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具有凹圖案的構(gòu)造體的制造方法、樹脂組合物、導(dǎo)電膜的形成方法、電子電路及電子器件與流程

文檔序號:11526782閱讀:241來源:國知局
本發(fā)明涉及一種具有凹圖案的構(gòu)造體的制造方法、樹脂組合物、導(dǎo)電膜的形成方法、電子電路及電子器件。
背景技術(shù)
::在液晶顯示器、手機(jī)、平板等移動信息設(shè)備、數(shù)碼相機(jī)、有機(jī)電致發(fā)光(electroluminescent,el)顯示器、有機(jī)el照明、傳感器等電子設(shè)備中,除了小型化、薄型化以外,還要求進(jìn)一步的高性能化。作為更廉價地制造這些電子設(shè)備的方法,將配線直接印刷的印刷電子學(xué)(printedelectronics)受到關(guān)注。利用印刷法的電子零件的制造可跳過通常包含曝光、顯影的多階段步驟或蒸鍍法等真空步驟,期待大幅度的步驟的簡略化。噴墨或網(wǎng)版印刷、凹版印刷、凹版膠刷(gravureoffset)等印刷法可在基板上直接形成所需圖案的配線,因此可作為簡便且低成本的工藝來使用。然而,在形成所需圖案的配線時,所使用的配線形成材料流動的結(jié)果為,產(chǎn)生這些材料的潤濕擴(kuò)展或滲透,對于形成直線性優(yōu)異的微細(xì)圖案而言存在極限。另外,通過印刷將配線形成材料圖案化,且通過熱煅燒或光煅燒而形成金屬配線的技術(shù)正在熱烈地進(jìn)行研究(例如參照專利文獻(xiàn)1),但除了印刷時的材料的潤濕擴(kuò)展或滲透的問題,在所獲得的配線的與基板的密合性方面也存在問題。因此,為了解決所述課題,可進(jìn)行高精細(xì)的印刷,另外,為了形成高精細(xì)的配線,而對設(shè)置成為配線的基底的層(基底層)的技術(shù)進(jìn)行研究。設(shè)置基底層的基底處理在很多情況下是出于抑制涂布于基板上的配線形成材料的潤濕擴(kuò)展、滲透等,提高印刷性的目的來進(jìn)行。此種基底處理的方法例如已知:對基板進(jìn)行環(huán)氧基的接枝的方法(例如參照專利文獻(xiàn)2及專利文獻(xiàn)3)、在基板上涂布光催化劑的方法(例如參照專利文獻(xiàn)4及專利文獻(xiàn)5)、在基板上涂布丙烯酸系的共聚物的方法(例如參照專利文獻(xiàn)6及專利文獻(xiàn)7)?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2011-241309號公報專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2003-114525號公報專利文獻(xiàn)3:日本專利特開2006-58797號公報專利文獻(xiàn)4:日本專利特開2003-209340號公報專利文獻(xiàn)5:日本專利特開2004-98351號公報專利文獻(xiàn)6:日本專利特開2012-232434號公報專利文獻(xiàn)7:日本專利特開2012-218318號公報技術(shù)實現(xiàn)要素:[發(fā)明所欲解決的課題]然而,現(xiàn)有的設(shè)置基底層的基底處理中,配線形成材料的潤濕擴(kuò)展、滲透的抑制并不充分,難以形成高精細(xì)的配線。例如,現(xiàn)有的基底處理中,涂布了配線形成材料的基底層表面的特性一樣。因此,在以既定的圖案來印刷配線形成材料的情況下,無法充分地抑制該材料自剛印刷后的狀態(tài)起潤濕擴(kuò)展。另外,特別是在具有非平坦面的構(gòu)造體上形成基底層的情況下,存在配線形成材料容易產(chǎn)生潤濕擴(kuò)展、滲透的傾向。本發(fā)明人進(jìn)行了銳意研究,結(jié)果認(rèn)為,欲形成配線的部分預(yù)先成為凹部,通過在其上涂布配線形成材料等,可形成所需的配線,但現(xiàn)有的方法中,特別是在具有非平坦面的構(gòu)造體上形成如上所述的具有凹部的基底層并不容易。本發(fā)明是鑒于所述問題而形成的發(fā)明,目的在于提供一種在具有非平坦面的構(gòu)造體上容易形成所需的凹圖案的方法。[解決課題的手段]基于如上所述的狀況,本發(fā)明人們?yōu)榱私鉀Q所述課題而進(jìn)行了銳意研究,結(jié)果發(fā)現(xiàn),若利用制造具有膜厚薄至既定程度的凹圖案的構(gòu)造體的方法,則可解決所述課題,從而完成本發(fā)明。本發(fā)明的構(gòu)成例是如以下所述。[1]一種構(gòu)造體的制造方法,其包括下述步驟(i)及(ii),所述構(gòu)造體具有相對于下述步驟(i)中獲得的涂膜的膜厚而薄5%以上且小于90%的膜厚的凹圖案,(i)使用包含具有酸解離性基的聚合體及酸產(chǎn)生劑的樹脂組合物,在構(gòu)造體的非平坦面上形成涂膜的步驟;(ii)通過對所述涂膜的一部分的既定部分進(jìn)行放射線照射而形成凹部的步驟。[2]根據(jù)[1]所述的制造方法,其還包括(iii)對放射線照射后的涂膜進(jìn)行加熱的步驟。[3]根據(jù)[1]或[2]所述的制造方法,其中所述非平坦面包含選自由曲面及凹凸面所組成的群組中的至少一種面。[4]根據(jù)[1]~[3]中任一項所述的制造方法,其中所述酸解離性基包含氟原子。[5]根據(jù)[1]~[4]中任一項所述的制造方法,其中凹圖案部與放射線未照射部的對于十四烷的接觸角差為30°以上。[6]根據(jù)[1]~[5]中任一項所述的制造方法,其中所述酸解離性基為包含選自由縮醛鍵及半縮醛酯鍵所組成的群組中的至少一種鍵的基團(tuán)。[7]根據(jù)[1]~[6]中任一項所述的制造方法,其中所述酸解離性基具有選自由下述式(1-1)及式(1-2)所表示的基團(tuán)所組成的群組中的至少一種基團(tuán),[化1](式(1-1)及式(1-2)中,r1及r2分別獨立地表示氫原子或甲基,rf獨立地表示具有氟原子的有機(jī)基;*表示鍵結(jié)部位)。[8]根據(jù)[1]~[7]中任一項所述的制造方法,其中所述樹脂組合物包含具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物。[9]根據(jù)[1]~[8]中任一項所述的制造方法,其中所述樹脂組合物具有選自由下述式(2)~式(5)所表示的構(gòu)成單元的群組中的至少一者,[化2](式(2)~式(5)中,r3獨立地表示氫原子或甲基;r4獨立地表示亞甲基、碳數(shù)2~12的亞烷基、碳數(shù)2~12的亞烯基、該亞烷基或亞烯基的一部分經(jīng)-o-、-(c=o)o-或-o(c=o)-所取代的基團(tuán)、碳數(shù)6~13的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的芳香族烴基、碳數(shù)4~12的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的脂環(huán)式烴基、或者這些基團(tuán)的1個以上的氫原子經(jīng)氟原子所取代的基團(tuán);r5獨立地表示烴基的1個以上的氫原子經(jīng)氟原子所取代的基團(tuán);m表示0或1;n獨立地表示0~12的整數(shù))。[10]一種樹脂組合物,其用于根據(jù)[1]~[9]中任一項所述的制造方法。[11]一種樹脂組合物,其含有具有包含氟原子的酸解離性基的聚合體、以及酸產(chǎn)生劑。[12]一種樹脂組合物,其含有具有酸解離性基的聚合體、以及酸產(chǎn)生劑,所述酸解離性基包含選自由縮醛鍵及半縮醛酯鍵所組成的群組中的至少一種鍵。[13]一種導(dǎo)電膜的形成方法,其包括如下步驟:在利用根據(jù)[1]~[9]中任一項所述的制造方法來形成的凹圖案上,使用導(dǎo)電膜形成用組合物來形成導(dǎo)電膜的步驟。[14]一種電子電路,其具有利用根據(jù)[13]所述的導(dǎo)電膜的形成方法來形成的導(dǎo)電膜。[15]一種電子器件,其具有根據(jù)[14]所述的電子電路。[發(fā)明的效果]依據(jù)本發(fā)明,可在具有非平坦面的構(gòu)造體上容易地形成所需的凹圖案,進(jìn)而,通過使用具有該凹圖案的構(gòu)造體,可防止導(dǎo)電膜形成用組合物的潤濕擴(kuò)展或滲透,可容易地形成高精細(xì)且對具有非平坦面的構(gòu)造體的密合性優(yōu)異的導(dǎo)電膜。附圖說明圖1(a)是實施例中使用的立體構(gòu)造物a的概略圖,圖1(b)是實施例中使用的立體構(gòu)造物b的概略圖,圖1(c)是實施例中使用的立體構(gòu)造物c的概略圖。圖2(a)是實施例中所獲得的具有凹圖案或銀配線的立體構(gòu)造物a的概略圖,圖2(b)是實施例中獲得的具有凹圖案或銀配線的立體構(gòu)造物b的概略圖,圖2(c)是實施例中獲得的具有凹圖案或銀配線的立體構(gòu)造物c的概略圖。具體實施方式《具有凹圖案的構(gòu)造體的制造方法》本發(fā)明的具有凹圖案的構(gòu)造體的制造方法的特征在于:包括下述步驟(i)及(ii),且該凹圖案為相對于下述步驟(i)中獲得的涂膜的膜厚而薄5%以上且小于90%的膜厚。(i)使用包含具有酸解離性基的聚合體及酸產(chǎn)生劑的樹脂組合物,在構(gòu)造體的非平坦面上形成涂膜的步驟;(ii)通過對所述涂膜的一部分的既定部分進(jìn)行放射線照射而形成凹部的步驟。通過如上所述的本發(fā)明,可在具有非平坦面的構(gòu)造體上容易地形成所需的凹圖案,進(jìn)而,通過使用具有該凹圖案的構(gòu)造體,可防止導(dǎo)電膜形成用組合物的潤濕擴(kuò)展或滲透,可容易地形成高精細(xì)且對具有非平坦面的構(gòu)造體的密合性優(yōu)異的導(dǎo)電膜。當(dāng)在具有非平坦面的構(gòu)造體上形成涂膜時,若進(jìn)行放射線照射,則由于形成涂膜的面為非平坦面,故而存在容易產(chǎn)生曝光不均的傾向。若欲在所述涂膜上,以先前的方式經(jīng)過顯影步驟而形成凹圖案,則認(rèn)為所獲得的凹圖案變得非常不均勻。另外,在使用如上所述的構(gòu)造體來進(jìn)行顯影步驟的情況下,需要巨大的顯影槽等,認(rèn)為用以形成凹圖案的工藝上的負(fù)荷大。因此,就可容易、廉價且一邊實現(xiàn)大幅度的步驟的簡略化以及減少工藝上的負(fù)荷,一邊制造具有所需的凹圖案的構(gòu)造體等的方面而言,本發(fā)明的制造方法優(yōu)選為不包括顯影步驟。依據(jù)本發(fā)明,由于經(jīng)過放射線照射而形成凹圖案,故而可不進(jìn)行顯影步驟,而是通過對放射線難以照射的部位集中地進(jìn)行放射線照射,或過剩地照射放射線,來形成基本上無不均的均勻的凹圖案。利用本發(fā)明的制造方法來形成的凹圖案理想為如下形狀:該凹圖案的膜厚相對于所述步驟(i)中獲得的涂膜的膜厚(放射線未照射部的膜厚),下限優(yōu)選為薄10%以上,更優(yōu)選為薄11%以上,上限優(yōu)選為薄85%以下,更優(yōu)選為薄80%以下,進(jìn)而優(yōu)選為薄12%~70%。若所獲得的凹圖案具有所述形狀,則當(dāng)在該涂膜上涂布導(dǎo)電膜形成用組合物等時,由于涂膜表面的凹凸的階差,難以自凹圖案中溢出該組合物,另外,在凹圖案以外的部位難以殘留該組合物,因此可將大量的導(dǎo)電膜形成用組合物進(jìn)行涂布等,且即便使用大量的導(dǎo)電膜形成用組合物,也可獲得高精細(xì)的導(dǎo)電膜(膜寬50μm以下的導(dǎo)電膜(圖案))。具體而言,放射線未照射部以及凹圖案的膜厚可利用下述實施例中記載的方法來測定。所述凹圖案部(表面)與放射線未照射部(表面)的對于十四烷的接觸角差(放射線未照射部表面的接觸角-凹圖案部表面的接觸角)優(yōu)選為30°以上,更優(yōu)選為40°以上,尤其優(yōu)選為50°以上。通過接觸角差在所述范圍內(nèi),則當(dāng)在具有凹圖案的構(gòu)造體上形成導(dǎo)電膜等時,即便是在放射線未照射部表面也涂布液狀的導(dǎo)電膜形成用組合物等的情況,也可通過在作為撥液部的放射線未照射部中,排斥該組合物,該組合物容易轉(zhuǎn)移至作為親液部的凹圖案部,從而沿著凹圖案來形成導(dǎo)電膜。具體而言,所述接觸角差可利用下述實施例中記載的方法來測定。此外,所謂放射線未照射部表面以及凹圖案部表面,是指形成于構(gòu)造體上的涂膜的與接觸構(gòu)造體的一側(cè)相反側(cè)的表面。另外,在測定接觸角時使用十四烷的原因在于:十四烷通常用于導(dǎo)電膜形成用組合物中,且難以揮發(fā),適合于測定接觸角。若滿足如下條件,即,所獲得的凹圖案部的膜厚相對于放射線未照射部的膜厚而薄5%以上且小于90%,且凹圖案部表面與放射線未照射部表面的對于十四烷的接觸角差為30°以上的條件,則由于與所述相同的原因,可將大量的導(dǎo)電膜形成用組合物更容易地僅設(shè)置于凹圖案上。利用本發(fā)明的制造方法來獲得的具有凹圖案的構(gòu)造體與具有半導(dǎo)體抗蝕劑的構(gòu)造體不同。半導(dǎo)體抗蝕劑通過顯影,完全去除膜的部分與在顯影中也殘存膜的部分共存,從而形成圖案,但本發(fā)明中,一旦形成的膜不存在完全去除膜的部分,因此與具有半導(dǎo)體抗蝕劑的構(gòu)造體不同。利用本發(fā)明的制造方法來獲得的構(gòu)造體的用途等并無特別限制。該構(gòu)造體特別適合用于包括導(dǎo)電膜的構(gòu)造體,特別是包括配線、進(jìn)而具有高精細(xì)的圖案的導(dǎo)電膜(配線)的構(gòu)造體的制造、生物工藝中使用的構(gòu)造體等。[步驟(i)]步驟(i)是使用包含具有酸解離性基的聚合體及酸產(chǎn)生劑的樹脂組合物,在構(gòu)造體的非平坦面上形成涂膜的步驟,優(yōu)選為將樹脂組合物設(shè)置于構(gòu)造體的非平坦面上,繼而,通過對該組合物進(jìn)行加熱(預(yù)烘烤)而形成涂膜的步驟。步驟(i)中,通過使用所述樹脂組合物,可在下述步驟(ii)等中不進(jìn)行顯影步驟的情況下,在構(gòu)造體上形成凹部。此外,關(guān)于所述樹脂組合物,以下進(jìn)行具體說明。所述具有非平坦面的構(gòu)造體并無特別限制,例如只要是欲形成導(dǎo)電膜等的構(gòu)造體,且為具有非平坦面的構(gòu)造體即可,例如可列舉具有選自由曲面及凹凸面所組成的群組中的至少一種面的構(gòu)造體。如上所述的構(gòu)造體例如可列舉:瓦狀的構(gòu)造體、具有凸部和/或凹部的構(gòu)造體、筒狀的構(gòu)造體、球狀的構(gòu)造體。此外,本發(fā)明中,當(dāng)在立方體或長方體等棱柱體的至少兩面涂布所述樹脂組合物等的情況下,由于該涂布等的面為非平坦面,故而在本發(fā)明中,所述棱柱體也于在其至少兩面涂布所述樹脂組合物等的情況下,作為步驟(i)中的具有非平坦面的構(gòu)造體。包含非平坦面的構(gòu)造體可列舉:電氣電子設(shè)備、信息終端設(shè)備、家電設(shè)備、辦公自動化(officeautomation,oa)設(shè)備、以及這些設(shè)備的零件;機(jī)械零件、車輛零件、建筑構(gòu)件及照明設(shè)備的筐體、零件或構(gòu)件。電氣電子設(shè)備、信息終端設(shè)備、家電設(shè)備、oa設(shè)備、以及這些設(shè)備的零件例如可列舉:個人計算機(jī)、游戲機(jī)、鐘表、液晶電視、有機(jī)el電視、電子紙等顯示器裝置;打印機(jī)(printer);復(fù)印機(jī)(copier);掃描儀(scanner);傳真(fax);電子記事簿(electronicorganizer);個人數(shù)字助理(personaldigitalassistant,pda)、手機(jī)、平板終端等各種便攜式終端;電子式臺式計算機(jī);電子辭典;數(shù)碼相機(jī)、攝影機(jī)或其鏡頭;電池組(batterypack);記錄介質(zhì)(recordingmedium)的驅(qū)動或讀取裝置;鼠標(biāo)(mouse);十鍵小鍵盤(tenkey);便攜式音樂播放器(portablemusicplayer)等;以及這些設(shè)備的零件。機(jī)械零件、車輛零件可列舉:儀表板((instrumentpanel)、控制臺箱(consolebox)、手套箱(glovebox)、儀表盤面(meterpanel)、門飾(doorornament)、開關(guān)面板(switchpanel)、中心線束面板(centerclusterpanel)、儀表盤(dashboard)、門護(hù)板(doortrim)、車頂內(nèi)飾、后側(cè)裝飾(rearsidetrim)、行李間內(nèi)飾(trunkroomtrim)、把手等零件;建筑構(gòu)件可列舉:各種建材(例:住房的內(nèi)壁等智能住宅(smarthouse)用建材);照明設(shè)備可列舉:發(fā)光二極管(lightemittingdiode,led)照明或有機(jī)el照明等。進(jìn)而,包含非平坦面的構(gòu)造體可列舉:各種傳感器或穿戴式器件(wearabledevice)、玩具類等。