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晶硅片切割液脫水裝置制造方法

文檔序號:4957882閱讀:272來源:國知局
晶硅片切割液脫水裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型旨在提供一種低能耗、無污染、脫水效率高的晶硅片切割液脫水裝置,該裝置包括脫水機構,所述脫水機構包括設有進料口及出料口的脫水罐;在所述脫水罐的四周外側(cè)壁設置有用于對該脫水罐內(nèi)部料液加熱的電加熱水套;在所述脫水罐的頂部開設有出氣口,并在所述脫水罐的上方設置有與所述出氣口對應連通的用于冷凝氣體的冷凝管,在所述冷凝管的中下方設置有與該冷凝管連通的且用于收集冷凝水的分離罐;該裝置還包括與所述電加熱水套對應連接的太陽能換能機構,其包括太陽能電池板、與太陽能電池板連接的逆變器、與逆變器對應連接的蓄電池;蓄電池與所述電加熱水套對應電連接。本實用新型具有低能耗、綠色環(huán)保、操作方便、結(jié)構簡單等優(yōu)點。
【專利說明】晶硅片切割液脫水裝置

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及晶硅片切割液脫水【技術領域】,尤其涉及一種晶硅片切割液脫水裝置。

【背景技術】
[0002]晶硅片切割液在生產(chǎn)過程中需要將切割液進行脫水處理,去除掉切割液中的水分,其原理是將含有水分的切割液進行加熱,利用水分及切割液沸點的不同,對切割液進行脫水處理。目前采用的做法有蒸汽加熱、電加熱以及導熱油加熱方法等,而上述方法在實際操作中均存在能耗高的共同缺點,并且采用上述方法會排放出二氧化碳氣體,增加大氣二氧化碳排放量,造成大氣污染等問題。上述缺點在傳統(tǒng)能源日趨緊張枯竭、環(huán)境污染形式愈發(fā)嚴峻的今天顯得尤為突出。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術的不足,適應現(xiàn)實需要,提供一種低能耗、無污染、脫水效率高的晶硅片切割液脫水裝置。
[0004]為了實現(xiàn)本實用新型的目的,本實用新型所采用的技術方案為:
[0005]設計一種晶硅片切割液脫水裝置,包括脫水機構,所述脫水機構包括設有進料口及出料口的脫水罐;在所述脫水罐的四周外側(cè)壁設置有用于對該脫水罐內(nèi)部料液加熱的電加熱水套;在所述脫水罐的頂部開設有出氣口,并在所述脫水罐的上方設置有與所述出氣口對應連通的用于冷凝氣體的冷凝管,在所述冷凝管的中下方設置有與該冷凝管連通的且用于收集冷凝水的分離罐;該裝置還包括與所述電加熱水套對應連接的太陽能換能機構;所述太陽能換能機構包括太陽能電池板、與所述太陽能電池板連接的逆變器、與所述逆變器對應連接的蓄電池;所述蓄電池與所述電加熱水套對應電連接。
[0006]所述太陽能換能機構還包括蓄熱水箱、與所述蓄熱水箱對應連通的循環(huán)泵;所述太陽能電池板為其內(nèi)部設有集熱管的太陽能電池板;所述集熱管的進水端、出水端分別與循環(huán)泵、蓄熱水箱對應連通形成水流循環(huán);所述蓄熱水箱還與所述電加熱水套對應連通。
[0007]所述進料口設置于脫水罐的上部,所述出料口設置于脫水罐的底部,在所述進料口上設置有進料閥,在所述出料口處設置有出料閥。
[0008]所述冷凝管向上傾斜呈5?30°設置,并在該冷凝管的端部設置有與其連通的冷凝器,所述冷凝器向上傾斜呈5?30°設置。
[0009]所述脫水機構還包括與所述脫水罐連通的真空泵。
[0010]本實用新型的有益效果在于:
[0011]1.本實用新型利用太陽能光伏光熱原理,通過將太陽能資源轉(zhuǎn)換成無污染的電能源、及熱能源,并將其輸入至電熱水套中用于對切割液進行加熱,具有低能耗、無污染等優(yōu)占.
[0012]2.脫水罐采用抽真空處理,實現(xiàn)切割液與水分沸點的不同,進而對切割液可進行輕微加熱即可實現(xiàn)水份整發(fā),從而由冷凝器實現(xiàn)對水蒸氣的有效分離提高其純度。
[0013]3.本實用新型具有低能耗、綠色環(huán)保、操作方便、結(jié)構簡單等優(yōu)點。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型主要結(jié)構示意圖;
[0015]圖中:1.電池板;2.集熱管;3.循環(huán)泵;4.蓄熱水箱;5.逆變器;6.蓄電池;7.脫水罐;8.加熱水套;9.出氣口 ;10.進料口 ;11.出料口 ;12.進料閥;13.出料閥;14.真空管;15.真空泵;16.冷凝管;17.分離罐;18.冷凝器。

