技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種四氯化鍺水解裝置，包括混合室、液壓泵和水解室；所述混合室頂部設(shè)有電機(jī)和水箱，所述混合室一側(cè)設(shè)有進(jìn)液口，所述混合室另一側(cè)設(shè)有出液口，所述電機(jī)一端設(shè)有攪拌棒，所述攪拌棒上設(shè)有攪拌葉，所述混合室底部設(shè)有加熱板，所述水解室上設(shè)有第一進(jìn)料口、第二進(jìn)料口、出氣口和排料口，所述液壓泵一端設(shè)有進(jìn)液管，所述液壓泵另一端設(shè)有出液管，所述進(jìn)液管和所述出液口相連，所述出液管和所述第一進(jìn)料口相連。本發(fā)明提供的四氯化鍺的水解裝置，混合均勻，反應(yīng)完全。

技術(shù)研發(fā)人員：周晴
受保護(hù)的技術(shù)使用者：衡陽恒榮高純半導(dǎo)體材料有限公司
文檔號碼：201510832101
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.25
技術(shù)公布日：2017.03.08