依據(jù)本發(fā)明,可在這些立體構(gòu)造物上簡便地形成凹圖案,進(jìn)而,通過在該凹圖案上形成導(dǎo)電膜,可獲得通過節(jié)省空間而帶來的小型化、細(xì)長化及輕量化的帶導(dǎo)電膜的構(gòu)造體,另外,所獲得的帶導(dǎo)電膜的構(gòu)造體期待高功能化。所述構(gòu)造體的材質(zhì)只要根據(jù)所需的用途來適當(dāng)選擇即可,并無特別限制,例如可列舉:無堿玻璃等玻璃;聚酯(例:聚對苯二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸丁二酯、聚萘二甲酸乙二酯)、芴環(huán)改性聚酯、聚烯烴(例:聚乙烯、聚丙烯)、脂環(huán)式聚烯烴、聚苯乙烯、三乙?;w維素、聚酰亞胺、氟化聚酰亞胺、聚酰胺、聚酰胺酰亞胺、聚醚酰亞胺、聚芳酯、聚醚砜、聚砜、聚醚醚酮、聚碳酸酯、芴環(huán)改性聚碳酸酯、脂環(huán)改性聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚氨基甲酸酯、聚(甲基)丙烯?;衔铩h(huán)狀烯烴的開環(huán)聚合體(開環(huán)易位聚合(ringopeningmetathesispolymerization,romp)聚合物)及其氫化物、丙烯腈·丁二烯·苯乙烯共聚合樹脂(acrylonitrilebutadienestyreneresin,abs樹脂)、丙烯腈·乙烯-丙烯-二烯·苯乙烯共聚合樹脂(acrylonitrileethylene-propylene-dienestyreneresin,aes樹脂)、所述聚合物的摻合物、金屬等。當(dāng)在構(gòu)造體上設(shè)置樹脂組合物時,也可預(yù)先視需要實施對構(gòu)造體表面進(jìn)行洗滌、粗糙面化、微少的凹凸面的賦予等預(yù)處理。此外,本發(fā)明中,例如通過對作為立方體或長方體的構(gòu)造體表面進(jìn)行如上所述的預(yù)處理,則表面經(jīng)粗糙面化,或形成有微小凹凸的表面并非所述“非平坦面”,是否為非平坦面通過宏觀地觀看表面來判斷。設(shè)置所述樹脂組合物的方法并無特別限定,可采用:使用毛刷或刷子、布等的擦拭法、浸漬法、噴射法、旋轉(zhuǎn)涂布法(旋涂法)、狹縫模涂布法、棒涂布法、噴墨印刷、分配法、各種曲面印刷法等適當(dāng)?shù)姆椒ā_@些方法中,特別優(yōu)選為噴射法、浸漬法或者擦拭法。步驟(i)中形成的涂膜的厚度只要根據(jù)所需的用途來適當(dāng)調(diào)整即可,優(yōu)選為0.1μm~20μm,更優(yōu)選為0.2μm~10μm。預(yù)烘烤的條件雖也根據(jù)所使用的樹脂組合物的組成等而不同,但優(yōu)選為60℃~120℃、1分鐘~10分鐘左右。[步驟(ii)]步驟(ii)是通過對步驟(i)中形成的涂膜的一部分的既定部分進(jìn)行放射線照射而形成凹部的步驟。步驟(ii)中,對構(gòu)造體上的涂膜的一部分照射放射線,形成具有放射線照射部與放射線未照射部的涂膜。本發(fā)明中,由于在步驟(i)中使用所述樹脂組合物,故而通過步驟(ii),酸解離性基利用酸產(chǎn)生劑的效果而脫離揮發(fā)。其結(jié)果為,放射線照射部的膜厚與放射線未照射部的膜厚相比變薄,形成凹部。此外,本發(fā)明的具有凹圖案的構(gòu)造體的制造方法中,放射線未照射部的膜厚基本上自涂膜形成時未變化。此時,若酸解離性基包含氟原子,則步驟(i)中獲得的涂膜及放射線未照射部顯示出撥液性,但放射線照射部(凹部)隨著酸解離性基的消失,而與放射線未照射部相比成為親液性。因此,在使用包含如下化合物,即,含有具有氟原子的酸解離性基的化合物的組合物來作為步驟(i)中使用的樹脂組合物的情況下,通過步驟(ii),在構(gòu)造體上形成包括撥液性的放射線未照射部(凸部)、以及較該部分而言為親液性的凹部(凹圖案)即放射線照射部的涂膜。接著,若在如上所述的涂膜上,通過滴加、浸漬、噴射涂布或者各種印刷等來設(shè)置導(dǎo)電膜形成墨水等導(dǎo)電膜形成用組合物,則利用涂膜表面的凹凸,該組合物容易聚集于凹部上,但不僅通過該涂膜的表面形狀的效果,而且通過該表面的親液·撥液性,該組合物容易聚集于凹部上(對導(dǎo)電膜形成用組合物的圖案化加以輔助),更容易將所需形狀的、具體而言為微細(xì)且精巧的導(dǎo)電膜(配線)形成于構(gòu)造體上。另外,在使用包含如下化合物,即,含有具有氟原子的酸解離性基的化合物的組合物來作為步驟(i)中使用的樹脂組合物的情況下,通過放射線照射,具有氟原子的基團(tuán)脫離,該脫離基比較容易揮發(fā),因此在步驟(ii)中,可更簡便地形成放射線未照射部與凹部的膜厚差大的涂膜。步驟(ii)中,為了形成與所欲形成的凹圖案的形狀相同的形狀的凹部,優(yōu)選為經(jīng)由具有既定圖案的光掩模(photomask)或掩模密封(maskseal),或者使用直描式曝光裝置,對既定的圖案進(jìn)行描畫曝光。另外,就可形成線寬狹窄的凹部等方面而言,放射線照射優(yōu)選為自步驟(i)中形成的涂膜側(cè)照射放射線。本發(fā)明中,曝光中使用的放射線可使用可見光線、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、帶電粒子束、x射線等。這些放射線中,優(yōu)選為波長在190nm~450nm的范圍內(nèi)的放射線,特別優(yōu)選為包含365nm的紫外線的放射線。關(guān)于步驟(ii)中的曝光量,優(yōu)選為以所形成的凹圖案(凹部)的相對于放射線未照射部的膜厚成為所述范圍的方式來曝光放射線,具體而言,以利用照度計(oai模型(oaimodel)356,oai光學(xué)公司(oaiopticalassociatesinc.)制造)來測定放射線的波長365nm下的強(qiáng)度而得的值計,優(yōu)選為10mj/cm2~1000mj/cm2,更優(yōu)選為20mj/cm2~700mj/cm2。[步驟(iii)]本發(fā)明中,所述步驟(ii)中形成的凹部可為形成于構(gòu)造體上的凹圖案,但就使所述凹部的凹陷進(jìn)一步深化(使凹部的膜厚更薄)等方面而言,本發(fā)明的制造方法優(yōu)選為包括對步驟(ii)中獲得的放射線照射后的涂膜進(jìn)行加熱的步驟(iii)。在進(jìn)行該步驟(iii)的情況下,通過該步驟來制造具有凹圖案的構(gòu)造體。由于在步驟(i)中使用所述樹脂組合物,故而通過步驟(iii),可使步驟(ii)的放射線照射部中產(chǎn)生的成分,即,酸解離性基通過酸產(chǎn)生劑的效果而脫離的成分進(jìn)一步揮發(fā)。其結(jié)果為,凹部的凹陷進(jìn)一步深化(凹部的膜厚變得更薄),可容易地形成凹部的膜厚相對于所述凸部的膜厚而薄5%以上且小于90%的形狀的涂膜。另外,在使用包含通過放射線照射來切斷化學(xué)鍵的化合物的組合物來作為步驟(i)中使用的樹脂組合物的情況下,通過所述步驟(ii)的放射線照射,涂膜中的化合物的化學(xué)鍵被切斷,進(jìn)而通過步驟(iii),可有效率地去除被切斷的化合物,從而形成凹圖案。所述通過放射線照射而切斷化學(xué)鍵的化合物具體而言可列舉:通過照射10mj/cm2~1000mj/cm2的包含150nm~450nm的波長的放射線,優(yōu)選為包含150nm~365nm的短波長的放射線,來切斷化學(xué)鍵的化合物。進(jìn)而,在使用包含如下成分,即,通過放射線照射而產(chǎn)生光交聯(lián),進(jìn)而隨著該交聯(lián)而產(chǎn)生硬化收縮等的成分的組合物,來作為步驟(i)中使用的樹脂組合物的情況下,通過對步驟(ii)中獲得的涂膜在步驟(iii)中進(jìn)行加熱,可使步驟(ii)中獲得的凹部進(jìn)一步深化,可形成所需的凹圖案。在使用包含如下化合物,即,含有具有氟原子的酸解離性基的化合物的組合物來作為步驟(i)中使用的樹脂組合物的情況下,通過步驟(iii),在基板上形成包括撥液性的放射線未照射部(凸部)、以及較該部分而言為親液性的凹圖案的涂膜。接著,若在如上所述的涂膜上,通過滴加、浸漬、噴射涂布或者各種印刷等來設(shè)置導(dǎo)電膜形成墨水等導(dǎo)電膜形成用組合物,則由于凸部與凹圖案的膜厚差大,故而利用涂膜表面的凹凸,該組合物容易聚集于凹圖案上,但不僅通過該涂膜的表面形狀的效果,而且通過該表面的親液·撥液性,該組合物容易聚集于凹圖案上(對導(dǎo)電膜形成用組合物的圖案化加以輔助),更容易將所需形狀的、具體而言為微細(xì)且精巧的導(dǎo)電膜形成于構(gòu)造體上。另外,在使用包含如下化合物,即,含有具有氟原子的酸解離性基的化合物的組合物來作為步驟(i)中使用的樹脂組合物的情況下,通過放射線照射,具有氟原子的基團(tuán)脫離。該脫離基比較容易揮發(fā),因此在步驟(iii)中,可更簡便地形成放射線未照射部與凹圖案的膜厚差大的涂膜。對步驟(iii)中的涂膜進(jìn)行加熱的方法例如可列舉:對步驟(ii)中獲得的帶有涂膜的構(gòu)造體,使用加熱板、批次式烘箱或者傳送帶式烘箱進(jìn)行加熱的方法;使用干燥器等進(jìn)行熱風(fēng)干燥的方法;進(jìn)行真空烘烤的方法。所述加熱的條件雖也根據(jù)步驟(i)中使用的樹脂組合物的組成、或步驟(ii)中獲得的涂膜的厚度等而不同,但優(yōu)選為以步驟(iii)中形成的凹圖案的相對于放射線未照射部的膜厚成為所述范圍的方式進(jìn)行加熱,優(yōu)選為60℃~150℃、3~60分鐘左右。此外,步驟(iii)中獲得的凹圖案的膜厚只要根據(jù)所需的用途來適當(dāng)調(diào)整即可,優(yōu)選為相對于放射線未照射部的膜厚而成為所述范圍的膜厚,優(yōu)選為0.01μm~18μm,更優(yōu)選為0.05μm~15μm?!秾?dǎo)電膜的形成方法》本發(fā)明的導(dǎo)電膜的形成方法的特征在于包括如下步驟:在利用所述具有凹圖案的構(gòu)造體的制造方法來形成的凹圖案上,使用導(dǎo)電膜形成用組合物來形成導(dǎo)電膜。依據(jù)該導(dǎo)電膜的形成方法,可將高精細(xì)的導(dǎo)電膜(配線)容易地形成于具有非平坦面的構(gòu)造體上,現(xiàn)有方法所無法容易形成的寬10μm以下、例如1μm左右的導(dǎo)電膜(配線)也可容易地形成于具有非平坦面的構(gòu)造體上。具體而言,本發(fā)明的導(dǎo)電膜的形成方法可適合作為在以下設(shè)備中形成導(dǎo)電膜時的方法來應(yīng)用:個人計算機(jī)、游戲機(jī)、鐘表、液晶電視、有機(jī)el電視、電子紙等顯示器裝置、打印機(jī)、復(fù)印機(jī)、掃描儀、傳真、電子記事簿;pda、手機(jī)、平板終端等各種便攜式終端;電子式臺式計算機(jī)、電子辭典;數(shù)碼相機(jī)、攝影機(jī)或其鏡頭;電池組、記錄介質(zhì)的驅(qū)動或讀取裝置、鼠標(biāo)、十鍵小鍵盤、便攜式音樂播放器;儀表板、控制臺箱、手套箱、儀表盤面、門飾、開關(guān)面板、中心線束面板、儀表盤、門護(hù)板、車頂內(nèi)飾、后側(cè)裝飾、行李間內(nèi)飾、把手等車輛用零件;各種建材(例:住房的內(nèi)壁等智能住宅用建材);led照明或有機(jī)el照明等。另外,可適合作為在各種傳感器或穿戴式器件、玩具類等中形成導(dǎo)電膜時的方法來應(yīng)用。所述導(dǎo)電膜的形成方法具體而言優(yōu)選為包括如下的步驟(iv):將導(dǎo)電膜形成用組合物設(shè)置于所述凹圖案上,繼而對該組合物進(jìn)行加熱和/或照射放射線的步驟(iv)。此外,關(guān)于導(dǎo)電膜形成用組合物,以下進(jìn)行具體說明。設(shè)置所述導(dǎo)電膜形成用組合物的方法并無特別限定,例如可采用:使用毛刷或刷子的涂布法、滴加法、浸漬法、噴射法、旋轉(zhuǎn)涂布法(旋涂法)、狹縫模涂布法、棒涂布法、刮板法、噴墨印刷、分配法、各種曲面印刷法等適當(dāng)?shù)姆椒?。其中特別優(yōu)選為滴加法、浸漬法、噴射法。在使用包含如下化合物,即,含有具有氟原子的酸解離性基的化合物的組合物來作為步驟(i)中使用的樹脂組合物的情況下,在所述制造方法中形成撥液性的放射線未照射部以及較其而言為親液性的凹圖案部,因此在使用液狀的導(dǎo)電膜形成用組合物的情況下,使用所述任一種方法,均在放射線未照射部排斥該組合物,且該組合物容易聚集于凹圖案部,因此容易成為沿著凹圖案而設(shè)置有該組合物的狀態(tài)。所述步驟(iv)中的加熱的溫度并無特別限定,優(yōu)選為190℃以下。另外,在使用包含聚對苯二甲酸乙二酯等缺乏耐熱性的材料的構(gòu)造體來作為構(gòu)造體的情況下,優(yōu)選為該構(gòu)造體的耐熱溫度以下,具體而言為150℃以下。另外,加熱時間也無特別限制,優(yōu)選為1分鐘~120分鐘,更優(yōu)選為3分鐘~60分鐘。所述加熱的方法例如可列舉:使用加熱板、批次式烘箱或者傳送帶式烘箱進(jìn)行加熱的方法、使用干燥器等進(jìn)行熱風(fēng)干燥的方法、進(jìn)行真空烘烤的方法。所述步驟(iv)中的照射放射線的條件并無特別限定,使用閃光燈等,照射量優(yōu)選為500mj/cm2~6000mj/cm2,更優(yōu)選為1000mj/cm2~5000mj/cm2。所述導(dǎo)電膜的形成方法中,視需要經(jīng)過形成導(dǎo)電膜的步驟后,優(yōu)選為經(jīng)過步驟(iv)后,也可進(jìn)行如下的步驟(v):通過放射線照射或者加熱,自所獲得的帶導(dǎo)電膜的構(gòu)造體上去除所述步驟(i)的放射線未照射部的步驟(v)。步驟(v)優(yōu)選為:(a)在超過步驟(iv)中的加熱溫度的溫度下進(jìn)行加熱的步驟;或者(b)對步驟(iv)中獲得的帶導(dǎo)電膜的構(gòu)造體的凸部(所述步驟(i)中的放射線未照射部),以與所述步驟(ii)相同的條件照射放射線,繼而,以與所述步驟(iii)相同的條件進(jìn)行加熱的步驟。步驟(v)中,優(yōu)選為以步驟(iv)后存在的凸部的膜厚成為與所述凹圖案的膜厚同等的厚度的方式,去除該凸部的步驟。步驟(v)中的加熱的方法例如可列舉:使用加熱板、批次式烘箱或者傳送帶式烘箱進(jìn)行加熱的方法、使用干燥器等進(jìn)行熱風(fēng)干燥的方法、進(jìn)行真空烘烤的方法。此外,所述任一步驟中的加熱時的環(huán)境只要根據(jù)所使用的導(dǎo)電膜形成用組合物的種類來適當(dāng)設(shè)定即可,并無特別限制,可在大氣下進(jìn)行,也可在減壓下進(jìn)行,也可在非氧化性環(huán)境下進(jìn)行,另外還可在還原環(huán)境下進(jìn)行。非氧化性環(huán)境可列舉:氮氣環(huán)境、氦氣環(huán)境、氬氣環(huán)境等。這些環(huán)境中,優(yōu)選為可使用廉價的氮氣的氮氣環(huán)境。另外,還原環(huán)境可列舉氫氣等還原性氣體環(huán)境。所述(a)中的加熱條件考慮到所使用的導(dǎo)電膜形成用組合物或構(gòu)造體,優(yōu)選為所述凸部分解或揮發(fā)的溫度,優(yōu)選為120℃~300℃,更優(yōu)選為150℃~250℃。所述(a)中的加熱時間只要是所述凸部分解或揮發(fā)的溫度即可,并無特別限定。例如在將加熱的溫度設(shè)定為250℃左右的溫度的情況下,優(yōu)選為3分鐘~15分鐘左右,在設(shè)定為200℃左右的加熱溫度的情況下,優(yōu)選為5分鐘~30分鐘左右,在設(shè)定為150℃左右的加熱溫度的情況下,優(yōu)選為10分鐘~60分鐘左右?!峨娮与娐芬约半娮悠骷繁景l(fā)明的電子電路具有利用所述導(dǎo)電膜的形成方法來形成的導(dǎo)電膜,優(yōu)選為具有利用所述導(dǎo)電膜的形成方法來形成的導(dǎo)電膜與所述構(gòu)造體的積層體。即,本發(fā)明的電子電路具有:在非平坦面上形成有涂膜的構(gòu)造體,所述涂膜具有薄5%以上且小于90%的膜厚的部分(凹圖案部);以及形成于該凹圖案部上的導(dǎo)電膜。另外,本發(fā)明的電子電路也可以是在利用所述導(dǎo)電膜的形成方法來形成的導(dǎo)電膜與構(gòu)造體的積層體上,進(jìn)而積層有現(xiàn)有公知的層、例如保護(hù)導(dǎo)電膜的保護(hù)膜或絕緣膜者。本發(fā)明的電子器件具有所述電子電路。因此,成為小型化、薄型化、高功能化的電子器件。所述電子器件例如可列舉:觸摸屏、液晶顯示器、手機(jī)等便攜式信息設(shè)備、數(shù)碼相機(jī)、有機(jī)顯示器、有機(jī)el照明、各種傳感器或穿戴式器件。[樹脂組合物]所述樹脂組合物為含有具有酸解離性基的聚合體(以下也稱為“[a]聚合體”)以及酸產(chǎn)生劑(以下也稱為“[c]酸產(chǎn)生劑”)的組合物。依據(jù)所述組合物,由該組合物形成的涂膜通過放射線的照射以及視需要進(jìn)行的加熱而揮發(fā)、分解,因此優(yōu)選。如上所述的樹脂組合物可適合作為用以在所述構(gòu)造體上抑制導(dǎo)電膜形成用組合物的滲透、形成高精細(xì)的圖案的基底層形成用組合物,另外作為使導(dǎo)電膜(配線)與所述構(gòu)造體的密合性提高的基底層形成用組合物來使用。所述樹脂組合物也可還包含溶劑(以下也稱為“[b]溶劑”)。