真空泵前置過(guò)濾設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明為一種真空泵前置過(guò)濾設(shè)備，屬于過(guò)濾設(shè)備領(lǐng)域。其主要由過(guò)濾桶、過(guò)濾網(wǎng)及致動(dòng)器組成，其中過(guò)濾桶形成腔室、進(jìn)氣口、出氣口及集塵區(qū)，過(guò)濾網(wǎng)以一軸心圍繞并裝設(shè)于該腔室，而致動(dòng)器裝設(shè)有一連接該過(guò)濾網(wǎng)并可轉(zhuǎn)動(dòng)該過(guò)濾網(wǎng)的轉(zhuǎn)軸，且該轉(zhuǎn)軸設(shè)置一裝設(shè)于該過(guò)濾桶并使用聯(lián)軸器以達(dá)到轉(zhuǎn)軸及致動(dòng)器的密封，藉此，可將會(huì)產(chǎn)生高濃度微粒的設(shè)備進(jìn)行高濃度微粒過(guò)濾，并且透過(guò)旋轉(zhuǎn)過(guò)濾網(wǎng)即可將過(guò)濾的微粒透過(guò)離心力方式將微粒脫離過(guò)濾網(wǎng)，進(jìn)而達(dá)到無(wú)需拆卸過(guò)濾網(wǎng)即可達(dá)到清潔及重復(fù)使用之目的。
【專利說(shuō)明】真空泵前置過(guò)濾設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明一種過(guò)濾設(shè)備，尤指一種透過(guò)旋轉(zhuǎn)過(guò)濾網(wǎng)即可達(dá)到清潔過(guò)濾網(wǎng)上的微粒， 且無(wú)須拆卸即可重復(fù)使用的真空泵前置過(guò)濾設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002] 按，目前在制程中會(huì)產(chǎn)生高濃度微粒的產(chǎn)業(yè)大多是太陽(yáng)能、半導(dǎo)體以及部分化工， 其中特別是單晶爐，為能減少因?yàn)橹瞥涛锏奈⒘＿M(jìn)入幫浦腔室沉積導(dǎo)致造成真空泵轉(zhuǎn)子卡 死，甚至于損壞，因此目前的作法是加裝過(guò)濾器設(shè)備，透過(guò)過(guò)濾方式將前述的微粒去除，進(jìn) 而有效延長(zhǎng)真空泵使用壽命。
[0003] 然，現(xiàn)階段的過(guò)濾器設(shè)備于使用一段時(shí)間后必須將其內(nèi)部的過(guò)濾網(wǎng)抽離后清潔， 不管是利用氣體吹凈過(guò)濾網(wǎng)或是更換新的過(guò)濾網(wǎng)，于清潔時(shí)仍必須拆卸過(guò)濾器設(shè)備，此種 方式不僅在清潔時(shí)費(fèi)工費(fèi)時(shí)，且不定時(shí)的更換過(guò)濾網(wǎng)易導(dǎo)致成本增加。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：提供一種過(guò)濾設(shè)備，其利用過(guò)濾網(wǎng)可將高濃度微 粒透過(guò)進(jìn)氣口可直接被過(guò)濾網(wǎng)阻隔而達(dá)到過(guò)濾效果，完成過(guò)濾的氣體再由出氣口排出，而 后在利用旋轉(zhuǎn)過(guò)濾網(wǎng)可達(dá)到清潔效果，且過(guò)程完全不需要拆下過(guò)濾網(wǎng)。
[0005] -種真空泵前置過(guò)濾設(shè)備，其特征在于：
[0006] 其包括
[0007] -過(guò)濾桶，該過(guò)濾桶形成一腔室、一與該腔室相通的進(jìn)氣口及出氣口及一位于該 過(guò)濾桶下方且與該腔室相通的集塵區(qū)；
[0008] -過(guò)濾網(wǎng)，該過(guò)濾網(wǎng)以一軸心方向圍繞并裝設(shè)于該腔室；及
[0009] -致動(dòng)器，該致動(dòng)器裝設(shè)有一連接該過(guò)濾網(wǎng)并可轉(zhuǎn)動(dòng)該過(guò)濾網(wǎng)的轉(zhuǎn)軸，且該轉(zhuǎn)軸 設(shè)置一裝設(shè)于該過(guò)濾桶并將該腔室與該轉(zhuǎn)軸密封的聯(lián)軸器。
[0010] 其中該出氣口連接一真空泵。
[0011] 其中該過(guò)濾網(wǎng)形成復(fù)數(shù)網(wǎng)目。
