膈膜環(huán)的表面后很容易被沖刷掉，從而防止了膈膜環(huán)的堵塞；進(jìn)而延長了所述過濾環(huán)組件的使用周期，減少保養(yǎng)次數(shù)，增加安全可靠度。

上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。