該組合物通過含有[b]溶劑而呈現(xiàn)液狀,可通過涂布或浸漬步驟而容易地形成涂膜。所述樹脂組合物可還包含增感劑(以下也稱為“[d]增感劑”)來作為[c]酸產(chǎn)生劑的輔助材料,也可包含淬滅劑(以下也稱為“[e]淬滅劑”)來作為來自[c]酸產(chǎn)生劑中的酸的擴(kuò)散抑制材料。另外,所述樹脂組合物可包含[a]聚合體以外的具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物(以下也稱為“[f]聚合性化合物”),也可包含感放射線性聚合引發(fā)劑(以下也稱為“[g]感放射線性聚合引發(fā)劑”)。進(jìn)而,所述樹脂組合物中,只要不損及本發(fā)明的效果,則可調(diào)配其他的任意成分。所述樹脂組合物的粘度(溫度:20℃、剪切速度:10sec-1)只要根據(jù)設(shè)置所需樹脂組合物的方法以及所欲形成的涂膜的膜厚等來調(diào)節(jié)即可。在形成膜厚為0.5μm~2μm的涂膜的情況,且使用旋涂法作為設(shè)置樹脂組合物的方法的情況下,優(yōu)選為可例示5cp(0.005pa·s)~20cp(0.02pa·s),在使用噴射涂布法來作為設(shè)置樹脂組合物的方法的情況下,優(yōu)選為可例示1cp(0.001pa·s)~10cp(0.01pa·s)。<[a]具有酸解離性基的聚合體>所述[a]聚合體若為含有具有通過酸而解離的性質(zhì)的基團(tuán)的聚合體,則并無特別限制。所述酸解離性基優(yōu)選為包含氟原子的基團(tuán)。通過所述[a]聚合體具有所述基團(tuán),可在所述步驟(i)中形成撥液性的涂膜,通過經(jīng)過其后的步驟(ii)等,可容易地形成撥液性的放射線未照射部、以及較該部分而言為親液性的凹部(凹圖案),且通過經(jīng)過其后的步驟(iv)或(v)等,可形成高精細(xì)的導(dǎo)電膜,因此優(yōu)選。另外,就可形成高精細(xì)的導(dǎo)電膜等的方面而言,所述酸解離性基更優(yōu)選為具有包含選自由縮醛鍵及半縮醛酯鍵所組成的群組中的至少一種鍵的基團(tuán)的基團(tuán),如上所述的基團(tuán)特別優(yōu)選為選自由下述式(1-1)所表示的基團(tuán)以及下述式(1-2)所表示的基團(tuán)所組成的群組中的至少一種基團(tuán)。[化3](式(1-1)及式(1-2)中,r1及r2分別獨立地表示氫原子或甲基,rf獨立地表示具有氟原子的有機(jī)基;*表示鍵結(jié)部位)包含縮醛鍵的聚合體可通過使醇類與具有基團(tuán)ch2=c(r1)-o-的化合物進(jìn)行反應(yīng)而獲得,包含半縮醛酯鍵的聚合體可通過使羧酸類與具有基團(tuán)ch2=c(r1)-o-的化合物進(jìn)行反應(yīng)而獲得。所述rf優(yōu)選為下述式(1-1)~式(1-33)所表示的基團(tuán)、2,2,2-三氟乙基以及1,2,2-三氟乙烯基。[化4][化5][a]聚合體優(yōu)選為具有如下結(jié)構(gòu)的化合物,所述結(jié)構(gòu)為,在作為前體的具有羥基的化合物的羥基上導(dǎo)入由下述式(1)所表示的乙烯醚化合物(以下也稱為“化合物(1)”)而來的保護(hù)基而成的結(jié)構(gòu)。另外,[a]聚合體也可為具有如下結(jié)構(gòu)的化合物,所述結(jié)構(gòu)為,在作為前體的具有羧基的化合物的羧基上導(dǎo)入由化合物(1)而來的保護(hù)基而成的結(jié)構(gòu)。這些化合物(以下也稱為“化合物(a)”)、特別是在具有羥基的化合物的羥基上導(dǎo)入有保護(hù)基的化合物具備難以產(chǎn)生因熱而引起的保護(hù)基脫離的性質(zhì),另一方面,具備可控制因放射線照射而引起的保護(hù)基脫離的性質(zhì),故而可適合用作[a]聚合體。進(jìn)而,化合物(a)由于可通過與后述[c]酸產(chǎn)生劑的組合,來控制因放射線照射而引起的更高精度的保護(hù)基脫離,故而優(yōu)選。[化6]式(1)中,r0表示氫原子或甲基。式(1)中,ra獨立地表示亞甲基、碳數(shù)2~12的亞烷基、碳數(shù)2~12的亞烯基、該亞烷基或亞烯基的一部分經(jīng)-o-、-(c=o)o-或-o(c=o)-所取代的基團(tuán)、碳數(shù)6~13的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的芳香族烴基、碳數(shù)4~12的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的脂環(huán)式烴基、或者這些基團(tuán)的1個以上的氫原子經(jīng)氟原子所取代的基團(tuán)。ra中的碳數(shù)2~12的亞烷基可列舉:亞乙基、亞丙基、亞丁基、亞戊基、亞己基、亞庚基、亞辛基、亞壬基、亞癸基、亞十一烷基、亞十二烷基等。ra中的碳數(shù)2~12的亞烯基可列舉:亞乙烯基、乙烯-1,2-二基、2-丁烯-1,4-二基等。ra中的所述亞烷基或亞烯基的一部分經(jīng)-o-、-(c=o)o-或-o(c=o)-所取代的基團(tuán)(其中,碳數(shù)最大為12)可列舉:-rc-o-rc-、-rc-(c=o)o-rc-、-rc-o(c=o)-rc-(rc獨立地表示亞烷基或亞烯基)等。ra中的碳數(shù)6~13的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的芳香族烴基可列舉:亞苯基、甲代亞苯基、均三甲苯基、亞萘基、亞聯(lián)苯基等。ra中的碳數(shù)4~12的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的脂環(huán)式烴基可列舉:環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、雙環(huán)己基等。ra中的亞甲基、碳數(shù)2~12的亞烷基、碳數(shù)2~12的亞烯基、碳數(shù)6~13的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的芳香族烴基、或者碳數(shù)4~12的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的脂環(huán)式烴基的1個以上的氫原子經(jīng)氟原子所取代的基團(tuán)可列舉:所述例示的基團(tuán)的1個以上的氫原子經(jīng)氟原子所取代的基團(tuán)等。ra優(yōu)選為亞甲基、亞乙基、亞丙基、亞丁基、五亞甲基、六亞甲基、亞苯基、亞乙烯基。式(1)中,rb表示烴基的1個以上的氫原子經(jīng)氟原子所取代的基團(tuán)。式(1)中,rb例如可列舉所述式(1-1)~式(1-33)所表示的基團(tuán)、2,2,2-三氟乙基、1,2,2-三氟乙烯基,優(yōu)選為:2,2,2-三氟乙基、所述式(1-1)的3,3,3-三氟丙基、式(1-2)的4,4,4-三氟丁基、式(1-4)的3,3,4,4,4-五氟丁基、所述式(1-16)的4,4,5,5,6,6,6-七氟己基、式(1-7)的3,3,4,4,5,5,6,6,6-九氟己基、式(1-8)的3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-十三氟辛基、式(1-9)的3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-十七氟癸基、1,2,2-三氟乙烯基、式(1-29)的2,3,4,5,6-五氟苯基。式(1)中,x表示0~12的整數(shù),優(yōu)選為0~9的整數(shù),更優(yōu)選為0。步驟(i)中使用的樹脂組合物由于包含[a]聚合體,故而所述步驟(i)中形成的涂膜顯示出基于[a]聚合體的特性,在使用所述化合物(a)作為[a]聚合體的情況下,顯示出由該化合物(a)的保護(hù)基而來的特性。具體而言,若由包含該化合物(a)的樹脂組合物形成涂膜,則首先,在所述步驟(i)中形成撥液性的涂膜,若對該涂膜進(jìn)行放射線照射,則在曝光部分產(chǎn)生保護(hù)基的脫離,在保護(hù)基脫離的部分殘留乙烯基氧基或羥基,失去由保護(hù)基引起的撥液性。繼而,對用以獲得[a]聚合體的方法進(jìn)行說明。用以獲得該[a]聚合體的方法可為:使用聚合體來作為成為前體的化合物的方法、以及使用單體來作為成為前體的化合物的方法這兩種方法。在使用聚合體來作為成為前體的化合物的方法中,成為前體的聚合體在分子內(nèi)含有羥基或羧基,可通過使所述化合物(1)與成為前體的聚合體的羥基或羧基進(jìn)行反應(yīng)而獲得[a]聚合體。另外,在使用單體來作為成為前體的化合物的方法中,成為前體的單體在分子內(nèi)含有羥基或羧基,可通過使所述化合物(1)與成為前體的單體的羥基或羧基進(jìn)行反應(yīng)后,使所獲得的單體進(jìn)行聚合而獲得[a]聚合體。以下,對用以獲得[a]聚合體的兩種方法進(jìn)行更具體的說明。(1)使用聚合體作為成為前體的化合物的方法該方法中,將具有羥基或羧基的單體進(jìn)行聚合而獲得具有羥基或羧基的聚合體(前體),然后,使所述化合物(1)與成為前體的聚合體的羥基或羧基進(jìn)行反應(yīng),可獲得[a]聚合體。另外,利用現(xiàn)有公知的方法,例如使苯酚與甲醛進(jìn)行反應(yīng)的方法而獲得具有羥基或羧基的聚合體(前體),然后,使所述化合物(1)與成為前體的聚合體的羥基或羧基進(jìn)行反應(yīng),可獲得[a]聚合體。所述具有羥基的單體優(yōu)選為(甲基)丙烯酸酯,例如可列舉:甲基丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基丙酯、丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸2-羥基丙酯、甲基丙烯酸2-羥基丁酯、丙烯酸2-羥基丁酯、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、2-丙烯酰氧基乙基-2-羥基乙基鄰苯二甲酸、二丙二醇甲基丙烯酸酯、二丙二醇丙烯酸酯、甲基丙烯酸4-羥基丁酯、丙烯酸4-羥基丁酯、環(huán)己烷二甲醇單丙烯酸酯、環(huán)己烷二甲醇單甲基丙烯酸酯、α-(羥基甲基)丙烯酸乙酯、聚丙二醇單甲基丙烯酸酯、聚丙二醇單丙烯酸酯、甘油單甲基丙烯酸酯、甘油單丙烯酸酯、聚乙二醇單甲基丙烯酸酯、聚乙二醇單丙烯酸酯、聚(乙二醇-丙二醇)單甲基丙烯酸酯、聚(乙二醇-丙二醇)單丙烯酸酯、聚乙二醇-聚丙二醇單甲基丙烯酸酯、聚乙二醇-聚丙二醇單丙烯酸酯、聚(乙二醇-四亞甲基二醇)單甲基丙烯酸酯、聚(乙二醇-四亞甲基二醇)單丙烯酸酯、聚(丙二醇-四亞甲基二醇)單甲基丙烯酸酯、聚(丙二醇-四亞甲基二醇)單丙烯酸酯、丙二醇聚丁二醇單甲基丙烯酸酯、丙二醇聚丁二醇單丙烯酸酯、甲基丙烯酸對羥基苯酯、丙烯酸對羥基苯酯、乙烯基苯酚,還可列舉:以下的大賽璐(daicel)(股)制造的皮拉克賽爾(placcel)fm1、皮拉克賽爾(placcel)fm1d、皮拉克賽爾(placcel)fm2d、皮拉克賽爾(placcel)fm3、皮拉克賽爾(placcel)fm3x、皮拉克賽爾(placcel)fm4、皮拉克賽爾(placcel)fm5、皮拉克賽爾(placcel)fa1、皮拉克賽爾(placcel)fa1ddm、皮拉克賽爾(placcel)fa2d、皮拉克賽爾(placcel)fa5、皮拉克賽爾(placcel)fa10l。所述具有羧基的單體可列舉:丙烯酸、甲基丙烯酸、2-丙烯酰氧基乙基丁二酸、2-甲基丙烯酰氧基乙基丁二酸、2-丙烯酰氧基乙基鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧基乙基鄰苯二甲酸、2-丙烯酰氧基乙基四氫鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧基乙基四氫鄰苯二甲酸、2-丙烯酰氧基乙基六氫鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧基乙基六氫鄰苯二甲酸、2-丙烯酰氧基丙基鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧基丙基鄰苯二甲酸、2-丙烯酰氧基丙基四氫鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧基丙基四氫鄰苯二甲酸、2-丙烯酰氧基丙基六氫鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧基丙基六氫鄰苯二甲酸。成為[a]聚合體的前體的具有羥基或羧基的聚合體除了可僅使用所述具有羥基或羧基的單體而獲得以外,還可將所述具有羥基或羧基的單體、與具有羥基或羧基的單體以外的單體進(jìn)行共聚合而獲得。具有羥基或羧基的單體以外的單體可列舉:(甲基)丙烯酸鏈狀烷基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)狀烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不飽和芳香族化合物、共軛二烯、含有四氫呋喃骨架的不飽和化合物、順丁烯二酰亞胺以及這些以外的單體。若更具體地進(jìn)行說明,則所述(甲基)丙烯酸鏈狀烷基酯例如可列舉:甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸異癸酯、甲基丙烯酸正月桂酯、甲基丙烯酸十三烷基酯、甲基丙烯酸正硬脂基酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸仲丁酯、丙烯酸叔丁酯、丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸異癸酯、丙烯酸正月桂酯、丙烯酸十三烷基酯、丙烯酸正硬脂基酯。所述(甲基)丙烯酸環(huán)狀烷基酯例如可列舉:甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、甲基丙烯酸異冰片酯、丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、丙烯酸異冰片酯。所述(甲基)丙烯酸芳基酯例如可列舉:甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸芐酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸芐酯。所述不飽和芳香族化合物例如可列舉:苯乙烯、α-甲基苯乙烯、鄰甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、對甲氧基苯乙烯。所述共軛二烯例如可列舉:1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯。所述含有四氫呋喃骨架的不飽和化合物例如可列舉:(甲基)丙烯酸四氫糠酯、2-甲基丙烯酰氧基-丙酸四氫糠酯、3-(甲基)丙烯酰氧基四氫呋喃-2-酮。所述順丁烯二酰亞胺例如可列舉:n-苯基順丁烯二酰亞胺、n-環(huán)己基順丁烯二酰亞胺、n-甲苯基順丁烯二酰亞胺、n-萘基順丁烯二酰亞胺、n-乙基順丁烯二酰亞胺、n-己基順丁烯二酰亞胺、n-芐基順丁烯二酰亞胺。另外,所述單體以外的單體例如可列舉:甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己酯、丙烯酸3,4-環(huán)氧基環(huán)己酯、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烷-8-基氧基乙酯、丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烷-8-基氧基乙酯。合成成為[a]聚合體的前體的具有羥基或羧基的聚合體時可使用溶媒,該溶媒例如可列舉:醇、二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、二乙二醇單烷基醚、二乙二醇二烷基醚、二丙二醇二烷基醚、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、丙二醇單烷基醚丙烯酸酯、酮、酯。用以獲得成為[a]聚合體的前體的具有羥基或羧基的聚合體的聚合反應(yīng)中,為了調(diào)整分子量,可使用分子量調(diào)整劑。分子量調(diào)整劑例如可列舉:氯仿、四溴化碳等鹵化烴類;正己基硫醇、正辛基硫醇、正十二烷基硫醇、叔十二烷基硫醇、硫代乙醇酸等硫醇類;硫化二甲基黃原酸酯(dimethylxanthogensulfide)、二硫化二異丙基黃原酸酯(diisopropylxanthogendisulfide)等黃原酸類;異松油烯(terpinolene)、α-甲基苯乙烯二聚體。具有羥基或羧基的聚合體的利用凝膠滲透色譜法(gelpermeationchromatography,gpc)而得的聚苯乙烯換算重量平均分子量(mw)優(yōu)選為1000~40000,更優(yōu)選為5000~30000。