[0012] 其中該致動(dòng)器為人力手搖或機(jī)械力其中之一者。
[0013] 其中該機(jī)械力為馬達(dá)。
[0014] 其中該聯(lián)軸器亦可為磁性聯(lián)軸器。
[0015] 通過(guò)上述設(shè)計(jì)方案，本發(fā)明可以帶來(lái)如下有益效果：本發(fā)明一種真空泵前置過(guò)濾 設(shè)備，其包括：一過(guò)濾桶，該過(guò)濾桶形成一腔室、一與該腔室相通的進(jìn)氣口及出氣口及一位 于該過(guò)濾桶下方且與該腔室相通的集塵區(qū)；一過(guò)濾網(wǎng)，該過(guò)濾網(wǎng)以一軸心方向圍繞并裝設(shè) 于該腔室；及一致動(dòng)器，該致動(dòng)器裝設(shè)有一連接該過(guò)濾網(wǎng)并可轉(zhuǎn)動(dòng)該過(guò)濾網(wǎng)的轉(zhuǎn)軸，且利用 聯(lián)軸器密封其轉(zhuǎn)軸。
[0016] 根據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，其中該出氣口連接一真空泵。
[0017] 根據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，其中該過(guò)濾網(wǎng)形成復(fù)數(shù)網(wǎng)目。
[0018] 根據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，其中該致動(dòng)器為人力手搖或機(jī)械力其中之一者。
[0019] 根據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，其中該機(jī)械力為馬達(dá)。
[0020] 根據(jù)本發(fā)明之一實(shí)施例，其中該聯(lián)軸器亦可為磁性聯(lián)軸器。
[0021] 本發(fā)明可進(jìn)行逆洗功能，其主要由出氣口進(jìn)氣，再由進(jìn)氣口排氣，藉由逆向氣體將 過(guò)濾網(wǎng)上的微粒吹落，讓殘留在過(guò)濾網(wǎng)上的微粒可脫離并落在集塵區(qū)，進(jìn)而達(dá)到無(wú)須拆卸 過(guò)濾網(wǎng)即可清潔之目的。
[0022] 本發(fā)明利用收集裝置可將清潔后累積的微粒沉積進(jìn)行處理。
[0023] 本發(fā)明內(nèi)部組件少，故發(fā)生故障機(jī)率相對(duì)低。
[0024] 本發(fā)明制造成本較為低廉、組裝容易。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0025] 以下結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明：
[0026] 圖1為本發(fā)明較佳實(shí)施例的示意圖。
[0027] 圖2為本發(fā)明進(jìn)氣過(guò)濾微粒的作動(dòng)示意圖。
[0028] 圖3為本發(fā)明轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)濾網(wǎng)并清除附著微粒的作動(dòng)示意圖。
[0029] 圖4為本發(fā)明進(jìn)行逆洗功能的作動(dòng)示意圖。
[0030] 圖5為本發(fā)明過(guò)濾微粒的路徑示意圖。
[0031] 圖6為本發(fā)明另一較佳實(shí)施例的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0032] 以下藉由特定的具體實(shí)例說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式，熟悉此技藝的人士可由本說(shuō)明 書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及功效。本發(fā)明亦可以其它不同的方式予以實(shí) 施，即，在不悖離本發(fā)明所揭示的范疇下，能予不同的修飾與改變。
