1.一種涂膠自轉(zhuǎn)機的光刻膠蒸汽回收裝置，包括控制器（1）、第二電機（2）、軸承（3）、轉(zhuǎn)軸（4）、第一齒輪（5）、第二移動塊（6）、氣缸（7）、第二齒輪（8）、內(nèi)殼（9）、排出管（10）、微型吸塵器（11）、第二直線電機（12）、繩子（13）、滾輪（14）、第一電機（15）、輪架（16）、第二頂板（17）、第一移動塊（18）、第一直線電機（19）、第一頂板（20）、外殼（21）、多級伸縮桿（22）和支板（23），其特征是：所述內(nèi)殼（9）安裝在外殼（21）內(nèi)，內(nèi)殼（9）頂部左右兩側各安裝第一頂板（20），第一頂板（20）下安裝第一直線電機（19），第一直線電機（19）上安裝第一移動塊（18），第一移動塊（18）下安裝第二頂板（17），第二頂板（17）下安裝輪架（16），輪架（16）上安裝滾輪（14），滾輪（14）的軸通過聯(lián)軸器與第一電機（15）相連，第一電機（15）安裝在輪架（16）上，繩子（13）上端纏繞在滾輪（14）上，繩子（13）下端安裝在軸承（3）上，軸承（3）安裝在轉(zhuǎn)軸（4）上，轉(zhuǎn)軸（4）安裝在第二直線電機（12）上，轉(zhuǎn)軸（4）上安裝第一齒輪（5），第一齒輪（5）右側安裝第二齒輪（8），第二齒輪（8）安裝在第二電機（2）的輸出軸上，第二電機（2）安裝在支板（23）下，支板（23）安裝在多級伸縮桿（22）下，多級伸縮桿（22）安裝在第二頂板（17）下，第二直線電機（12）上安裝第二移動塊（6），第二移動塊（6）下安裝氣缸（7），氣缸（7）的活塞桿上安裝微型吸塵器（11），外殼（21）下安裝排出管（10），控制器（1）安裝在外殼（21）上，控制器（1）通過導線分別與第一電機（15）、第二電機（2）、第一直線電機（19）、第二直線電機（12）和微型吸塵器（11）相連。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種涂膠自轉(zhuǎn)機的光刻膠蒸汽回收裝置，其特征是：所述氣缸（7）內(nèi)置電磁閥，電磁閥通過導線與控制器（1）相連。