通過將具有羥基或羧基的聚合體的mw設(shè)為所述范圍,可提高含有該分子量的[a]聚合體的樹脂組合物的感度。繼而,使所述化合物(1)與具有羥基或羧基的聚合體的羥基或羧基進(jìn)行反應(yīng)而獲得[a]聚合體的方法可如下述式所表示般,通過使羥基或羧基與乙烯醚基反應(yīng)而進(jìn)行。[化7]獲得[a]聚合體的方法可以公知的方法為參考,例如可以日本專利特開2005-187609號公報中記載的方法為參考。具體而言,由具有羥基的聚合體的羥基與所述化合物(1)的乙烯醚基來生成縮醛鍵,或者由具有羧基的聚合體的羧基與所述化合物(1)的乙烯醚基來生成半縮醛酯鍵,形成加成物。例如,將具有羥基或羧基的聚合體溶解于適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶媒中后,添加相對于聚合體所具有的羥基或羧基而言為等摩爾或過剩量的所述化合物(1),將所獲得的反應(yīng)混合物自0℃冷卻至室溫(25℃)左右的溫度后,滴加溶解在與所述有機(jī)溶媒相同的溶媒中的酸(例如乙二酸溶液)作為催化劑,滴加結(jié)束后,在室溫下攪拌1小時~24小時,使其反應(yīng)。反應(yīng)結(jié)束后,可通過去除有機(jī)溶劑,而獲得目標(biāo)的[a]聚合體。(2)使用單體作為成為前體的化合物的方法該方法中,通過使所述化合物(1)與具有羥基或羧基的單體的羥基或羧基進(jìn)行反應(yīng)而獲得加成物,并使該加成物進(jìn)行聚合,從而獲得[a]聚合體。如上所述的獲得[a]聚合體的方法可以公知的方法為參考。例如,如日本專利特開2005-187609號公報中所記載,由具有羥基的單體的羥基與化合物(1)的乙烯醚基而生成縮醛鍵,或者由具有羧基的單體的羧基與所述化合物(1)的乙烯醚基而生成半縮醛酯鍵,從而形成加成物。繼而,可使用所獲得的加成物,以與所述具有羥基或羧基的聚合體的制造方法相同的方式,來獲得[a]聚合體。以如上方式而獲得的[a]聚合體的優(yōu)選例可列舉具有選自由下述式(2)~式(5)所表示的構(gòu)成單元所組成的群組中的至少一者的聚合體。[化8](式(2)~式(5)中,r3獨立地表示氫原子或甲基;r4獨立地表示亞甲基、碳數(shù)2~12的亞烷基、碳數(shù)2~12的亞烯基、該亞烷基或亞烯基的一部分經(jīng)-o-、-(c=o)o-或-o(c=o)-所取代的基團(tuán)、碳數(shù)6~13的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的芳香族烴基、碳數(shù)4~12的經(jīng)取代或未經(jīng)取代的脂環(huán)式烴基、或者這些基團(tuán)的1個以上的氫原子經(jīng)氟原子所取代的基團(tuán);r5獨立地表示烴基的1個以上的氫原子經(jīng)氟原子所取代的基團(tuán);m表示0或1;n獨立地表示0~12的整數(shù))所述r4可列舉與所述ra中例示的基團(tuán)相同的基團(tuán)等。所述r5可列舉與所述rb中例示的基團(tuán)相同的基團(tuán)等。所述n優(yōu)選為0~9的整數(shù)。[a]聚合體的更優(yōu)選例可列舉具有選自由下述式所表示的構(gòu)成單元所組成的群組中的至少一者的聚合體。另外,下述式所表示的構(gòu)成單元的側(cè)鏈末端為所述(1-1)~(1-33)所表示的基團(tuán)、2,2,2-三氟乙基、或者1,2,2-三氟乙烯基的構(gòu)成單元也同樣可作為優(yōu)選例來列舉。[化9][a]聚合體可單獨使用一種,也可使用兩種以上。<[b]溶劑>[b]溶劑并無特別限定,除了[a]聚合體以外,優(yōu)選為可將后述的[c]酸產(chǎn)生劑以及[f]聚合性化合物等各成分均勻地溶解或分散的溶劑。優(yōu)選的[b]溶劑可列舉:醇系溶劑、醚類、二乙二醇烷基醚類、乙二醇烷基醚乙酸酯類、丙二醇單烷基醚乙酸酯類、丙二醇單烷基醚丙烯酸酯類、脂肪族烴類、芳香族烴類、酮類及酯類等。所述醇系溶劑可列舉:1-己醇、1-辛醇、1-壬醇、1-十二烷醇、1,6-己二醇、1,8-辛二醇等長鏈烷基醇類;芐基醇等芳香族醇類;乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚等乙二醇單烷基醚類;丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚等丙二醇單烷基醚類;二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單丙醚、二丙二醇單丁醚等二丙二醇單烷基醚類等。這些醇系溶劑可單獨使用或者使用兩種以上。這些醇系溶劑中,尤其就涂敷性提高的觀點而言,優(yōu)選為:芐基醇、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚。所述醚類例如可列舉:四氫呋喃、己基甲醚、三乙二醇二甲醚、三乙二醇二乙醚、1,4-二噁烷。所述二乙二醇烷基醚類例如可列舉:二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇乙基甲醚。所述乙二醇烷基醚乙酸酯類例如可列舉:甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯。所述丙二醇單烷基醚乙酸酯類例如可列舉:丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯、丙二醇單丁醚乙酸酯。所述丙二醇單烷基醚丙烯酸酯類例如可列舉:丙二醇單甲醚丙烯酸酯、丙二醇單乙醚丙烯酸酯、丙二醇單丙醚丙烯酸酯、丙二醇單丁醚丙烯酸酯。所述脂肪族烴類例如可列舉:正戊烷、正己烷、正庚烷、正辛烷、正壬烷、正癸烷、正十一烷、正十二烷、環(huán)己烷、十氫萘。所述芳香族烴類例如可列舉:苯、甲苯、二甲苯、乙基苯、正丙基苯、異丙基苯、正丁基苯、均三甲苯、氯苯、二氯苯。所述酮類例如可列舉:甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、2-庚酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮。所述酯類例如可列舉:乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸異丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯等。以上列舉的[b]溶劑可單獨使用一種,也可使用兩種以上。相對于所述樹脂組合物的除溶劑以外的成分100質(zhì)量份,溶劑的使用量優(yōu)選為200質(zhì)量份~1600質(zhì)量份,更優(yōu)選為400質(zhì)量份~1000質(zhì)量份。通過將溶劑的使用量設(shè)為所述范圍內(nèi),可提高樹脂組合物的涂布性,進(jìn)而抑制涂布不均(條紋狀不均、針跡不均、霧靄狀不均等)的產(chǎn)生,從而獲得膜厚均勻性提高的涂膜。<[c]酸產(chǎn)生劑>[c]酸產(chǎn)生劑為至少通過放射線的照射而產(chǎn)生酸的化合物。通過樹脂組合物含有[c]酸產(chǎn)生劑,可使酸解離性基自[a]聚合體中脫離。[c]酸產(chǎn)生劑例如可列舉:肟磺酸酯化合物、鎓鹽、磺酰亞胺化合物、含鹵素的化合物、重氮甲烷化合物、砜化合物、磺酸酯化合物、羧酸酯化合物等。[c]酸產(chǎn)生劑可單獨使用,也可使用兩種以上。[肟磺酸酯化合物]所述肟磺酸酯化合物優(yōu)選為包含下述式(5)所表示的肟磺酸酯基的化合物。[化10]所述式(5)中,r11為碳數(shù)1~12的烷基、碳數(shù)1~12的氟烷基、碳數(shù)4~12的脂環(huán)式烴基、碳數(shù)6~20的芳基,或者這些烷基、脂環(huán)式烴基及芳基所具有的氫原子的一部分或全部經(jīng)取代基所取代的基團(tuán)。所述r11所表示的烷基優(yōu)選為碳數(shù)1~12的直鏈狀或分支狀的烷基。該碳數(shù)1~12的直鏈狀或分支狀的烷基也可由取代基所取代,取代基例如可列舉:碳數(shù)1~10的烷氧基、7,7-二甲基-2-氧代降冰片基等包含橋聯(lián)環(huán)式脂環(huán)基的脂環(huán)式基等。碳數(shù)1~12的氟烷基可列舉:三氟甲基、五氟乙基、庚基氟丙基等。所述r11所表示的碳數(shù)4~12的脂環(huán)式烴基可由取代基所取代,取代基例如可列舉:碳數(shù)1~5的烷基、烷氧基、鹵素原子。所述r11所表示的碳數(shù)6~20的芳基優(yōu)選為:苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基。所述芳基可由取代基所取代,取代基例如可列舉:碳數(shù)1~5的烷基、烷氧基、鹵素原子。含有所述式(5)所表示的肟磺酸酯基的化合物例如可列舉下述式(5-1)、下述式(5-2)、下述式(5-3)所表示的肟磺酸酯化合物。[化11]所述式(5-1)、所述式(5-2)及所述式(5-3)中,r11與所述式(5)為相同含義。所述式(5-1)、所述式(5-2)及所述式(5-3)中,r15為碳數(shù)1~12的烷基、碳數(shù)1~12的氟烷基。式(5-3)中,x為烷基、烷氧基或鹵素原子。m為0~3的整數(shù)。但,在x為多個的情況下,多個x可相同,也可不同。所述式(5-3)的x所表示的烷基優(yōu)選為碳數(shù)1~4的直鏈狀或分支狀的烷基。所述x所表示的烷氧基優(yōu)選為碳數(shù)1~4的直鏈狀或分支狀的烷氧基。所述x所表示的鹵素原子優(yōu)選為氯原子、氟原子。m優(yōu)選為0或1。所述式(5-3)中,特別優(yōu)選為m為1、x為甲基、x的取代位置為鄰位的化合物。所述(5-3)所表示的肟磺酸酯化合物例如可列舉下述式(5-3-1)~式(5-3-5)所表示的化合物等。[化12]所述式(5-3-1)~所述式(5-3-5)所表示的化合物分別為:(5-丙基磺酰氧基亞氨基-5h-噻吩-2-亞基)-(2-甲基苯基)乙腈、(5-辛基磺酰氧基亞氨基-5h-噻吩-2-亞基)-(2-甲基苯基)乙腈、(樟腦磺酰氧基亞氨基-5h-噻吩-2-亞基)-(2-甲基苯基)乙腈、(5-p-甲苯磺酰氧基亞氨基-5h-噻吩-2-亞基)-(2-甲基苯基)乙腈、(5-辛基磺酰氧基亞氨基)-(4-甲氧基苯基)乙腈,可作為市售品而獲取。[鎓鹽]鎓鹽例如可列舉:二苯基碘鎓鹽、三苯基锍鹽、烷基锍鹽、芐基锍鹽、二芐基锍鹽、經(jīng)取代的芐基锍鹽、苯并噻唑鎓鹽、四氫噻吩鎓鹽。所述二苯基碘鎓鹽例如可列舉:二苯基碘鎓四氟硼酸鹽、二苯基碘鎓六氟膦酸鹽、二苯基碘鎓六氟砷酸鹽、二苯基碘鎓三氟甲磺酸鹽、二苯基碘鎓三氟乙酸鹽、二苯基碘鎓-對甲苯磺酸鹽、二苯基碘鎓丁基三(2,6-二氟苯基)硼酸鹽、4-甲氧基苯基苯基碘鎓四氟硼酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓四氟硼酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓六氟砷酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟甲磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟乙酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓-對甲苯磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓樟腦磺酸。所述三苯基锍鹽例如可列舉:三苯基锍三氟甲磺酸鹽、三苯基锍樟腦磺酸、三苯基锍四氟硼酸鹽、三苯基锍三氟乙酸鹽、三苯基锍-對甲苯磺酸鹽、三苯基锍丁基三(2,6-二氟苯基)硼酸鹽。所述烷基锍鹽例如可列舉:4-乙酰氧基苯基二甲基锍六氟銻酸鹽、4-乙酰氧基苯基二甲基锍六氟砷酸鹽、二甲基-4-(芐氧基羰氧基)苯基锍六氟銻酸鹽、二甲基-4-(苯甲酰氧基)苯基锍六氟銻酸鹽、二甲基-4-(苯甲酰氧基)苯基锍六氟砷酸鹽、二甲基-3-氯-4-乙酰氧基苯基锍六氟銻酸鹽。所述芐基锍鹽例如可列舉:芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽、4-乙酰氧基苯基芐基甲基锍六氟銻酸鹽、芐基-4-甲氧基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、芐基-2-甲基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、芐基-3-氯-4-羥基苯基甲基锍六氟砷酸鹽、4-甲氧基芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽。所述二芐基锍鹽例如可列舉:二芐基-4-羥基苯基锍六氟銻酸鹽、二芐基-4-羥基苯基锍六氟磷酸鹽、4-乙酰氧基苯基二芐基锍六氟銻酸鹽、二芐基-4-甲氧基苯基锍六氟銻酸鹽、二芐基-3-氯-4-羥基苯基锍六氟砷酸鹽、二芐基-3-甲基-4-羥基-5-叔丁基苯基锍六氟銻酸鹽、芐基-4-甲氧基芐基-4-羥基苯基锍六氟磷酸鹽。所述經(jīng)取代的芐基锍鹽例如可列舉:對氯芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、對硝基芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、對氯芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽、對硝基芐基-3-甲基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、3,5-二氯芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、鄰氯芐基-3-氯-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽。所述苯并噻唑鎓鹽例如可列舉:3-芐基苯并噻唑鎓六氟銻酸鹽、3-芐基苯并噻唑鎓六氟磷酸鹽、3-芐基苯并噻唑鎓四氟硼酸鹽、3-(對甲氧基芐基)苯并噻唑鎓六氟銻酸鹽、3-芐基-2-甲基硫代苯并噻唑鎓六氟銻酸鹽、3-芐基-5-氯苯并噻唑鎓六氟銻酸鹽。所述四氫噻吩鎓鹽例如可列舉:4,7-二-正丁氧基-1-萘基四氫噻吩鎓三氟甲磺酸鹽、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氫噻吩鎓三氟甲磺酸鹽、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氫噻吩鎓九氟-正丁磺酸鹽、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氫噻吩鎓-1,1,2,2-四氟-2-(降冰片烷-2-基)乙磺酸鹽、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氫噻吩鎓-2-(5-叔丁氧基羰氧基雙環(huán)[2.2.1]庚烷-2-基)-1,1,2,2-四氟乙磺酸鹽、1-(4-正丁氧基萘-1-基)四氫噻吩鎓-2-(6-叔丁氧基羰氧基雙環(huán)[2.2.1]庚烷-2-基)-1,1,2,2-四氟乙磺酸鹽。