本發(fā)明屬于高純電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種高純電子化學(xué)品離子純化裝置。

背景技術(shù)：

高純電子化學(xué)品（如甲醇、丙酮、異丙醇、乙酸乙酯等有機溶劑）主要應(yīng)用于印刷電路板的清洗及蝕刻。隨著集成電路的迅速發(fā)展，對高純電子化學(xué)品（如甲醇、丙酮、異丙醇、乙酸乙酯等有機溶劑）中總金屬離子含量的要求越來越高。國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織將高純電子化學(xué)品劃分為C1（總金屬離子含量≤100ppb，控制顆?！?.0um）、C7（總金屬離子含量≤10ppb，控制顆?！?.5um）、C8（總金屬離子含量≤1ppb，控制顆粒≤0.5um）、C12（總金屬離子含量≤0.1ppb，控制顆?！?.2um）四個等級，目前國內(nèi)質(zhì)量水平僅能達(dá)到C7級別，高于C7級別的高純電子化學(xué)品均需要依賴國外進(jìn)口解決。C8和C12級別的高純電子化學(xué)品對生產(chǎn)設(shè)備制作精度和材質(zhì)要求極其嚴(yán)苛，生產(chǎn)過程中嚴(yán)禁接觸金屬材質(zhì)。然而，進(jìn)口高純電子化學(xué)品價格較高，供貨周期較長，同時危險化學(xué)品的運輸受到多方面的限制。高純電子化學(xué)品的質(zhì)量水平影響到中國集成電路的發(fā)展。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中，C8和C12級別高純電子化學(xué)品對設(shè)備及材質(zhì)的嚴(yán)苛要求，C7級別（總金屬離子含量≤10ppb，控制顆?！?.5um）的高純電子化學(xué)品（如甲醇、丙酮、異丙醇、乙酸乙酯等有機溶劑）無法真正滿足集成電路行業(yè)的需求，依賴進(jìn)口價格較高、貨期較長、運輸不方便等問題，提供一種高純電子化學(xué)品（如甲醇、丙酮、異丙醇、乙酸乙酯等有機溶劑）離子純化裝置，該裝置由一級純化器（1）、一級存儲罐（2）、二級純化器（3）、二級存儲罐（4）、三級純化器（5）、三級存儲罐（6）構(gòu)成。一級純化器（1）是離子交換樹脂罐；二級純化器（3）是全氟顆粒物雜質(zhì)過濾器，由0.45um和0.1um過濾器串聯(lián)組合而成；三級純化器（5）由兩級全氟去離子純化器串聯(lián)組合而成。一級純化器（1）的下部物料進(jìn)口（9）和高純電子化學(xué)品生產(chǎn)線精餾受槽出料泵出口相連，一級純化器（1）上部物料出口（10）和一級存儲罐（2）上部的物料進(jìn)口（11）相連。一級存儲罐（2）下部的物料出口（12）和二級純化器（3）物料進(jìn)口（13）相連，通過一級存儲罐出料泵（7）將物料輸送至二級純化器（3）。二級純化器（3）物料出口（14）與二級存儲罐（4）上部的物料進(jìn)口（15）相連。二級存儲罐（4）下部的物料出口（16）和三級純化器（5）物料進(jìn)口（17）相連，通過二級存儲罐出料泵（8）將物料輸送至三級純化器（5）。三級純化器（5）物料出口（18）與三級存儲罐（6）上部的物料進(jìn)口（19）相連。三級存儲罐（6）下部的物料出口（20）與分裝車間管道相連。整套離子純化裝置中，二級純化器（3）和三級純化器（5）全部采用全氟材質(zhì)。一級純化器（1）、一級存儲罐（2）、二級存儲（4）、三級存儲罐（6）均采用304不銹鋼外殼，儲罐內(nèi)部噴涂PFA（過氟烷基化物）材質(zhì)。連接各純化器、儲罐的閥門、管件、物料管均采用PFA（過氟烷基化物）或者PTFE（聚四氟乙烯）材質(zhì)，或者采用304不銹鋼內(nèi)襯PTFE（聚四氟乙烯）、PFA（過氟烷基化物）的處理方式。

采用上述技術(shù)方案，確保物料在純化過程中不接觸任何金屬離子。生產(chǎn)線上的物料經(jīng)過一級純化器（1），通過離子交換的方式，物料中的總金屬離子含量大約1ppm。二級純化器（3）主要是去除物料中的顆粒物雜質(zhì)，經(jīng)過二級純化器（3）后，物料中顆粒物可控制在≤0.1um 。三級純化器（5）主要去除物料中微量金屬離子，經(jīng)過三級純化器（5）后，物料中總金屬離子含量≤0.1ppb。三級存儲罐（6）中的物料最終能達(dá)到C12級別。使用此裝置生產(chǎn)出符合C12級別的高純電子化學(xué)品，可以完全取代國外進(jìn)口產(chǎn)品，從而解決國外進(jìn)口價格高、貨期長、運輸不方便等問題。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

實施例：一種高純電子化學(xué)品（如甲醇、丙酮、異丙醇、乙酸乙酯等有機溶劑）離子純化裝置，該裝置由一級純化器（1）、一級存儲罐（2）、二級純化器（3）、二級存儲罐（4）、三級純化器（5）、三級存儲罐（6）構(gòu)成。一級純化器（1）是離子交換樹脂罐；二級純化器（3）是全氟顆粒物雜質(zhì)過濾器，由0.45um和0.1um過濾器串聯(lián)組合而成；三級純化器（5）由兩級全氟去離子純化器串聯(lián)組合而成。一級純化器（1）的下部物料進(jìn)口（9）和高純電子化學(xué)品生產(chǎn)線精餾受槽出料泵出口相連，一級純化器（1）上部物料出口（10）和一級存儲罐（2）上部的物料進(jìn)口（11）相連。一級存儲罐（2）下部的物料出口（12）和二級純化器（3）物料進(jìn)口（13）相連，通過一級存儲罐出料泵（7）將物料輸送至二級純化器（3）。二級純化器（3）物料出口（14）與二級存儲罐（4）上部的物料進(jìn)口（15）相連。二級存儲罐（4）下部的物料出口（16）和三級純化器（5）物料進(jìn)口（17）相連，通過二級存儲罐出料泵（8）將物料輸送至三級純化器（5）。三級純化器（5）物料出口（18）與三級存儲罐（6）上部的物料進(jìn)口（19）相連。三級存儲罐（6）下部的物料出口（20）與分裝車間管道相連。整套離子純化裝置中，二級純化器（3）和三級純化器（5）全部采用全氟材質(zhì)。一級純化器（1）、一級存儲罐（2）、二級存儲（4）、三級存儲罐（6）均采用304不銹鋼外殼，儲罐內(nèi)部噴涂PFA（過氟烷基化物）材質(zhì)。連接各純化器、儲罐的閥門、管件、物料管均采用PFA（過氟烷基化物）或者PTFE（聚四氟乙烯）材質(zhì)，或者采用304不銹鋼內(nèi)襯PTFE（聚四氟乙烯）、PFA（過氟烷基化物）的處理方式。