[0033] 請(qǐng)參閱圖1所示，為本發(fā)明較佳實(shí)施例的示意圖。本發(fā)明為一種真空泵前置過(guò)濾 設(shè)備1，其主要由過(guò)濾桶10、過(guò)濾網(wǎng)12及致動(dòng)器14組成，其中過(guò)濾桶10形成一腔室100、一 與該腔室100相通的進(jìn)氣口 102及出氣口 104及一位于該過(guò)濾桶10下方且與該腔室100 相通的集塵區(qū)106,而過(guò)濾網(wǎng)12則以一軸心方向2圍繞并裝設(shè)于該腔室100,另外，致動(dòng)器 14裝設(shè)有一連接該過(guò)濾網(wǎng)12并可轉(zhuǎn)動(dòng)該過(guò)濾網(wǎng)12的轉(zhuǎn)軸140,且該轉(zhuǎn)軸140設(shè)置一裝設(shè) 于該過(guò)濾桶10并將該腔室100與該轉(zhuǎn)軸140密封的聯(lián)軸器142。
[0034] -并參閱圖2、圖3、圖4及圖5所示，為本發(fā)明進(jìn)氣過(guò)濾微粒的作動(dòng)示意圖、轉(zhuǎn)動(dòng) 過(guò)濾網(wǎng)并清除附著微粒的作動(dòng)示意圖、進(jìn)行逆洗功能的作動(dòng)示意圖及過(guò)濾微粒的路徑示意 圖。前述的出氣口 104連接一真空泵3,本發(fā)明以運(yùn)用于會(huì)產(chǎn)生高濃度微粒的單晶爐為例， 單晶爐4產(chǎn)生高濃度微粒時(shí)，則會(huì)將具有微粒的氣體輸送至真空泵前置過(guò)濾設(shè)備1，此時(shí)氣 體則會(huì)由進(jìn)氣口 102進(jìn)入腔室100,由于過(guò)濾網(wǎng)12上的多個(gè)網(wǎng)目120必須是運(yùn)用制程設(shè)備 而覺(jué)得網(wǎng)目120的直徑大小，網(wǎng)目120直徑大小主要配合制程的生物顆粒大小選定用，過(guò)小 的網(wǎng)目120易造成過(guò)濾網(wǎng)12迅速沉積而失效；過(guò)大則無(wú)任何過(guò)濾效果。本發(fā)明中的網(wǎng)目 120直徑以400mm為例，此時(shí)的微粒均會(huì)附著于過(guò)濾網(wǎng)12,而過(guò)濾后的氣體則由出氣口 140 排出。
[0035] 當(dāng)過(guò)濾網(wǎng)12上的微粒累積到一定程度時(shí)（過(guò)濾效果變差或排氣量不足），關(guān)閉閥 門6、7,后利用致動(dòng)器14 (可以馬達(dá)或手動(dòng)方式操作）透過(guò)轉(zhuǎn)軸140而轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)濾網(wǎng)12,此時(shí) 透過(guò)旋轉(zhuǎn)過(guò)濾網(wǎng)12即可將微粒5透過(guò)離心力方式將微粒5脫離過(guò)濾網(wǎng)12,進(jìn)而達(dá)到無(wú)需拆 卸過(guò)濾網(wǎng)12即可達(dá)到清潔及重復(fù)使用之目的，而脫離的微粒5則掉落于集塵區(qū)106。
[0036] 完成前述的清潔后，可再次透過(guò)正壓氣體進(jìn)行逆洗方式徹底將過(guò)濾網(wǎng)12再次清 潔，其主要由出氣口 104進(jìn)氣，再由進(jìn)氣口 102排氣，藉由逆向氣體將過(guò)濾網(wǎng)12上的微粒5 吹落，讓殘留在過(guò)濾網(wǎng)12上的微粒5可脫離并落在集塵區(qū)106,進(jìn)而達(dá)到無(wú)須拆卸過(guò)濾網(wǎng)即 可清潔之目的。
[0037] 再者，轉(zhuǎn)軸140設(shè)置有聯(lián)軸器142,利用裝設(shè)于過(guò)濾桶10上的聯(lián)軸器142能夠?qū)⑶?室1〇〇與轉(zhuǎn)軸140完全隔離，以避免制程中的氣體散逸到大氣中。