[磺酰亞胺化合物]作為[c]酸產(chǎn)生劑而優(yōu)選的磺酰亞胺化合物例如可列舉:n-(三氟甲基磺酰氧基)丁二酰亞胺、n-(樟腦磺酰氧基)丁二酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)丁二酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)丁二酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)丁二酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(樟腦磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(2-氟苯基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)二苯基順丁烯二酰亞胺、n-(樟腦磺酰氧基)二苯基順丁烯二酰亞胺、4-甲基苯基磺酰氧基)二苯基順丁烯二酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)二苯基順丁烯二酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)二苯基順丁烯二酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)二苯基順丁烯二酰亞胺、n-(苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(三氟甲磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(九氟丁磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(樟腦磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(樟腦磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧基酰亞胺、n-(樟腦磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧基酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧基酰亞胺、n-(三氟甲基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(樟腦磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(苯基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(五氟乙基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(七氟丙基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(九氟丁基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(乙基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(丙基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(丁基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(戊基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(己基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(庚基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(辛基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺、n-(壬基磺酰氧基)萘基二羧基酰亞胺等[含鹵素的化合物]作為[c]酸產(chǎn)生劑而優(yōu)選的含鹵素的化合物例如可列舉:含鹵代烷基的烴化合物、含鹵代烷基的雜環(huán)狀化合物。[重氮甲烷化合物]作為[c]酸產(chǎn)生劑而優(yōu)選的重氮甲烷化合物例如可列舉:雙(三氟甲基磺酰基)重氮甲烷、雙(環(huán)己基磺酰基)重氮甲烷、雙(苯基磺酰基)重氮甲烷、雙(p-甲苯基磺酰基)重氮甲烷、雙(2,4-二甲苯基磺酰基)重氮甲烷、雙(對氯苯基磺酰基)重氮甲烷、甲基磺?;?對甲苯磺?;氐淄?、環(huán)己基磺?;?1,1-二甲基乙基磺酰基)重氮甲烷、雙(1,1-二甲基乙基磺?;?重氮甲烷、苯基磺?;?苯甲?;?重氮甲烷等。[砜化合物]作為[c]酸產(chǎn)生劑而優(yōu)選的砜化合物例如可列舉:β-酮砜化合物、β-磺?;炕衔?、二芳基二砜化合物。[磺酸酯化合物]作為[c]酸產(chǎn)生劑而優(yōu)選的磺酸酯化合物例如可列舉:烷基磺酸酯、鹵代烷基磺酸酯、芳基磺酸酯、亞氨基磺酸酯。[羧酸酯化合物]作為[c]酸產(chǎn)生劑而優(yōu)選的羧酸酯化合物例如可列舉:羧酸鄰硝基芐基酯。[c]酸產(chǎn)生劑優(yōu)選為肟磺酸酯化合物、鎓鹽、磺酸酯化合物,更優(yōu)選為肟磺酸酯化合物。所述肟磺酸酯化合物優(yōu)選為所述式(5-3-1)~式(5-3-5)所表示的包含肟磺酸酯基的化合物,更優(yōu)選為所述式(5-3-5)所表示的化合物。另外,所述鎓鹽優(yōu)選為四氫噻吩鎓鹽、芐基锍鹽,更優(yōu)選為4,7-二-正丁氧基-1-萘基四氫噻吩鎓三氟甲磺酸鹽、芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽,尤其優(yōu)選為4,7-二-正丁氧基-1-萘基四氫噻吩鎓三氟甲磺酸鹽。所述磺酸酯化合物優(yōu)選為鹵代烷基磺酸酯,更優(yōu)選為n-羥基萘二甲酰亞胺-三氟甲磺酸酯。通過使用所述化合物來作為[c]酸產(chǎn)生劑,可提高所述樹脂組合物的感度,進(jìn)而可提高溶解性。相對于[a]聚合體100質(zhì)量份,[c]酸產(chǎn)生劑的含量優(yōu)選為0.1質(zhì)量份~10質(zhì)量份,更優(yōu)選為1質(zhì)量份~5質(zhì)量份。通過將[c]酸產(chǎn)生劑的含量設(shè)為所述范圍,可使樹脂組合物的感度最佳化,因此可通過經(jīng)過所述步驟(i)~(ii)來形成高解析度的凹圖案。<[d]增感劑>所述樹脂組合物可含有[d]增感劑。通過所述樹脂組合物含有[d]增感劑,可進(jìn)一步提高該組合物的放射線感度。[d]增感劑優(yōu)選為吸收光化射線或者放射線而成為電子激發(fā)狀態(tài)的化合物。通過成為電子激發(fā)狀態(tài)的[d]增感劑與[c]酸產(chǎn)生劑接觸,而產(chǎn)生電子轉(zhuǎn)移、能量轉(zhuǎn)移、發(fā)熱等,借此,[c]酸產(chǎn)生劑產(chǎn)生化學(xué)變化而分解產(chǎn)生酸。[d]增感劑可列舉屬于以下的化合物類,且在350nm~450nm的區(qū)域具有吸收波長的化合物等。[d]增感劑例如可列舉:芘、苝、三亞苯基、蒽、9,10-二丁氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、3,7-二甲氧基蒽、9,10-二丙氧基蒽等多核芳香族類;熒光素(fluorescein)、曙紅(eosin)、赤蘚紅(erythrosine)、羅丹明b(rhodamineb)、孟加拉玫瑰紅(rosebengal)等呫噸(xanthene)類;呫噸酮(xanthone)、噻噸酮(thioxanthone)、二甲基噻噸酮、二乙基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸-9-酮等呫噸酮類;硫雜羰花青(thiacarbocyanine)、氧雜羰花青(oxacarbocyanine)等花青(cyanine)類;部花青(merocyanine)、羰部花青(carbomerocyanine)等部花青類;若丹菁(rhodacyanine)類;氧雜菁(oxonol)類;硫堇(thionine)、亞甲基藍(lán)(methyleneblue)、甲苯胺藍(lán)(toluidineblue)等噻嗪(thiazine)類;吖啶橙(acridineorange)、氯黃素(chloroflavin)、吖啶黃素(acriflavin)等吖啶類;吖啶酮(acridone)、10-丁基-2-氯吖啶酮等吖啶酮類;蒽醌(anthraquinone)等蒽醌類;方酸(squarylium)等方酸類;苯乙烯基類;2-[2-[4-(二甲基氨基)苯基]乙烯基]苯并噁唑等基礎(chǔ)苯乙烯基類;7-二乙基氨基4-甲基香豆素、7-羥基4-甲基香豆素、2,3,6,7-四氫-9-甲基-1h,5h,11h[1]苯并吡喃并[6,7,8-ij]喹嗪-11-酮等香豆素類等。這些[d]增感劑中,優(yōu)選為多核芳香族類、吖啶酮類、苯乙烯基類、基礎(chǔ)苯乙烯基類、香豆素類、呫噸酮類,更優(yōu)選為呫噸酮類。呫噸酮類中特別優(yōu)選為二乙基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸-9-酮以及異丙基噻噸酮[d]增感劑可單獨使用一種,也可使用兩種以上。在使用[d]增感劑的情況下,相對于[a]聚合體100質(zhì)量份,其使用量優(yōu)選為0.05質(zhì)量份~8質(zhì)量份,更優(yōu)選為0.1質(zhì)量份~4質(zhì)量份。通過將[d]增感劑的使用量設(shè)為所述范圍,可使樹脂組合物的感度最佳化,因此可通過經(jīng)過所述步驟(i)~(ii)而形成高解析度的凹圖案。<[e]淬滅劑>所述樹脂組合物可含有[e]淬滅劑。[e]淬滅劑作為防止來自[c]酸產(chǎn)生劑的酸的擴(kuò)散的酸擴(kuò)散抑制劑而發(fā)揮功能。[e]淬滅劑可列舉烷基胺類或咪唑類等環(huán)式胺類,具體而言,例如可列舉:具有咪唑結(jié)構(gòu)的化合物(2-苯基苯并咪唑、2,4,5-三苯基咪唑等)、具有哌啶結(jié)構(gòu)的化合物[n-羥基乙基哌啶以及雙(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯等]、具有吡啶結(jié)構(gòu)的化合物(4-二甲基氨基吡啶等)、以及具有安替比林(antipyrine)結(jié)構(gòu)的化合物(安替比林及羥基安替比林等)、1,5-二氮雜雙環(huán)[4.3.0]壬-5-烯以及1,8-二氮雜雙環(huán)[5.4.0]-十一-7-烯。另外,[e]淬滅劑可列舉通過曝光而感光,產(chǎn)生弱酸的光崩解性堿。光崩解性堿在曝光部中產(chǎn)生酸,另一方面,在未曝光部中發(fā)揮由陰離子帶來的高的酸捕捉功能,補(bǔ)足來自[c]酸產(chǎn)生劑的酸,使自曝光部擴(kuò)散至未曝光部的酸失活。即,由于僅在未曝光部中使酸失活,故而保護(hù)基的脫離反應(yīng)的對比度提高,結(jié)果可進(jìn)一步提高解析性。光崩解性堿的一例可列舉通過曝光而分解,失去酸擴(kuò)散控制性的鎓鹽化合物。[e]淬滅劑可單獨使用一種,也可使用兩種以上。相對于[a]聚合體100質(zhì)量份,[e]淬滅劑的含量優(yōu)選為0.001質(zhì)量份~5質(zhì)量份,更優(yōu)選為0.005質(zhì)量份~3質(zhì)量份。通過將[d]增感劑的含量設(shè)為所述范圍,可使樹脂組合物的反應(yīng)性最佳化,因此可通過經(jīng)過所述步驟(i)~(ii)而形成高解析度的凹圖案。<[f]聚合性化合物>樹脂組合物通過含有[f]聚合性化合物,可使該組合物硬化。[f]聚合性化合物優(yōu)選為具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物。但,為[a]聚合體以外的化合物。就聚合性良好,由樹脂組合物獲得的膜的強(qiáng)度提高的觀點而言,所述[f]聚合性化合物優(yōu)選為單官能、二官能或者三官能以上的(甲基)丙烯酸酯。此外,所謂單官能化合物是指具有1個(甲基)丙烯?;幕衔?,所謂二官能或三官能以上的化合物分別是指具有2個或3個以上的(甲基)丙烯?;幕衔铩K鰡喂倌?甲基)丙烯酸酯例如可列舉:丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、二乙二醇單乙醚丙烯酸酯、二乙二醇單乙醚甲基丙烯酸酯、(2-丙烯酰氧基乙基)(2-羥基丙基)鄰苯二甲酸酯、(2-甲基丙烯酰氧基乙基)(2-羥基丙基)鄰苯二甲酸酯、ω-羧基聚己內(nèi)酯單丙烯酸酯。市售品例如可列舉:亞羅尼斯(aronix)(注冊商標(biāo))m-101、亞羅尼斯(aronix)m-111、亞羅尼斯(aronix)m-114、亞羅尼斯(aronix)m-5300(以上,東亞合成公司);卡亞拉德(kayarad)(注冊商標(biāo))tc-110s、卡亞拉德(kayarad)tc-120s(以上,日本化藥公司);畢斯寇特(viscoat)158、畢斯寇特(viscoat)2311(以上,大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)公司)。所述二官能(甲基)丙烯酸酯例如可列舉:乙二醇二丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、丙二醇二甲基丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙烯酸酯、1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯。市售品例如可列舉:亞羅尼斯(aronix)(注冊商標(biāo))m-210、亞羅尼斯(aronix)m-240、亞羅尼斯(aronix)m-6200(以上,東亞合成公司);卡亞拉德(kayarad)(注冊商標(biāo))hdda、卡亞拉德(kayarad)hx-220、卡亞拉德(kayarad)r-604(以上,日本化藥公司);畢斯寇特(viscoat)260、畢斯寇特(viscoat)312、畢斯寇特(viscoat)335hp(以上,大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)公司);萊特丙烯酸酯(lightacrylate)1,9-nda(共榮社化學(xué)公司)。所述三官能以上的(甲基)丙烯酸酯例如可列舉:三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯與二季戊四醇六丙烯酸酯的混合物、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、環(huán)氧乙烷改性二季戊四醇六丙烯酸酯、三(2-丙烯酰氧基乙基)磷酸酯、三(2-甲基丙烯酰氧基乙基)磷酸酯、丁二酸改性季戊四醇三丙烯酸酯、丁二酸改性二季戊四醇五丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)異氰脲酸酯,除此以外可列舉:使具有直鏈亞烷基及脂環(huán)式結(jié)構(gòu)且具有2個以上的異氰酸酯基的化合物,與分子內(nèi)具有1個以上的羥基且具有3個、4個或5個(甲基)丙烯?;趸幕衔镞M(jìn)行反應(yīng)而獲得的多官能丙烯酸氨基甲酸酯系化合物。市售品例如可列舉:亞羅尼斯(aronix)(注冊商標(biāo))m-309、亞羅尼斯(aronix)m-315、亞羅尼斯(aronix)m-400、亞羅尼斯(aronix)m-405、亞羅尼斯(aronix)m-450、亞羅尼斯(aronix)m-7100、亞羅尼斯(aronix)m-8030、亞羅尼斯(aronix)m-8060、亞羅尼斯(aronix)to-1450(以上,東亞合成公司);卡亞拉德(kayarad)(注冊商標(biāo))tmpta、卡亞拉德(kayarad)dpha、卡亞拉德(kayarad)dpca-20、卡亞拉德(kayarad)dpca-30、卡亞拉德(kayarad)dpca-60、卡亞拉德(kayarad)dpca-120、卡亞拉德(kayarad)dpea-12(以上,日本化藥公司);畢斯寇特(viscoat)295、畢斯寇特(viscoat)300、畢斯寇特(viscoat)360、畢斯寇特(viscoat)gpt、畢斯寇特(viscoat)3pa、畢斯寇特(viscoat)400(以上,大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)公司);含有多官能丙烯酸氨基甲酸酯系化合物的市售品可列舉:紐佛帝爾(newfrontier)(注冊商標(biāo))r-1150(第一工業(yè)制藥公司)、卡亞拉德(kayarad)(注冊商標(biāo))dpha-40h(日本化藥公司)等。這些[f]聚合性化合物中,優(yōu)選為:ω-羧基聚己內(nèi)酯單丙烯酸酯、1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯與二季戊四醇五丙烯酸酯的混合物、環(huán)氧乙烷改性二季戊四醇六丙烯酸酯、丁二酸改性季戊四醇三丙烯酸酯、丁二酸改性二季戊四醇五丙烯酸酯、含有多官能丙烯酸氨基甲酸酯系化合物的市售品等。其中,優(yōu)選為三官能以上的(甲基)丙烯酸酯,特別優(yōu)選為二季戊四醇六丙烯酸酯與二季戊四醇五丙烯酸酯的混合物。[f]聚合性化合物可單獨使用一種,也可使用兩種以上。相對于[a]聚合體100質(zhì)量份,[f]聚合性化合物的使用量優(yōu)選為1質(zhì)量份~300質(zhì)量份,更優(yōu)選為3質(zhì)量份~200質(zhì)量份,尤其優(yōu)選為4質(zhì)量份~100質(zhì)量份。通過將[f]聚合性化合物的使用量設(shè)為所述范圍內(nèi),可提高由樹脂組合物所獲得的涂膜的高度,使耐熱性更良好。<[g]感放射線性聚合引發(fā)劑>[g]感放射線性聚合引發(fā)劑是受到放射線的照射而促進(jìn)[f]聚合性化合物的聚合的化合物。因此,在樹脂組合物含有[f]聚合性化合物的情況下,優(yōu)選為使用[g]感放射線性聚合引發(fā)劑。[g]感放射線性聚合引發(fā)劑可列舉:o-?;炕衔铩⒈揭彝衔?、聯(lián)咪唑化合物等。所述o-?;炕衔锏木唧w例可列舉:乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9h-咔唑-3-基]-1-(o-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-苯甲?;?9.h.-咔唑-3-基]-辛烷-1-酮肟-o-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9.h.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-o-苯甲酸酯、1-[9-正丁基-6-(2-乙基苯甲?;?-9.h.