本實(shí)用新型涉及氣體凈化技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種酸性和堿性廢氣處理裝置。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體、面板顯示器、LED、太陽(yáng)能和MEMS微機(jī)電等制造領(lǐng)域中，生產(chǎn)過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生廢氣，以半導(dǎo)體制造為例，清洗制程設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中排放的氣體，由于其排放量較大，因此現(xiàn)有的處理方式為：通過(guò)中央排氣管道直接輸送到后端中央處理塔進(jìn)行處理。但是，清洗制程設(shè)備排出氣體多為酸性氣體(如氫氟酸或硫酸)或堿性氣體(如氨氣)，在排氣管道中，酸性或堿性氣體互相接觸混合會(huì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，例如氟化氫氣體和氨氣相遇就會(huì)發(fā)生化合反應(yīng)，生成氟化銨固體，這種固體形狀的副產(chǎn)物會(huì)附著在管道內(nèi)壁而堵塞管道，影響處理氣體的容量，甚至還會(huì)形成安全隱患?，F(xiàn)有的氣體處理裝置,由于尺寸體積的原因，并不適應(yīng)在寸土寸金的無(wú)塵室工廠中安裝使用，并且不能同時(shí)去除清洗制程設(shè)備排出的酸性和堿性廢氣，而是必須分為兩種設(shè)備來(lái)分別處理酸性和堿性廢氣。

因此，如何有效地處理清洗制程設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中排放的大量酸性或堿性廢氣，避免生成固體顆粒物堵塞排氣管道，是目前的一個(gè)亟待解決的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種酸性和堿性廢氣處理裝置，能夠有效地處理清洗制程設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中排放的大量酸性或堿性廢氣，避免生成固體顆粒物堵塞排氣管道。

本實(shí)用新型提供的上述酸性和堿性廢氣處理裝置，包括：

處理腔主體；

所述處理腔主體包括僅上部互相連通的左腔和右腔，所述左腔的下部具有第一水箱，所述右腔的下部具有第二水箱；

所述左腔的上部設(shè)置有廢氣進(jìn)氣口，所述第一水箱的上方安裝有第一級(jí)填充料單元，所述第一級(jí)填充料單元的周圍設(shè)置有向所述第一級(jí)填充料單元噴淋第一極性液體的第一噴淋單元，所述左腔和所述右腔的上部互相連通的位置設(shè)置有第一液氣分離單元；

所述第二水箱的上方安裝有第二級(jí)填充料單元，所述第二級(jí)填充料單元的周圍設(shè)置有向所述第二級(jí)填充料單元噴淋第二極性液體的第二噴淋單元，所述右腔與外界連通的位置設(shè)置有第二液氣分離單元；