【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明:
[0017]實施例1:一種晶硅片切割液脫水裝置。參見圖1。包括脫水機構,所述脫水機構包括脫水罐7 ;在該脫水罐7的上部設有進料口 10,底部其底部設有出料口 11,并在進料口10處對設置有進料閥12,在出料口處設置有出料閥13,用于實現(xiàn)對晶硅片切割液的進出料控制;在脫水罐7的頂部開設有出氣口 9,并在脫水罐7的上方設置有與出氣口 9對應連通的用于冷凝氣體的冷凝管16,在冷凝管16的中下方設置有與該冷凝管連通的且用于收集冷凝水的分離罐17 ;冷凝管16向上傾斜呈30°設置,并在該冷凝管16的端部設置有與其連通的冷凝器18,所述冷凝器18亦向上傾斜呈30°設置。該脫水機構還包括與脫水罐7連通的真空泵15 ;真空泵15經(jīng)由真空管14與脫水罐連通;在脫水罐的四周外側(cè)壁設置有用于對該脫水罐內(nèi)部晶硅片切割液加熱的電加熱水套8,該電加熱水套8內(nèi)設有電熱器;該裝置還包括與電加熱水套對應連接的太陽能換能機構。所述太陽能換能機構包括其內(nèi)部設有集熱管的太陽能電池板1、與太陽能電池板I連接的逆變器5、與逆變器5對應連接的蓄電池6;蓄電池6與電加熱水套8內(nèi)的電熱器對應電連接。該太陽能換能機構還包括蓄熱水箱4、與蓄熱水箱4對應連通的循環(huán)泵3 ;集熱管的進水端、出水端分別與循環(huán)泵3、蓄熱水箱4對應連通形成水流循環(huán);蓄熱水箱4還與電加熱水套8對應連通。上述集熱管2用來收集電池板I光-熱轉(zhuǎn)換產(chǎn)生的熱量,并通過其內(nèi)部不斷循環(huán)流動的水流,將熱量儲存在蓄熱水箱4內(nèi),其熱水溫度可達50?80°C。蓄熱水箱4內(nèi)收集存儲的50?80°C的熱水進入電熱水套內(nèi)用以對脫水罐7內(nèi)待脫水處理的含水分的切割液進行加熱,逆變器5、蓄電池6與電池板I相連,用以收集、轉(zhuǎn)換并儲存光-電轉(zhuǎn)換產(chǎn)生的電能,該電能對安裝在加熱水套8內(nèi)的電熱器進行加熱;在真空泵15的作用下,使脫水罐7內(nèi)的真空度保持在0.0lMPa以下,以降低切割液中水的沸點至50°C以下,并在加熱時使其低溫氣化,氣化后的水蒸氣經(jīng)脫水罐7頂部的冷凝管16向上逸出并在該冷凝管內(nèi)初步冷凝,在冷凝器18的冷凝下可對氣化后的水份進一步有效液化,并將液化后的水份最終回流至冷凝管16下方的分離罐17內(nèi)儲存。從而實現(xiàn)對晶硅片切割液的脫水處理。蓄電池6儲存的電池板I光電轉(zhuǎn)化產(chǎn)生的電能,可以保證在夜間加熱水套8內(nèi)低水溫加熱,實現(xiàn)夜間的連續(xù)作業(yè),提高本裝置的工作效率。
[0018]本實用新型的實施例公布的是較佳的實施例,但并不局限于此,本領域的普通技術人員,極易根據(jù)上述實施例,領會本實用新型的精神,并做出不同的引申和變化,但只要不脫離本實用新型的精神,都在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【權利要求】
1.一種晶硅片切割液脫水裝置,包括脫水機構,所述脫水機構包括帶有進料口及出料口的脫水罐;其特征是:在所述脫水罐的四周外側(cè)壁設置有用于對該脫水罐內(nèi)部料液加熱的電加熱水套;在所述脫水罐的頂部開設有出氣口,并在所述脫水罐的上方設置有與所述出氣口對應連通的用于冷凝氣體的冷凝管,在所述冷凝管的中下方設置有與該冷凝管連通的且用于收集冷凝水的分離罐;該裝置還包括與所述電加熱水套對應連接的太陽能換能機構,其包括太陽能電池板、與所述太陽能電池板連接的逆變器、與所述逆變器對應連接的蓄電池;所述蓄電池與所述電加熱水套對應電連接。
2.如權利要求1所述的晶硅片切割液脫水裝置,其特征是:所述太陽能換能機構還包括蓄熱水箱、與所述蓄熱水箱對應連通的循環(huán)泵;所述太陽能電池板為其內(nèi)部設有集熱管的太陽能電池板;所述集熱管的進水端、出水端分別與循環(huán)泵、蓄熱水箱對應連通形成水流循環(huán);所述蓄熱水箱還與所述電加熱水套對應連通。
3.如權利要求1所述的晶硅片切割液脫水裝置,其特征是:所述進料口設置于脫水罐的上部,所述出料口設置于脫水罐的底部,在所述進料口上設置有進料閥,在所述出料口處設置有出料閥。
4.如權利要求1所述的晶硅片切割液脫水裝置,其特征是:所述冷凝管向上傾斜呈5?30°設置,并在該冷凝管的端部設置有與其連通的冷凝器,所述冷凝器向上傾斜呈5?30°設置。
5.如權利要求1所述的晶硅片切割液脫水裝置,其特征是:所述脫水機構還包括與所述脫水罐連通的真空泵。
【文檔編號】B01D1/00GK203989895SQ201420344792
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年6月26日 優(yōu)先權日:2014年6月26日
【發(fā)明者】申君來, 王杰, 韓志民, 徐元清, 高敏杰, 辛玲, 張志剛, 郭莉萍 申請人:河南新大新材料股份有限公司
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