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-o-苯甲酸酯、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基苯甲?;?-9.h.-咔唑-3-基]-1-(o-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基苯甲?;?-9.h.-咔唑-3-基]-1-(o-乙?;?、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基苯甲酰基)-9.h.-咔唑-3-基]-1-(o-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜環(huán)戊基)甲氧基苯甲?;鶀-9.h.-咔唑-3-基]-1-(o-乙?;?、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基甲氧基苯甲?;?-9.h.-咔唑-3-基]-1-(o-乙酰基肟)。這些o-?;炕衔锟蓡为毷褂没蛘呤褂脙煞N以上。這些化合物中,優(yōu)選的o-?;炕衔锟闪信e:乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9h-咔唑-3-基]-1-(o-乙?;?、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基甲氧基苯甲?;?-9.h.-咔唑-3-基]-1-(o-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜環(huán)戊基)甲氧基苯甲?;鶀-9.h.-咔唑-3-基]-1-(o-乙酰基肟)。所述苯乙酮化合物例如可列舉:α-氨基酮化合物、α-羥基酮化合物。所述α-氨基酮化合物的具體例可列舉:2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-1-酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基芐基)-1-(4-嗎啉-4-基-苯基)-丁烷-1-酮、2-甲基-1-(4-甲基硫苯基)-2-嗎啉基丙烷-1-酮。所述α-羥基酮化合物的具體例可列舉:1-苯基-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、4-(2-羥基乙氧基)苯基-(2-羥基-2-丙基)酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮。以上的苯乙酮化合物可單獨使用或者使用兩種以上。這些苯乙酮化合物中優(yōu)選為α-氨基酮化合物,特別優(yōu)選為2-二甲基氨基-2-(4-甲基芐基)-1-(4-嗎啉-4-基-苯基)-丁烷-1-酮、2-甲基-1-(4-甲基硫苯基)-2-嗎啉基丙烷-1-酮。所述聯(lián)咪唑化合物的具體例可列舉:2,2′-雙(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2′-聯(lián)咪唑、2,2′-雙(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基-1,2′-聯(lián)咪唑、2,2′-雙(2,4-二氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基-1,2′-聯(lián)咪唑、2,2′-雙(2,4,6-三氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基-1,2′-聯(lián)咪唑。這些聯(lián)咪唑化合物可單獨使用或者使用兩種以上。這些聯(lián)咪唑化合物中,優(yōu)選為:2,2′-雙(2-氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基-1,2′-聯(lián)咪唑、2,2′-雙(2,4-二氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基-1,2′-聯(lián)咪唑、2,2′-雙(2,4,6-三氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基-1,2′-聯(lián)咪唑,特別優(yōu)選為2,2′-雙(2,4-二氯苯基)-4,4′,5,5′-四苯基-1,2′-聯(lián)咪唑。在所述樹脂組合物中,使用聯(lián)咪唑化合物作為[g]感放射線性聚合引發(fā)劑的情況下,為了使其增感,可添加具有二烷基氨基的脂肪族或者芳香族化合物(以下稱為“氨基系增感劑”)。如上所述的氨基系增感劑例如可列舉:4,4′-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4′-雙(二乙基氨基)二苯甲酮。這些氨基系增感劑中,特別優(yōu)選為4,4′-雙(二乙基氨基)二苯甲酮。這些氨基系增感劑可單獨使用或者使用兩種以上。進(jìn)而,在將聯(lián)咪唑化合物與氨基系增感劑并用的情況下,可添加硫醇化合物作為氫自由基供給劑。聯(lián)咪唑化合物利用氨基系增感劑而增感、開裂,產(chǎn)生咪唑自由基,但在該狀態(tài)下存在未表現(xiàn)出高的聚合引發(fā)能力的情況。但是,在聯(lián)咪唑化合物與氨基系增感劑共存的體系中,通過添加硫醇化合物,而由硫醇化合物對咪唑自由基供給氫自由基。其結(jié)果為,咪唑自由基轉(zhuǎn)變?yōu)橹行缘倪溥?,并且產(chǎn)生聚合引發(fā)能力高的硫自由基的成分。因此,在對所述樹脂組合物添加聯(lián)咪唑化合物、氨基系增感劑及硫醇化合物的情況下,即便是低放射線照射量,也可形成硬度高的膜。如上所述的硫醇化合物的具體例可列舉:2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并噁唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基-5-甲氧基苯并噻唑等芳香族硫醇化合物;3-巰基丙酸、3-巰基丙酸甲酯等脂肪族單硫醇化合物;季戊四醇四(巰基乙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丙烯酸酯)等二官能以上的脂肪族硫醇化合物。這些硫醇化合物可單獨使用或者使用兩種以上。這些硫醇化合物中,特別優(yōu)選為2-巰基苯并噻唑。在將聯(lián)咪唑化合物與氨基系增感劑并用的情況下,相對于聯(lián)咪唑化合物100質(zhì)量份,氨基系增感劑的使用量優(yōu)選為0.1質(zhì)量份~50質(zhì)量份,更優(yōu)選為1質(zhì)量份~20質(zhì)量份。通過將氨基系增感劑的使用量設(shè)為所述范圍內(nèi),可提高曝光時的反應(yīng)性。另外,在將聯(lián)咪唑化合物、氨基系增感劑及硫醇化合物并用的情況下,相對于聯(lián)咪唑化合物100質(zhì)量份,硫醇化合物的使用量優(yōu)選為0.1質(zhì)量份~50質(zhì)量份,更優(yōu)選為1質(zhì)量份~20質(zhì)量份。通過將硫醇化合物的使用量設(shè)為所述范圍內(nèi),可進(jìn)一步提高曝光時的反應(yīng)性。在樹脂組合物含有[g]感放射線性聚合引發(fā)劑的情況下,優(yōu)選為含有選自由o-?;炕衔锛氨揭彝衔锼M成的群組中的至少一種,也可更含有聯(lián)咪唑化合物。[g]感放射線性聚合引發(fā)劑可單獨使用一種,也可使用兩種以上。相對于[a]聚合體100質(zhì)量份,[g]感放射線性聚合引發(fā)劑的使用量優(yōu)選為0.05質(zhì)量份~50質(zhì)量份,更優(yōu)選為0.1質(zhì)量份~20質(zhì)量份。通過將[g]感放射線性聚合引發(fā)劑的使用量設(shè)為所述范圍內(nèi),即便是低曝光量,也可以高的放射線感度來進(jìn)行涂膜的硬化。<其他的任意成分>只要不損及本發(fā)明的效果,所述樹脂組合物可更含有其他的任意成分。其他的任意成分可列舉:表面活性劑、保存穩(wěn)定劑、粘接助劑、耐熱性提高劑等。其他的任意成分可單獨使用一種,也可使用兩種以上。[導(dǎo)電膜形成用組合物]所述導(dǎo)電膜形成用組合物并無特別限定,只要是可形成導(dǎo)電膜的組合物即可,優(yōu)選為具有流動性的液狀的墨水、膏。例如可列舉:導(dǎo)電膜形成墨水、導(dǎo)電膜形成膏、包含顏料或染料的著色性墨水、著色性膏、有機(jī)半導(dǎo)體溶液或氧化物半導(dǎo)體分散體、有機(jī)el發(fā)光體溶液或量子點(quantumdot),包含碳納米管(carbonnanotube)、石墨烯(graphene)、碳黑等納米碳的墨水。這些組合物中,優(yōu)選為導(dǎo)電膜形成墨水以及導(dǎo)電膜形成膏,具體而言,優(yōu)選為:分散有金屬粒子的墨水或膏、包含金屬鹽及還原劑的墨水或膏、分散有可通過還原環(huán)境下的加熱而金屬化的金屬氧化物粒子的墨水或膏、導(dǎo)電性高分子的分散體或溶液、分散有碳納米管或石墨烯等納米碳的墨水或膏,尤其就導(dǎo)電性與涂敷性的觀點而言,優(yōu)選為分散有金屬粒子的墨水或膏、包含金屬鹽及還原劑的墨水或膏。這些墨水或膏可利用各種的印刷法、涂布法、浸漬法等來形成涂膜,另外,該涂膜經(jīng)加熱而成為導(dǎo)電性的導(dǎo)通性膜(導(dǎo)電膜)。如上所述的墨水或膏理想為,粘度(溫度:20℃、剪切速度:10sec-1)在優(yōu)選為0.001pa·s~100pa·s、更優(yōu)選為0.001pa·s~1pa·s的范圍內(nèi)。形成導(dǎo)電膜時,就涂布性或操作性、保存容易性等方面而言,以前要求使用0.001pa·s~100pa·s、優(yōu)選為0.001pa·s~1pa·s的低粘度(溫度:20℃、剪切速度:10sec-1)的導(dǎo)電膜形成用組合物,但就導(dǎo)電膜形成用組合物的潤濕擴(kuò)展或滲透等方面而言,現(xiàn)有的導(dǎo)電膜的制造方法中,為了制造高精細(xì)的導(dǎo)電膜,無法使用如上所述的低粘度的組合物。另一方面,本發(fā)明中,由于在所述凹圖案上形成導(dǎo)電膜,故而即便使用所述低粘度的導(dǎo)電膜形成用組合物,也可抑制該組合物的潤濕擴(kuò)展或滲透,可制造高精細(xì)的導(dǎo)電膜。因此,就進(jìn)一步發(fā)揮本發(fā)明的效果的方面而言,優(yōu)選為使用所述低粘度的導(dǎo)電膜形成用組合物。(金屬鹽)就所述金屬鹽而言,該金屬鹽中所含的金屬離子由所述還原劑還原而成為金屬單體。而且,在所形成的導(dǎo)電膜中,發(fā)揮表現(xiàn)導(dǎo)電性的作用。例如,在金屬鹽為銅鹽的情況下,銅鹽中所含的銅離子由還原劑還原而成為銅單體,形成導(dǎo)電膜。所述金屬鹽優(yōu)選為銅鹽、銀鹽。所述金屬鹽可單獨使用一種,也可使用兩種以上。銅鹽只要是含有銅離子的化合物即可,并無特別限定,例如可列舉包含銅離子、與無機(jī)陰離子種及有機(jī)陰離子種中的至少一者的銅鹽。這些銅鹽中,就溶解度的觀點而言,優(yōu)選為使用選自由銅羧酸鹽、銅的氫氧化物、以及銅與乙?;苌锏腻e鹽所組成的群組中的一種或者兩種以上。作為所述銅羧酸鹽,例如可列舉以下的銅鹽來作為優(yōu)選化合物:丙二酸銅、丁二酸銅、順丁烯二酸銅等與二羧酸的銅鹽,苯甲酸銅、水楊酸銅等與芳香族羧酸的銅鹽,乙酸銅、三氟乙酸銅、丙酸銅、丁酸銅、異丁酸銅、2-甲基丁酸銅、2-乙基丁酸銅、戊酸銅、異戊酸銅、特戊酸銅、己酸銅、庚酸銅、辛酸銅、2-乙基己酸銅、壬酸銅、甲酸銅、羥基乙酸銅、乙醛酸銅、乳酸銅、乙二酸銅、酒石酸銅、蘋果酸銅、檸檬酸銅等與具有單羧基的有機(jī)酸的銅鹽。此外,甲酸銅可為無水合物,也可水合。甲酸銅的水合物可列舉四水合物。另外,作為所述銅與乙?;苌锏腻e鹽,例如可列舉以下錯鹽來作為優(yōu)選的化合物:乙?;徙~、1,1,1-三甲基乙酰基丙酮酸銅、1,1,1,5,5,5-六甲基乙?;徙~、1,1,1-三氟乙?;徙~、以及1,1,1,5,5,5-六氟乙?;徙~。這些化合物中,在考慮到對于還原劑或溶劑的溶解性或分散性、所形成的導(dǎo)電膜的電阻特性的情況下,優(yōu)選為:乙酸銅、丙酸銅、異丁酸銅、戊酸銅、異戊酸銅、甲酸銅、甲酸銅四水合物、乙醛酸銅等銅羧酸鹽。銀鹽若為銀的鹽,則并無特別限定。例如可列舉:硝酸銀、乙酸銀、氧化銀、乙?;y、苯甲酸銀、溴酸銀、溴化銀、碳酸銀、氯化銀、檸檬酸銀、氟化銀、碘酸銀、碘化銀、乳酸銀、亞硝酸銀、過氯酸銀、磷酸銀、硫酸銀、硫化銀、及三氟乙酸銀。作為所述金屬鹽,在所形成的導(dǎo)電膜中,就抑制金屬原子的遷移的觀點而言,優(yōu)選為使用銅鹽。銅鹽中,特別優(yōu)選為還原性優(yōu)異的甲酸銅。甲酸銅可為無水合物,也可為甲酸銅四水合物。相對于該組合物的總量,導(dǎo)電膜形成用組合物中的金屬鹽的含量優(yōu)選為0.01質(zhì)量%~50質(zhì)量%的范圍,更優(yōu)選為0.1質(zhì)量%~30質(zhì)量%的范圍。通過將金屬鹽的含量設(shè)為所述范圍,可形成具有穩(wěn)定且優(yōu)異的導(dǎo)電性的導(dǎo)電膜。就獲得低電阻值的導(dǎo)電膜的觀點而言,金屬鹽的含量優(yōu)選為0.01質(zhì)量%以上。另外,就獲得化學(xué)性穩(wěn)定的導(dǎo)電膜形成用組合物的觀點而言,金屬鹽的含量優(yōu)選為50質(zhì)量%以下。(還原劑)出于將金屬鹽中所含的金屬離子進(jìn)行還原而形成金屬單體的目的,所述導(dǎo)電膜形成用組合物優(yōu)選為與所述金屬鹽一起含有還原劑。還原劑若對于所使用的金屬鹽中所含的金屬離子具有還原性,則并無特別限定。所述還原劑例如可列舉:具有選自由硫醇基、腈基、氨基、羥基及羥基羰基所組成的群組中的一種或兩種以上的官能基的單分子化合物,或在分子結(jié)構(gòu)內(nèi)具有選自由氮原子、氧原子及硫原子所組成的群組中的一種或兩種以上的雜原子的聚合物。所述單分子化合物例如可列舉:烷烴硫醇類、胺類、肼類、單醇類、二醇類、羥基胺類、α-羥基酮類及羧酸類。所述聚合物例如可列舉:聚乙烯基吡咯烷酮、聚乙烯亞胺、聚苯胺、聚吡咯、聚噻吩、聚丙烯酰胺、聚丙烯酸、羧基甲基纖維素、聚乙烯醇及聚環(huán)氧乙烷。這些化合物中,若考慮到金屬鹽的溶解性等,優(yōu)選為選自由烷烴硫醇類及胺類所組成的群組中的一種以上。所述烷烴硫醇類例如可列舉:乙硫醇、正丙硫醇、異丙硫醇、正丁硫醇、異丁硫醇、叔丁硫醇、正戊硫醇、正己硫醇、正庚硫醇、正辛硫醇、2-乙基己硫醇。另外,所述胺類可列舉胺化合物,例如可列舉:3-(2-乙基己氧基)丙基胺、乙基胺、正丙基胺、異丙基胺、正丁基胺、異丁基胺、叔丁基胺、正戊基胺、正己基胺、環(huán)己基胺、正庚基胺、正辛基胺、2-乙基己基胺、2-乙基己基丙基胺、3-乙氧基丙基胺、正壬基胺、正癸基胺、正十一烷基胺、正十二烷基胺、正十三烷基胺、正十四烷基胺、正十五烷基胺、正十六烷基胺、芐基胺、氨基乙醛二乙基縮醛等單胺化合物,乙二胺、n-甲基乙二胺、n,n′-二甲基乙二胺、n,n,n′,n′-四甲基乙二胺、n-乙基乙二胺、n,n′-二乙基乙二胺、1,3-丙二胺、n,n′-二甲基-1,3-丙二胺、1,4-丁二胺、n,n′-二甲基-1,4-丁二胺、1,5-戊二胺、n,n′-二甲基-1,5-戊二胺、1,6-己二胺、n,n′-二甲基-1,6-己二胺、異佛爾酮二胺等二胺化合物,二亞乙基三胺、n,n,n′,n″n″-五甲基二亞乙基三胺、n-(氨基乙基)哌嗪、n-(氨基丙基)哌嗪等三胺化合物。所述肼類例如可列舉:1,1-二-正丁基肼、1,1-二-叔丁基肼、1,1-二-正戊基肼、1,1-二-正己基肼、1,1-二環(huán)己基肼、1,1-二-正庚基肼、1,1-二-正辛基肼、1,1-二-(2-乙基己基)肼、1,1-二苯基肼、1,1-二芐基肼、1,2-二-正丁基肼、1,2-二-叔丁基肼、1,2-二-正戊基肼、1,2-二-正己基肼、1,2-二環(huán)己基肼、1,2-二-正庚基肼、1,2-二-正辛基肼、1,2-二-(2-乙基己基)肼、1,2-二苯基肼以及1,2-二芐基肼。所述單醇類例如可列舉:甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、異丁醇、仲丁醇、戊醇、己醇、庚醇、辛醇、環(huán)己醇、芐基醇、萜品醇。所述二醇類例如可列舉:乙二醇、丙二醇、1,2-丁二醇、1,2-戊二醇、1,2-己二醇、2,3-丁二醇、2,3-戊二醇、2,3-己二醇、2,3-庚二醇、3,4-己二醇、3,4-庚二醇、3,4-辛二醇、3,4-壬二醇、3,4-癸二醇、4,5-辛二醇、4,5-壬二醇、4,5-癸二醇、5,6-癸二醇、3-n,n-二甲基氨基-1,2-丙二醇、3-n,n-二乙基氨基-1,2-丙二醇、3-n,n-二-正丙基氨基-1,2-丙二醇、3-n,n-二-異丙基氨基-1,2-丙二醇、3-n,n-二-正丁基氨基-1,2-丙二醇、3-n,n-二-異丁基氨基-1,2-丙二醇以及3-n,n-二-叔丁基氨基-1,2-丙二醇。所述羥基胺類例如可列舉:n,n-二乙基羥基胺、n,n-二-正丙基羥基胺、n,n-二-正丁基羥基胺、n,n-二-正戊基羥基胺以及n,n-二-正己基羥基胺。