其中，所述第一極性液體和所述第二極性液體為酸堿性相反的液體。

優(yōu)選的，在上述酸性和堿性廢氣處理裝置中，所述第二液氣分離單元的外部還連接有排氣風(fēng)機(jī)。

優(yōu)選的，在上述酸性和堿性廢氣處理裝置中，所述第一級(jí)填充料單元和所述第二級(jí)填充料單元的外形均為圓柱形。

優(yōu)選的，在上述酸性和堿性廢氣處理裝置中，所述第一級(jí)填充料單元和所述第二級(jí)填充料單元里面的填充料均為聚丙烯圓球。

優(yōu)選的，在上述酸性和堿性廢氣處理裝置中，所述聚丙烯圓球的直徑范圍為10毫米至20毫米。

優(yōu)選的，在上述酸性和堿性廢氣處理裝置中，所述第一極性液體為氫氧化鈉溶液，且所述第二極性液體為硫酸。

優(yōu)選的，在上述酸性和堿性廢氣處理裝置中，所述第一極性液體為硫酸，且所述第二極性液體為氫氧化鈉溶液。

從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型所提供的上述酸性和堿性廢氣處理裝置，由于所述第一水箱的上方安裝有第一級(jí)填充料單元，所述第一級(jí)填充料單元的周圍設(shè)置有向所述第一級(jí)填充料單元噴淋第一極性液體的第一噴淋單元，所述左腔和所述右腔的上部互相連通的位置設(shè)置有第一液氣分離單元；所述第二水箱的上方安裝有第二級(jí)填充料單元，所述第二級(jí)填充料單元的周圍設(shè)置有向所述第二級(jí)填充料單元噴淋第二極性液體的第二噴淋單元，所述右腔與外界連通的位置設(shè)置有第二液氣分離單元；其中，所述第一極性液體和所述第二極性液體為酸堿性相反的液體，因此能夠有效地處理清洗制程設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中排放的大量酸性或堿性廢氣，避免生成固體顆粒物堵塞排氣管道。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種酸性和堿性廢氣處理裝置的示意圖；

圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種酸性和堿性廢氣處理裝置的工作過(guò)程示意圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型的核心思想在于提供一種酸性和堿性廢氣處理裝置，能夠有效地處理清洗制程設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中排放的大量酸性或堿性廢氣，避免生成固體顆粒物堵塞排氣管道。

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種酸性和堿性廢氣處理裝置如圖1所示，圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種酸性和堿性廢氣處理裝置的示意圖。該酸性和堿性廢氣處理裝置包括：

處理腔主體1；

所述處理腔主體1包括僅上部互相連通的左腔和右腔，也就是說(shuō)，圖中的左腔和右腔之間是分隔開的，僅僅靠近頂部的位置可以連通，氣體可以從這個(gè)位置通過(guò)，所述左腔的下部具有第一水箱2，所述右腔的下部具有第二水箱3，這兩個(gè)水箱也是互相分隔開的，互相不受影響，用于盛放不同類型的液體；

所述左腔的上部設(shè)置有廢氣進(jìn)氣口4，用于使清洗制程設(shè)備排出的廢氣流入該裝置內(nèi)部，所述第一水箱2的上方安裝有第一級(jí)填充料單元5，所述第一級(jí)填充料單元5的周圍設(shè)置有向所述第一級(jí)填充料單元5噴淋第一極性液體的第一噴淋單元6，所述左腔和所述右腔的上部互相連通的位置設(shè)置有第一液氣分離單元7；

所述第二水箱3的上方安裝有第二級(jí)填充料單元8，所述第二級(jí)填充料單元8的周圍設(shè)置有向所述第二級(jí)填充料單元8噴淋第二極性液體的第二噴淋單元9，所述右腔與外界連通的位置設(shè)置有第二液氣分離單元10；

其中，所述第一極性液體和所述第二極性液體為酸堿性相反的液體。

上述裝置的工作過(guò)程如圖2所示，圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第一種酸性和堿性廢氣處理裝置的工作過(guò)程示意圖。氣體從進(jìn)入裝置后，首先從第一級(jí)填充料單元5的底部進(jìn)入，經(jīng)過(guò)第一噴淋單元6的噴淋之后，被其中的一種極性液體吸收，并落入第一水箱2中，未被吸收的氣體再?gòu)牡谝患?jí)填充料單元5的頂部經(jīng)過(guò)第一液氣分離單元7之后，到達(dá)第二級(jí)填充料單元8的底部，此時(shí)經(jīng)過(guò)第二噴淋單元9的噴淋，噴出的第二極性液體吸收掉另一種極性的氣體，并落入第二水箱3中，經(jīng)過(guò)兩次的噴淋過(guò)程，就能夠?qū)U氣中的酸性和堿性氣體都吸收完畢，處理之后的氣體再穿過(guò)第二液氣分離單元10之后，就符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，并被排放到外界。

