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一種涂膠自轉機的光刻膠蒸汽回收裝置的制作方法

文檔序號:11949751閱讀:來源:國知局
技術總結
一種涂膠自轉機的光刻膠蒸汽回收裝置,屬于刻蝕機技術領域,包括控制器、第二電機、軸承、轉軸、第一齒輪、第二移動塊、氣缸、第二齒輪、內(nèi)殼、排出管、微型吸塵器、第二直線電機、繩子、滾輪、第一電機、輪架、第二頂板、第一移動塊、第一直線電機、第一頂板、外殼、多級伸縮桿和支板,所述內(nèi)殼安裝在外殼內(nèi),內(nèi)殼頂部左右兩側各安裝第一頂板,第一頂板下安裝第一直線電機,第一直線電機上安裝第一移動塊,第一移動塊下安裝第二頂板,第二頂板下安裝輪架,輪架上安裝滾輪,滾輪的軸通過聯(lián)軸器與第一電機相連,第一電機安裝在輪架上,繩子上端纏繞在滾輪上;本實用新型的優(yōu)點是:能調(diào)節(jié)頂板出氣口大小。

技術研發(fā)人員:竺平軍
受保護的技術使用者:浙江優(yōu)眾新材料科技有限公司
文檔號碼:201620502800
技術研發(fā)日:2016.05.30
技術公布日:2016.12.07

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