所述α-羥基酮類例如可列舉:羥基丙酮、1-羥基-2-丁酮、3-羥基-2-丁酮、1-羥基-2-戊酮、3-羥基-2-戊酮、2-羥基-3-戊酮、3-羥基-2-己酮、2-羥基-3-己酮、4-羥基-3-己酮、4-羥基-3-庚酮、3-羥基-4-庚酮以及5-羥基-4-辛酮。所述羧酸類若為對金屬鹽具有還原性者,則并無特別限定,例如可列舉:甲酸、羥基乙酸、乙醛酸、乳酸、乙二酸、酒石酸、蘋果酸以及檸檬酸。以上的還原劑可根據(jù)所述金屬鹽的種類,來適當(dāng)選擇或者組合使用一種或者兩種以上的可將其還原者。例如,在使用甲酸銅作為金屬鹽的情況下,還原劑優(yōu)選為胺化合物,更優(yōu)選為2-乙基己基丙基胺以及3-乙氧基丙基胺。相對于該組合物的總量,所述導(dǎo)電膜形成用組合物中的還原劑的含量優(yōu)選為1質(zhì)量%~99質(zhì)量%的范圍,更優(yōu)選為10質(zhì)量%~90質(zhì)量%的范圍。通過將還原劑的含量設(shè)為1質(zhì)量%~99質(zhì)量%的范圍,可形成具有優(yōu)異的導(dǎo)電性的導(dǎo)電膜。另外,進(jìn)而通過設(shè)為10質(zhì)量%~90質(zhì)量%的范圍,可形成具有低的電阻值、且與電極的密合性優(yōu)異的導(dǎo)電膜。(金屬微粒子)出于提高金屬鹽的還原析出速度的目的、或者調(diào)節(jié)該組合物的粘度的目的,所述導(dǎo)電膜形成用組合物可含有金屬微粒子。金屬微粒子并無特別限定,但就該粒子的導(dǎo)電性與穩(wěn)定性的觀點而言,例如優(yōu)選為含有選自由金、銀、銅、鉑及鈀所組成的群組中的一種或兩種以上的金屬種的粒子。這些金屬種可為單體,也可為與其他金屬的合金。在這些金屬種為單體的情況下,優(yōu)選的金屬微粒子可列舉選自由金微粒子、銀微粒子、銅微粒子、鉑微粒子及鈀微粒子所組成的群組中的至少一種或兩種以上的組合。所述金屬微粒子中,就成本方面、獲取的容易度、以及形成導(dǎo)電膜時的催化劑能力而言,優(yōu)選為含有選自由銀、銅及鈀所組成的群組中的一種或兩種以上的金屬種的金屬微粒子。也可使用這些以外的金屬微粒子,例如在對金屬鹽使用銅鹽的情況下,存在如下顧慮:通過銅離子,金屬微粒子受到氧化,或催化劑能力下降,自銅鹽向金屬銅的還原析出速度下降;因此更優(yōu)選為使用所述金屬微粒子。所述金屬微粒子的平均粒徑優(yōu)選為0.05μm~5μm的范圍。就防止金屬表面的活性提高而產(chǎn)生氧化反應(yīng)的觀點、以及防止金屬微粒子彼此的凝聚的觀點而言,金屬微粒子的粒徑優(yōu)選為0.05μm以上。另外,就在將導(dǎo)電膜形成用組合物長期保存時防止金屬微粒子的沉降的觀點而言,金屬微粒子的平均粒徑優(yōu)選為5μm以下。所述平均粒徑的測定方法如以下所述。可通過如下方式來求出:在使用透射型電子顯微鏡(transmissionelectronmicroscopy,tem)、場發(fā)射型透射電子顯微鏡(fieldemission-transmissionelectronmicroscopy,fe-tem)、場發(fā)射型掃描電子顯微鏡(fieldemission-scanningelectronmicroscope,fe-sem)等顯微鏡來觀測的視野中,選擇任意的3個部位,以最適合粒徑測定的倍率進(jìn)行拍攝。根據(jù)所獲得的各個照片,任意地選擇100個粒子,以tem、fe-tem、fe-sem等來測定粒子的長軸,除以測定倍率而算出粒徑,將這些值進(jìn)行算術(shù)平均。另外,關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)偏差,可在所述觀察時利用各個金屬微粒子的粒徑與數(shù)量來求出。所述金屬微粒子可為市售者,也可為利用公知的方法來合成者,并無特別限定。公知的合成方法例如可列舉:濺射法或氣體中蒸鍍法等氣相法(干式法);將金屬化合物溶液在表面保護(hù)劑的存在下進(jìn)行還原而使金屬微粒子析出等的液相法(濕式法)。金屬微粒子中的金屬純度并無特別限定,但若為低純度,則存在對所獲得的導(dǎo)電膜的導(dǎo)電性造成不良影響的顧慮,因此優(yōu)選為95%以上,更優(yōu)選為99%以上。相對于該組合物的總量,所述導(dǎo)電膜形成用組合物中的金屬微粒子的含量優(yōu)選為0質(zhì)量%~60質(zhì)量%的范圍,更優(yōu)選為1質(zhì)量%~40質(zhì)量%,特別優(yōu)選為1質(zhì)量%~20質(zhì)量%的范圍。(溶劑)就調(diào)節(jié)該組合物的粘度來提高導(dǎo)電膜的生產(chǎn)性的觀點、或獲得低電阻且均勻的導(dǎo)電膜的觀點而言,所述導(dǎo)電膜形成用組合物優(yōu)選為含有溶劑。溶劑是可使導(dǎo)電膜形成用組合物中的各成分溶解或者分散者,可列舉不參與金屬鹽的還原反應(yīng)的有機(jī)溶媒。具體而言,可列舉:選自由醚類、酯類、脂肪族烴類及芳香族烴類所組成的群組中的一種或者具有相溶性的兩種以上的混合物。醚類、脂肪族烴類及芳香族烴類可列舉作為所述[b]溶劑而例示的化合物等。酯類例如可列舉:甲酸甲酯、甲酸乙酯、甲酸丁酯、γ-丁內(nèi)酯,除此以外可列舉作為[b]溶劑而例示的化合物。這些有機(jī)溶劑中,尤其就粘度的調(diào)整的容易度的觀點而言,優(yōu)選為醚類,特別優(yōu)選為己基甲醚、二乙二醇二甲醚等。相對于該組合物的總量,導(dǎo)電膜形成用組合物中所含有的溶劑的含量優(yōu)選為0質(zhì)量%~95質(zhì)量%的范圍,更優(yōu)選為1質(zhì)量%~70質(zhì)量%的范圍,特別優(yōu)選為10質(zhì)量%~50質(zhì)量%的范圍。導(dǎo)電膜形成用組合物可通過將所述各成分進(jìn)行混合來制造。該混合方法并無特別限定,例如可列舉:利用攪拌葉片的攪拌、利用攪拌器及攪拌子的攪拌、利用沸蕩器的攪拌、利用超聲波(均質(zhì)機(jī))的攪拌。作為攪拌條件,例如在利用攪拌葉片的攪拌的情況下,攪拌葉片的旋轉(zhuǎn)速度通常為1rpm~4000rpm的范圍,優(yōu)選為100rpm~2000rpm的范圍。實施例以下,基于實施例來對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明,但本發(fā)明并不限定于該實施例來解釋。[gpc分析]以下的合成例中獲得的聚合體的聚苯乙烯換算的重量平均分子量(mw)及分子量分布(mw/mn)是利用以下的條件來測定?!y定方法:凝膠滲透色譜法(gpc)法·標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì):聚苯乙烯換算·裝置:東曹(股)制造,商品名:hlc-8220·管柱:將東曹(股)制造的保護(hù)管柱(guardcolumn)hxl-h、tskgelg7000hxl、2根tskgelgmhxl、tskgelg2000hxl依次連結(jié)者·溶媒:四氫呋喃·樣品濃度:0.7質(zhì)量%·注入量:70μl·流速:1ml/min[1h-nmr的測定]1h-nmr是使用cdcl3作為溶媒,且使用核磁共振裝置(布魯克(bruker)制造,阿旺斯(avance)iiiav400n),在溫度為25℃的條件下進(jìn)行測定。<聚合體的合成>[合成例1]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,加入8質(zhì)量份的2,2′-偶氮雙(2-甲基丙烯酸)二甲酯、2質(zhì)量份的2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯、以及200質(zhì)量份的二乙二醇二甲醚。繼而加入42質(zhì)量份的甲基丙烯酸2-羥基乙酯以及58質(zhì)量份的甲基丙烯酸芐酯,在氮氣環(huán)境下一邊緩緩攪拌,一邊使溶液的溫度上升至80℃,將該溫度保持4小時來進(jìn)行聚合,借此獲得包含作為共聚物的聚合體(a-1)的溶液(固體成分濃度=34.6質(zhì)量%、mw=26000、mw/mn=2.2)。此外,固體成分濃度是指共聚物質(zhì)量在共聚物溶液的總質(zhì)量中所占的比例。繼而,在10質(zhì)量份的所獲得的包含聚合體(a-1)的溶液中,添加13質(zhì)量份的二乙二醇二甲醚、以及4.8質(zhì)量份的3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-十三氟-1-乙烯基氧基辛烷,充分?jǐn)嚢韬?,添?.27質(zhì)量份的三氟乙酸,在氮氣環(huán)境下,在80℃下反應(yīng)9小時。繼而將反應(yīng)溶液冷卻至室溫,添加0.3質(zhì)量份的吡啶,將反應(yīng)淬滅。通過將所獲得的反應(yīng)溶液滴加于大量過剩的甲醇中而進(jìn)行再沉淀純化,繼而使沉淀物溶解于10質(zhì)量份的二乙二醇二甲醚中后,通過滴加于大量過剩的己烷中而進(jìn)行再沉淀純化,使沉淀物干燥,借此獲得作為白色固形狀的共聚物的6.8質(zhì)量份的[a]聚合體(p-1)。對于所獲得的[a]聚合體(p-1),使用1h-nmr進(jìn)行分析,確認(rèn)縮醛化正在進(jìn)行(化學(xué)位移:4.80ppm,縮醛基c-h)。[合成例2]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,加入8質(zhì)量份的2,2′-偶氮雙(2-甲基丙烯酸)二甲酯、2質(zhì)量份的季戊四醇四(3-巰基丙烯酸酯)、以及200質(zhì)量份的丙二醇單甲醚。繼而加入75質(zhì)量份的甲基丙烯酸2-羥基乙酯以及25質(zhì)量份的甲基丙烯酸芐酯,進(jìn)行氮氣置換后,一邊緩緩攪拌,一邊使溶液的溫度上升至80℃,將該溫度保持4小時來進(jìn)行聚合,借此獲得含有作為共聚物的聚合體(a-2)的溶液。將所獲得的溶液滴加于大量過剩的己烷中,使沉淀物干燥,借此獲得白色固體狀的聚合體(a-2)(mw=28000、mw/mn=2.3)。繼而,使5質(zhì)量份的聚合體(a-2)溶解于42質(zhì)量份的四氫呋喃中,添加12.4質(zhì)量份的3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-十三氟-1-乙烯基氧基辛烷,充分?jǐn)嚢韬?,添?.66質(zhì)量份的三氟乙酸,在氮氣環(huán)境下,在80℃下反應(yīng)9小時。繼而將反應(yīng)溶液冷卻至室溫,添加0.7質(zhì)量份的吡啶,將反應(yīng)淬滅。通過將所獲得的反應(yīng)溶液滴加于過剩量的甲醇中,而進(jìn)行再沉淀純化,繼而使沉淀物再次溶解于15質(zhì)量份的二乙二醇二甲醚中后,通過滴加于己烷中而進(jìn)行再沉淀純化,使沉淀物干燥,借此獲得作為白色固形狀的共聚物的11.0質(zhì)量份的[a]聚合體(p-2)。對于所獲得的[a]聚合體(p-2),使用1h-nmr來進(jìn)行分析,確認(rèn)縮醛化正在進(jìn)行(化學(xué)位移:4.80ppm、縮醛基c-h)。[合成例3]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,加入8質(zhì)量份的2,2′-偶氮雙(2-甲基丙烯酸)二甲酯、2質(zhì)量份的2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯、以及200質(zhì)量份的丙二醇單甲醚。繼而加入30質(zhì)量份的甲基丙烯酸以及70質(zhì)量份的甲基丙烯酸芐酯,進(jìn)行氮氣置換后,一邊緩緩攪拌,一邊使溶液的溫度上升至80℃,將該溫度保持4小時來進(jìn)行聚合,借此獲得含有作為共聚物的聚合體(a-3)的溶液。將所獲得的溶液滴加于大量過剩的己烷中,使沉淀物干燥,借此獲得白色固體狀的聚合體(a-3)(mw=24000、mw/mn=2.2)。繼而,將5質(zhì)量份的聚合體(a-3)溶解于34質(zhì)量份的二乙二醇二甲醚中,添加9.4質(zhì)量份的3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-十七氟-1-乙烯基氧基癸烷,充分?jǐn)嚢韬螅砑?.09質(zhì)量份的對甲苯磺酸吡啶鎓,在氮氣環(huán)境下,在80℃下反應(yīng)5小時。繼而將反應(yīng)溶液冷卻至室溫,添加0.04質(zhì)量份的吡啶,將反應(yīng)淬滅。通過將所獲得的反應(yīng)溶液滴加于過剩量的甲醇中,而進(jìn)行再沉淀純化,繼而使沉淀物再次溶解于15質(zhì)量份的二乙二醇二甲醚中后,通過滴加于己烷中而進(jìn)行再沉淀純化,使沉淀物干燥,借此獲得作為白色固形狀的共聚物的10.9質(zhì)量份的[a]聚合體(p-3)。對于所獲得的[a]聚合體(p-3),使用1h-nmr來進(jìn)行分析,確認(rèn)縮醛化正在進(jìn)行(化學(xué)位移:5.74ppm、縮醛基c-h)。[合成例4]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,加入8質(zhì)量份的2,2′-偶氮雙(2-甲基丙烯酸)二甲酯、2質(zhì)量份的2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯、以及200質(zhì)量份的丙二醇單甲醚。繼而加入60質(zhì)量份的2-甲基丙烯酰氧基乙基丁二酸以及40質(zhì)量份的甲基丙烯酸芐酯,進(jìn)行氮氣置換后,一邊緩緩攪拌,一邊使溶液的溫度上升至80℃,將該溫度保持4小時來進(jìn)行聚合,借此獲得含有作為共聚物的聚合體(a-4)的溶液。將所獲得的溶液滴加于大量過剩的己烷中,使沉淀物干燥,借此獲得白色固體狀的聚合體(a-4)(mw=23400、mw/mn=2.2)。繼而,將5質(zhì)量份的聚合體(a-4)溶解于20質(zhì)量份的四氫呋喃中,添加3.5質(zhì)量份的3,3,4,4,5,5,6,6,6-九氟-1-乙烯基氧基己烷,充分?jǐn)嚢韬?,添?.06質(zhì)量份的對甲苯磺酸吡啶鎓,在氮氣環(huán)境下,在60℃下反應(yīng)5小時。繼而將反應(yīng)溶液冷卻至室溫,添加0.03質(zhì)量份的吡啶,將反應(yīng)淬滅。通過將所獲得的反應(yīng)溶液滴加于過剩量的甲醇中,而進(jìn)行再沉淀純化,繼而使沉淀物再次溶解于15質(zhì)量份的四氫呋喃中后,通過滴加于己烷中而進(jìn)行再沉淀純化,使沉淀物干燥,借此獲得作為白色固形狀的共聚物的6.0質(zhì)量份的[a]聚合體(p-4)。對于所獲得的[a]聚合體(p-4),使用1h-nmr來進(jìn)行分析,確認(rèn)縮醛化正在進(jìn)行(化學(xué)位移:5.74ppm、縮醛基c-h)。[合成例5]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,添加5質(zhì)量份的聚乙烯基苯酚(馬魯卡林卡(marukalyncur)s-4p,丸善石油化學(xué)(股)),以50質(zhì)量份的四氫呋喃進(jìn)行溶解,添加16質(zhì)量份的3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-十三氟-1-乙烯基氧基辛烷,充分?jǐn)嚢韬?,添?.50質(zhì)量份的三氟乙酸,在氮氣環(huán)境下,在60℃下反應(yīng)9小時。繼而將反應(yīng)溶液冷卻至室溫,添加0.5質(zhì)量份的吡啶,將反應(yīng)淬滅。通過將所獲得的反應(yīng)溶液滴加于過剩量的甲醇中,而進(jìn)行再沉淀純化,繼而使沉淀物再次溶解于30質(zhì)量份的四氫呋喃中后,通過滴加于己烷中而進(jìn)行再沉淀純化,使沉淀物干燥,借此獲得作為白色固形狀的共聚物的[a]聚合體(p-5)。對于所獲得的[a]聚合體(p-5),使用1h-nmr來進(jìn)行分析,確認(rèn)縮醛化正在進(jìn)行(化學(xué)位移:5.48ppm、縮醛基c-h)。[合成例6]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,添加5質(zhì)量份的下述式所表示的苯酚酚醛清漆脂p-200(荒川化學(xué)工業(yè)(股)制造),以60質(zhì)量份的四氫呋喃進(jìn)行溶解,添加20質(zhì)量份的3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-十七氟-1-乙烯基氧基癸烷,充分?jǐn)嚢韬?,添?.50質(zhì)量份的三氟乙酸,在氮氣環(huán)境下,在60℃下反應(yīng)9小時。繼而將反應(yīng)溶液冷卻至室溫,添加0.5質(zhì)量份的吡啶,將反應(yīng)淬滅。通過將所獲得的反應(yīng)溶液滴加于過剩量的甲醇中,而進(jìn)行再沉淀純化,繼而使沉淀物再次溶解于30質(zhì)量份的四氫呋喃中后,通過滴加于己烷中而進(jìn)行再沉淀純化,使沉淀物干燥,借此獲得作為白色固形狀的共聚物的12.1質(zhì)量份的[a]聚合體(p-6)。對于所獲得的[a]聚合體(p-6),使用1h-nmr來進(jìn)行分析,確認(rèn)縮醛化正在進(jìn)行(化學(xué)位移:5.49ppm、縮醛基c-h)。