[0038] 本發(fā)明的真空泵前置過(guò)濾設(shè)備1，其為配合實(shí)際空間配置的需求必須有水平及垂 直兩種態(tài)樣，以搭配應(yīng)用場(chǎng)地進(jìn)行變化，而前述的態(tài)樣以垂直為主，另一種水平態(tài)樣請(qǐng)參閱 圖6所示，進(jìn)氣口 102a位于過(guò)濾桶10a側(cè)邊而出氣口 104a則位于過(guò)濾桶10a上方，另外， 致動(dòng)器14a裝設(shè)有一連接該過(guò)濾網(wǎng)12a并可轉(zhuǎn)動(dòng)該過(guò)濾網(wǎng)12a的轉(zhuǎn)軸140a，而過(guò)濾網(wǎng)12a 則以一軸心方向2a圍繞并裝設(shè)于濾桶10a的腔室100a中，前述的轉(zhuǎn)軸140a設(shè)置一裝設(shè)于 該過(guò)濾桶l(fā)〇a并將該腔室100a與該轉(zhuǎn)軸140a密封的聯(lián)軸器142a (以磁性聯(lián)軸器為例），一 般的聯(lián)軸器在樞接軸的部分會(huì)有縫隙產(chǎn)生，因此易發(fā)生漏氣現(xiàn)象，惟，利用以磁性帶動(dòng)旋轉(zhuǎn) 的磁性聯(lián)軸器在結(jié)構(gòu)上無(wú)縫隙產(chǎn)生，因此則不會(huì)發(fā)生漏氣現(xiàn)象。而在過(guò)濾桶l(fā)〇a下方則有 用以收集微粒5a的集塵區(qū)106a。其氣體過(guò)濾方式、清潔過(guò)濾網(wǎng)12a與逆洗方式均與前述垂 直設(shè)置的真空泵前置過(guò)濾設(shè)備1相同，而達(dá)到的效果亦相同因此不再贅述。
[0039] 藉由本發(fā)明的真空泵前置過(guò)濾設(shè)備1能有效將大部分的粉塵微粒及制程物先行 過(guò)濾，避免真空泵3中造成沉積于轉(zhuǎn)子間，最后導(dǎo)致轉(zhuǎn)子干涉卡死而發(fā)生故障。
[0040] 上述實(shí)施例僅為例示性說(shuō)明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何 熟悉此項(xiàng)技藝的人士均可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修改。因此 本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍，應(yīng)如后述申請(qǐng)專利范圍所列。
【權(quán)利要求】
1. 一種真空泵前置過(guò)濾設(shè)備，其特征在于： 其包括 一過(guò)濾桶，該過(guò)濾桶形成一腔室、一與該腔室相通的進(jìn)氣口及出氣口及一位于該過(guò)濾 桶下方且與該腔室相通的集塵區(qū)； 一過(guò)濾網(wǎng)，該過(guò)濾網(wǎng)以一軸心方向圍繞并裝設(shè)于該腔室；及 一致動(dòng)器，該致動(dòng)器裝設(shè)有一連接該過(guò)濾網(wǎng)并可轉(zhuǎn)動(dòng)該過(guò)濾網(wǎng)的轉(zhuǎn)軸，且該轉(zhuǎn)軸設(shè)置 一裝設(shè)于該過(guò)濾桶并將該腔室與該轉(zhuǎn)軸密封的聯(lián)軸器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵前置過(guò)濾設(shè)備，其特征在于：其中該出氣口連接一真 空泵。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵前置過(guò)濾設(shè)備，其特征在于：其中該過(guò)濾網(wǎng)形成復(fù)數(shù) 網(wǎng)目。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵前置過(guò)濾設(shè)備，其特征在于：其中該致動(dòng)器為人力手 搖或機(jī)械力其中之一者。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空泵前置過(guò)濾設(shè)備，其特征在于：其中該機(jī)械力為馬達(dá)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵前置過(guò)濾設(shè)備，其特征在于：其中該聯(lián)軸器亦可為磁 性聯(lián)軸器。
【文檔編號(hào)】B01D46/24GK104096428SQ201410348148
【公開日】2014年10月15日 申請(qǐng)日期:2014年7月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月11日
【發(fā)明者】陳俊宏, 陳欣匯 申請(qǐng)人:漢鐘精機(jī)股份有限公司