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具有變化性質(zhì)的電容式微加工超聲換能器的制作方法

文檔序號:12048778閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
公開了具有變化性質(zhì)的電容式微加工超聲換能器。在一些示例中,CMUT陣列可包括多個元件,并且每個元件可包括多個子元件。例如,第一子元件和第二子元件可被設(shè)置在第三子元件的相對兩側(cè)上。在一些情況下,第三子元件可被配置成以比第一子元件或第二子元件中的至少一個高的中心頻率傳輸超聲能量。進(jìn)一步,在一些實(shí)例中,子元件可具有多個區(qū)域,其中不同的區(qū)域被配置成以不同的諧振頻率傳輸超聲能量。例如,每個子元件中的多個CMUT單元的諧振頻率可在垂直方向上從每個元件的中心朝向CMUT陣列的邊緣減小。

技術(shù)研發(fā)人員:Y·黃;D·趙;莊雪鋒
受保護(hù)的技術(shù)使用者:珂納醫(yī)療科技(蘇州)有限公司
文檔號碼:201611007551
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.16
技術(shù)公布日:2017.05.24

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