[化13][合成例7]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,加入25質(zhì)量份的甲基丙烯酸2-羥基乙酯、101質(zhì)量份的3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-十三氟-1-乙烯基氧基辛烷、2.0質(zhì)量份的三氟乙酸(tfa)以及200質(zhì)量份的四氫呋喃(thf),在氮氣環(huán)境下,在60℃下保持9小時而進(jìn)行反應(yīng)。冷卻后,在反應(yīng)液中添加2.1質(zhì)量份的吡啶,進(jìn)行淬滅。將所獲得的反應(yīng)液進(jìn)行水洗、分液,利用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器來去除溶劑,通過減壓蒸餾而去除未反應(yīng)成分,借此獲得縮醛化產(chǎn)物(m-1)。[化14]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,加入8質(zhì)量份的2,2′-偶氮雙(2-甲基丙烯酸)二甲酯、2質(zhì)量份的2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯、以及200質(zhì)量份的丙二醇單甲醚。繼而加入70質(zhì)量份的所述獲得的縮醛化產(chǎn)物(m-1)以及30質(zhì)量份的甲基丙烯酸芐酯,進(jìn)行氮氣置換后,一邊緩緩攪拌,一邊使溶液的溫度上升至80℃,將該溫度保持4小時來進(jìn)行聚合,借此獲得含有作為共聚物的[a]聚合體(p-7)的溶液(mw=22200、mw/mn=2.3、1h-nmr化學(xué)位移:4.80ppm、縮醛基c-h)。[合成例8]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,加入25質(zhì)量份的甲基丙烯酸羥基苯基酯、82質(zhì)量份的3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-十三氟-1-乙烯基氧基辛烷、1.6質(zhì)量份的三氟乙酸(tfa)以及200質(zhì)量份的四氫呋喃(thf),在氮氣環(huán)境下,在60℃下保持9小時而進(jìn)行反應(yīng)。冷卻后,在反應(yīng)液中添加1.7質(zhì)量份的吡啶,將反應(yīng)淬滅。將所獲得的反應(yīng)液進(jìn)行水洗、分液,以旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器來去除溶劑,通過減壓蒸餾而去除未反應(yīng)成分,借此獲得縮醛化產(chǎn)物(m-2)。[化15]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,加入8質(zhì)量份的2,2′-偶氮雙(2-甲基丙烯酸)二甲酯、2質(zhì)量份的2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯、以及200質(zhì)量份的丙二醇單甲醚。繼而,加入75質(zhì)量份的所述獲得的縮醛化產(chǎn)物(m-2)、25質(zhì)量份的甲基丙烯酸芐酯,進(jìn)行氮氣置換后,一邊緩緩攪拌,一邊使溶液的溫度上升至80℃,將該溫度保持4小時來進(jìn)行聚合,借此獲得含有作為共聚物的[a]聚合體(p-8)的溶液(mw=23200、mw/mn=2.2、1h-nmr化學(xué)位移:5.50ppm、縮醛基c-h)。[合成例9]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,加入25質(zhì)量份的甲基丙烯酸2-(2-乙烯氧基乙氧基)乙酯(veem,日本催化劑(股)制造)、45質(zhì)量份的3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-十三氟辛醇、1.6質(zhì)量份的對甲苯磺酸吡啶鎓(pptsa)以及200質(zhì)量份的四氫呋喃(thf),在氮氣環(huán)境下,在室溫下保持8小時而進(jìn)行反應(yīng)。反應(yīng)結(jié)束后,在反應(yīng)液中添加0.7質(zhì)量份的吡啶,將反應(yīng)淬滅。將所獲得的反應(yīng)液進(jìn)行水洗、分液,以旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器來去除溶劑,通過減壓蒸餾而去除未反應(yīng)成分,借此獲得縮醛化產(chǎn)物(m-3)[化16]在具備冷卻管及攪拌機(jī)的燒瓶中,加入8質(zhì)量份的2,2′-偶氮雙(2-甲基丙烯酸)二甲酯、2質(zhì)量份的2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯、以及200質(zhì)量份的丙二醇單甲醚。繼而,加入75質(zhì)量份的所述獲得的縮醛化產(chǎn)物(m-3)以及25質(zhì)量份的甲基丙烯酸芐酯,進(jìn)行氮氣置換后,一邊緩緩攪拌,一邊使溶液的溫度上升至80℃,將該溫度保持4小時來進(jìn)行聚合,借此獲得含有作為共聚物的[a]聚合體(p-9)的溶液(mw=24200、mw/mn=2.1、化學(xué)位移:4.80ppm、縮醛基c-h)。<樹脂組合物的制備>以下示出實施例及比較例中使用的各成分的詳情。<[c]酸產(chǎn)生劑>c-1:n-羥基萘二甲酰亞胺-三氟甲磺酸酯c-2:4,7-二-正丁氧基-1-萘基四氫噻吩鎓三氟甲磺酸鹽c-3:cgi725(巴斯夫(basf)公司制造)<[d]增感劑>d-1:2-異丙基噻噸酮d-2:2,4-二乙基噻噸-9-酮<[e]淬滅劑>e-1:2-苯基苯并咪唑e-2:4-(二甲基氨基)吡啶<[f]聚合性化合物>f-1:二季戊四醇六丙烯酸酯f-2:1,9-壬二醇二丙烯酸酯<[g]感放射線性聚合引發(fā)劑>g-1:2-甲基-1-(4-甲基硫苯基)-2-嗎啉基丙烷-1-酮(艷佳固(irgacure)(注冊商標(biāo))907,巴斯夫(basf)公司制造)g-2:2-二甲基氨基-2-(4-甲基芐基)-1-(4-嗎啉-4-基-苯基)-丁烷-1-酮(艷佳固(irgacure)(注冊商標(biāo))379,巴斯夫(basf)公司制造)g-3:乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9h-咔唑-3-基]-1-(o-乙?;?(艷佳固(irgacure)(注冊商標(biāo))oxe02,巴斯夫(basf)公司制造)[實施例1~9以及比較例1~2]將表1所示的種類、含量的各成分加以混合,以固體成分濃度成為10質(zhì)量%的方式,分別添加丙二醇單甲醚作為[b]溶劑后,利用孔徑為0.5μm的膜濾器(默克密理博(merckmillipore)公司制造)進(jìn)行過濾,借此制備各樹脂組合物。此外,表1中的“-”表示未使用相符的成分。<膜評價>使用實施例1~9以及比較例1~2中制備的各樹脂組合物來形成膜,實施以下的評價。將結(jié)果示于表2或表3中。[接觸角]在包含聚碳酸酯/aes(丙烯腈·乙烯-丙烯-二烯·苯乙烯)樹脂(cw50:特克諾聚合物(technopolymer)公司制造)的平板上,分別利用旋轉(zhuǎn)器來涂布實施例1~9或者比較例1~2中制備的樹脂組合物后,在90℃的潔凈烘箱上預(yù)烘烤5分鐘,借此形成0.5μm厚的涂膜。繼而,對于所獲得的涂膜,經(jīng)由石英掩模(接觸),使用高壓水銀燈(曝光機(jī):大日本科研公司制造的ma-1400),將曝光量設(shè)為500mj/cm2來進(jìn)行放射線照射。然后,使用潔凈烘箱,在100℃下烘烤10分鐘,借此形成涂膜。在使用實施例1~9中制備的樹脂組合物的情況下,獲得曝光部(凹部)成為親液部、曝光部分以外(凸部)成為撥液部的由親液部與撥液部來圖案化的膜(以下,有時稱為“親撥圖案化膜”)。在所形成的涂膜中,使用接觸角計(協(xié)和界面科學(xué)(股)制造的ca-x),測定曝光部的涂膜表面、未曝光部分的涂膜表面各自的水及十四烷的接觸角,來確認(rèn)親撥性能。此外,表2中,將曝光部表面的水的接觸角表示為“親液部水”,將未曝光部表面的水的接觸角表示為“撥液部水”。對于十四烷的接觸角也同樣表示。[凹圖案化性確認(rèn)]關(guān)于利用與所述[接觸角]相同的方法來獲得的膜,利用接觸式膜厚計(基恩斯(keyence)(股)制造:阿爾法臺階儀(alphastep)iq)來測定曝光部(凹部)與未曝光部(凸部)的膜厚。接著,算出未曝光部(撥液部)的膜厚與曝光部(親液部)的膜厚的差,根據(jù)下述式來算出的膜厚減少率(%),借此確認(rèn)凹圖案化形成性。膜厚減少率(%)=(撥液部的膜厚-親液部的膜厚)×100/撥液部的膜厚<在立體構(gòu)造物上的涂布評價>使用實施例1~9以及比較例1~2中制備的樹脂組合物,進(jìn)行立體構(gòu)造物上的膜形成,實施以下的評價。將結(jié)果示于表2中。[在立體構(gòu)造物上的凹圖案形成]在圖1(a)~(c)所示的形狀的立體構(gòu)造物a~c上,分別噴射涂布實施例1~9或者比較例1~2中制備的樹脂組合物后,在90℃的潔凈烘箱上烘烤5分鐘,使溶劑干燥,形成0.5μm厚的涂膜。繼而,在所獲得的涂膜上,以形成具有圖2(a)~(c)所示形狀的凹圖案的構(gòu)造體的方式,貼附包括所需的遮光部與500μm寬的直線狀透過部的膜密封。對于貼附有該膜密封的立體構(gòu)造物,使用高壓水銀燈(曝光機(jī):大日本科研(股)制造,ma-1400),以涂膜的曝光量成為500mj/cm2的方式進(jìn)行放射線照射。然后,剝離膜密封,使用潔凈烘箱,以100℃烘烤10分鐘,借此形成涂膜。此外,立體構(gòu)造物a為曲面玻璃,對該曲面玻璃的圖1(a)中的上表面整體噴射涂布樹脂組合物。立體構(gòu)造物b為包含聚碳酸酯/aes樹脂(“cw50”:特克諾聚合物(technopolymer)公司制造)的立體構(gòu)造物,對該立體構(gòu)造物的圖1(b)中的上表面整體噴射涂布樹脂組合物。立體構(gòu)造物c為包含聚碳酸酯/abs(丙烯腈·丁二烯·苯乙烯)樹脂(“ck50”:特克諾聚合物(technopolymer)公司制造)的立體構(gòu)造物,對該立體構(gòu)造物的表面整體噴射涂布樹脂組合物。[外觀評價]利用與[在立體構(gòu)造物上的凹圖案形成]的評價相同的方法來制成帶涂膜的立體構(gòu)造物。關(guān)于該帶涂膜的立體構(gòu)造物,以如下方式來進(jìn)行目視下的外觀評價:若立體構(gòu)造物未劣化,形成目視可確認(rèn)的凹圖案,則為良好(○);在無法形成目視可確認(rèn)的凹圖案的情況,或者若在目視下,立體構(gòu)造物上產(chǎn)生膜粗糙、白化等,則為不良(×)。[密合性評價]利用與[在立體構(gòu)造物上的凹圖案形成]的評價相同的方法,來制成帶涂膜的立體構(gòu)造物。對于該帶涂膜的立體構(gòu)造物,在包含凹圖案的1cm見方的四方形狀的涂膜部分,使用切割刀來切出切口,在該部分實施膠帶剝離試驗(ct-18賽羅膠帶(cellotape),米其邦(nichiban)(股)制造),對涂膜與立體構(gòu)造物的密合性進(jìn)行評價。若未產(chǎn)生剝離,則評價為良好(○),將產(chǎn)生剝離的情況評價為不良(×)。[金屬配線形成:滴加法]在所述[在立體構(gòu)造物上的凹圖案形成]中獲得的具有直線狀的凹圖案的涂膜的凹圖案上,滴加銀納米墨水nps-jl(哈利瑪化成(harimachemical)(股)制造),當(dāng)該墨水流動結(jié)束后,在潔凈烘箱中以100℃煅燒60分鐘,借此形成銀配線。關(guān)于所形成的銀配線,獲得500μm寬的直線狀的銀配線,在銀配線部的長度10cm間隔的2點,測定使用2000型數(shù)字萬用表(digitalmultimeter)(吉時利(keithley)公司制造)的電阻,若無斷線且確認(rèn)導(dǎo)通則評價為(○),若未獲得500μm寬的直線狀的銀配線,則評價為(×)。此外,是否獲得直線狀的銀配線,是使用光學(xué)顯微鏡(伊克利普斯(eclipse)l200d,尼康(nikon)(股)制造)來確認(rèn)。[金屬配線形成:浸漬法]將所述[在立體構(gòu)造物上的凹圖案形成]中獲得的具有直線狀的凹圖案的立體構(gòu)造物,在銀納米墨水nps-jl(哈利瑪化成(harimachemical)(股)制造)中浸漬3秒,然后提起立體構(gòu)造物,在使用立體構(gòu)造體a及b的情況下加以傾斜來靜置(例如,圖2的(a)及(b)中,以上表面相對于地板面而成為60°以上的角度來靜置),在使用立體構(gòu)造體c的情況下以圖2的(c)的朝向來靜置。然后在潔凈烘箱中以100℃煅燒60分鐘,借此形成銀配線。關(guān)于所形成的銀配線,獲得500μm寬的直線狀的銀配線,在銀配線部的長度10cm間隔的2點,測定使用2000型數(shù)字萬用表(吉時利(keithley)公司制造)的電阻,若無斷線且確認(rèn)導(dǎo)通,則評價為(○),若未獲得500μm寬的直線狀的銀配線,則評價為(×)。此外,是否獲得直線狀的銀配線,是使用光學(xué)顯微鏡(伊克利普斯(eclipse)l200d,尼康(nikon)(股)制造)來確認(rèn)。[金屬配線的密合性評價]利用與[金屬配線形成:滴加法]以及[金屬配線形成:浸漬法]的評價相同的方法來制成帶有銀配線的立體構(gòu)造物。對于該帶有銀配線的立體構(gòu)造物,以銀配線成為孤立的1cm長的方式,以切割刀來切出切口,在該部分實施膠帶剝離試驗(ct-18賽羅膠帶(cellotape),米其邦(nichiban)(股)制造),對銀配線與涂膜的密合性進(jìn)行評價。若未產(chǎn)生剝離,則評價為良好(○),將產(chǎn)生剝離的情況評價為不良(×)。在使用實施例1~9中制備的樹脂組合物的情況下,獲得作為膜密封的透過部的曝光部(凹部)成為親液部、且曝光部分以外(凸部)成為撥液部的具有親撥圖案化膜的構(gòu)造體。根據(jù)表2的結(jié)果可知,對于涂布面為非平坦面的構(gòu)造體,使用實施例1~9中制備的樹脂組合物來形成的親撥圖案化膜與使用比較例1~2中制備的樹脂組合物來形成的涂膜相比,具有良好的親撥性能、外觀及密合性,具有所需的凹圖案。即可知,實施例1~9中制備的樹脂組合物可適合用于制造具有凹圖案的立體構(gòu)造物。此外認(rèn)為,形成于立體構(gòu)造物a~c上的涂膜的凹圖案部與放射線未照射部的膜厚及接觸角與形成于所述平板上的基板上的涂膜為相同程度。在利用浸漬法來形成金屬配線的情況下,實施例1~9中,當(dāng)浸漬于銀納米墨水中后,將立體構(gòu)造物提起時,該墨水自凹圖案以外的部位上滑落,比較例1及2中,在將立體構(gòu)造物提起后,墨水也未從凹圖案以外的部位上滑落。結(jié)果可知,通過使用實施例1~9中制備的樹脂組合物,可在具有非平坦面的構(gòu)造體上形成良好的銀配線;且可知,在使用比較例1及2中制備的樹脂組合物的情況下,形成覆蓋構(gòu)造體的銀膜,無法形成良好的銀配線(表3)。即可知,實施例1~9中制備的樹脂組合物可適合用于在具有凹圖案的立體構(gòu)造物的凹圖案上形成導(dǎo)電膜。[產(chǎn)業(yè)上的可利用性]依據(jù)本發(fā)明,可在具有非平坦面的立體構(gòu)造物上容易地形成具有凹圖案的涂膜,另外,在使用包含含有具有氟原子的酸解離性基的聚合體的組合物的情況下,通過放射線照射,可由該涂膜來形成親撥圖案化。該親撥圖案化膜可在使用滴加法或浸漬法、噴射涂布法或各種印刷法來涂布導(dǎo)電膜形成墨水等各種墨水時,利用親撥性能來輔助這些墨水的圖案化。進(jìn)而,依據(jù)本發(fā)明,可形成微細(xì)且精巧的圖案,所獲得的圖案對于具有非平坦面的立體構(gòu)造物的密合性也優(yōu)異。根據(jù)以上,由本發(fā)明形成的具有凹圖案的構(gòu)造體可適合用作印刷電子中的基材。利用本發(fā)明的導(dǎo)電膜的形成方法,可在具有非平坦面的立體構(gòu)造物上,利用滴加法、浸漬法、噴射涂布法或各種印刷法等簡便的方法來形成微細(xì)且精巧的導(dǎo)電膜(配線)。而且,所獲得的金屬配線等導(dǎo)電膜的導(dǎo)電性以及對于立體構(gòu)造物的密合性優(yōu)異,因此本發(fā)明的導(dǎo)電膜的形成方法適合于電子電路的形成。因此,利用本發(fā)明中的制造方法來制造的具有凹圖案的構(gòu)造體成為安裝半導(dǎo)體芯片等的基材,對于汽車用零件或液晶顯示器、手機(jī)等便攜式信息設(shè)備、數(shù)碼相機(jī)、有機(jī)顯示器、有機(jī)el照明、各種傳感器或穿戴式器件等電子設(shè)備的小型化、薄型化、輕量化、高功能化而言有效。[符號的說明]10:立體構(gòu)造物a20:立體構(gòu)造物b30:立體構(gòu)造物c12:帶涂膜的立體構(gòu)造物a14:凹圖案或者銀配線22:帶涂膜的立體構(gòu)造物b24:凹圖案或者銀配線32:帶涂膜的立體構(gòu)造物c34:凹圖案或者銀配線當(dāng)前第1頁12當(dāng)前第1頁12
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