從上述技術(shù)方案可以看出，本申請(qǐng)實(shí)施例所提供的上述第一種酸性和堿性廢氣處理裝置，由于所述第一水箱的上方安裝有第一級(jí)填充料單元，所述第一級(jí)填充料單元的周圍設(shè)置有向所述第一級(jí)填充料單元噴淋第一極性液體的第一噴淋單元，所述左腔和所述右腔的上部互相連通的位置設(shè)置有第一液氣分離單元；所述第二水箱的上方安裝有第二級(jí)填充料單元，所述第二級(jí)填充料單元的周圍設(shè)置有向所述第二級(jí)填充料單元噴淋第二極性液體的第二噴淋單元，所述右腔與外界連通的位置設(shè)置有第二液氣分離單元；其中，所述第一極性液體和所述第二極性液體為酸堿性相反的液體，因此能夠有效地處理清洗制程設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中排放的大量酸性或堿性廢氣，避免生成固體顆粒物堵塞排氣管道。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第二種酸性和堿性廢氣處理裝置，是在上述第一種酸性和堿性廢氣處理裝置的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

繼續(xù)參考圖1，所述第二液氣分離單元10的外部還連接有排氣風(fēng)機(jī)11。這種排氣風(fēng)機(jī)可調(diào)速，用于將裝置內(nèi)的風(fēng)速和壓力保持在恒定狀態(tài)，在運(yùn)行過(guò)程中可在裝置內(nèi)部保持負(fù)壓穩(wěn)定性。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第三種酸性和堿性廢氣處理裝置，是在上述第二種酸性和堿性廢氣處理裝置的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述第一級(jí)填充料單元和所述第二級(jí)填充料單元的外形均為圓柱形。圓柱形的填充料單元在裝進(jìn)填充料之后，整體就很緊密，不會(huì)出現(xiàn)空隙，相對(duì)于填充料單元為矩形的四個(gè)角的位置沒有填料導(dǎo)致漏風(fēng)空隙的情況來(lái)說(shuō)，這種圓柱形的填料單元更具有優(yōu)勢(shì)。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第四種酸性和堿性廢氣處理裝置，是在上述第三種酸性和堿性廢氣處理裝置的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述第一級(jí)填充料單元和所述第二級(jí)填充料單元里面的填充料均為聚丙烯圓球。這種圓球細(xì)密緊實(shí)，能夠增加接觸面的面積，從而使廢氣能夠與液體形成更大面積的接觸，增強(qiáng)吸收效果。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第五種酸性和堿性廢氣處理裝置，是在上述第四種酸性和堿性廢氣處理裝置的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述聚丙烯圓球的直徑范圍為10毫米至20毫米。進(jìn)一步的，可以優(yōu)選為采用Globe-Pac 0.5英寸的聚丙烯圓球，較小的填充料通常會(huì)增加接觸面的面積，實(shí)現(xiàn)氣體和液體的充分混合，從而形成更好的廢氣處理效果。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第六種酸性和堿性廢氣處理裝置，是在上述任一種酸性和堿性廢氣處理裝置的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述第一極性液體為氫氧化鈉溶液，且所述第二極性液體為硫酸。這樣，就是先用氫氧化鈉溶液吸收廢氣中的酸性氣體，然后用硫酸吸收廢氣中的堿性氣體，經(jīng)過(guò)這兩個(gè)步驟之后就能夠?qū)U氣中的酸性和堿性氣體吸收干凈，起到較好的處理效果。

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的第七種酸性和堿性廢氣處理裝置，是在上述任一種酸性和堿性廢氣處理裝置的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述第一極性液體為硫酸，且所述第二極性液體為氫氧化鈉溶液。這樣，就是先用硫酸吸收廢氣中的堿性氣體，然后用氫氧化鈉溶液吸收廢氣中的酸性氣體，經(jīng)過(guò)這兩個(gè)步驟之后就能夠?qū)U氣中的酸性和堿性氣體吸收干凈，起到較好的處理效果。

利用上述裝置，能夠?qū)⑦@酸性氣體和堿性氣體的濃度控制在平衡值以下例如，在室溫條件下，將該值降低至100ppm以下。

對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。