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一種基于PMMA材料的內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片及制作方法與流程

文檔序號(hào):12435820閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基于PMMA材料的內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片,該微流控芯片由數(shù)個(gè)片層、驅(qū)動(dòng)源和定位銷構(gòu)成,數(shù)個(gè)片層從上至下依次疊加形成三維流道,然后用定位銷將各個(gè)片層固定成一個(gè)整體,在微流控芯片中溶液在驅(qū)動(dòng)源的作用下從溶液入口進(jìn)入,經(jīng)過微流控芯片內(nèi)部三維混合流道完成混合及反應(yīng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于PMMA材料的內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片,其特征在于,可以在微流控芯片內(nèi)部制造出復(fù)雜程度高、多層的曲面三維流道或其他形狀內(nèi)嵌式三維流道。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于PMMA材料的內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片,其特征在于,微流控芯片具有驅(qū)動(dòng)源,并且溶液可以在X、Y、Z三個(gè)方向上運(yùn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微流控芯片的驅(qū)動(dòng)源,其特征在于,凡是體積小、結(jié)構(gòu)簡單、易于集成的驅(qū)動(dòng)源都可以,例如壓電驅(qū)動(dòng)微泵、靜電驅(qū)動(dòng)微泵、機(jī)械驅(qū)動(dòng)微泵等。

5.一種基于PMMA材料的內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片的制作方法,其特征在于,采用微片層處理方法制作內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片包括下述步驟:

1)微流控芯片片層化處理:將微流控芯片分成多層,并在各個(gè)片層中設(shè)計(jì)定位孔;

2)有機(jī)溶劑的添加與溫壓耦合處理:在各個(gè)片層之間均勻涂抹一定量的有機(jī)溶劑,并且安裝定位銷,將安裝好定位銷的內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片置于溫箱中,當(dāng)溫度達(dá)到一定范圍,施加相應(yīng)的壓力。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于PMMA材料的內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片的制作方法,其特征在于,將用三維軟件繪制的帶有三維流道的微流控芯片分割數(shù)層后,再根據(jù)各片層的具體特征用帶有不同刀具的加工機(jī)加工出各片層實(shí)體。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于PMMA材料的內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片的制作方法,其特征在于,將安裝好定位銷的內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片立即放入溫控箱中,在有機(jī)溶劑和溫壓耦合的作用下三維流道微流控芯片的各個(gè)片層重新鍵合完成內(nèi)嵌式三維流道的加工。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于PMMA材料的內(nèi)嵌三維流道式微流控芯片的制作方法,其特征在于,步驟2)中并不是對(duì)溫度和壓力的范圍都進(jìn)行特定的限制才能完成內(nèi)嵌式三維流道的加工,而是在一定范圍內(nèi)采用溫壓補(bǔ)償也可完成復(fù)雜三維流道的加工,其中溫壓補(bǔ)償是:加工時(shí)若溫度高,則使用低壓力,若壓力高,則使用低溫度。

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