一種硅片研磨液的攪拌裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種新型硅片研磨液的攪拌裝置包括攪拌葉、攪拌軸、攪拌桶、定時裝置,轉(zhuǎn)向裝置,電機(jī)。由于所述攪拌裝置設(shè)有定時裝置和轉(zhuǎn)向裝置,從而可以控制攪拌時間和攪拌方向,使得攪拌更加的均勻,從而提高了研磨液的質(zhì)量。所述攪拌桶下部設(shè)有過濾板,儲液槽,所述儲液槽位于過濾板的下部;所述攪拌桶底部設(shè)有出液口。所述過濾板用來過濾未充分?jǐn)嚢枋O聛淼拇蟮念w粒;所述儲液槽,用來讓攪拌充分完成的研磨液流向出液口,從而獲取高質(zhì)量的研磨液。
【專利說明】一種硅片研磨液的攪拌裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種攪拌裝置,具體涉及一種硅片研磨液的攪拌裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片加工過程中,為了保證硅片的設(shè)計要求,要求硅片進(jìn)行研磨。現(xiàn)加工所需要的研磨液,一般采用手工攪拌。該方法使得工作效率低,且攪拌不均勻。并且攪拌時采用單向攪拌,使得攪拌不夠徹底。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對以上弊端提供一種硅片研磨液的攪拌裝置,本裝置結(jié)構(gòu)簡單,攪拌均勻,提高了研磨液的質(zhì)量。
[0004]為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明的技術(shù)方案是:
[0005]一種新型硅片研磨液的攪拌裝置,包括攪拌葉、攪拌軸、攪拌桶、定時裝置,轉(zhuǎn)向裝置,電機(jī),其中所述攪拌桶內(nèi)設(shè)有攪拌軸,所述攪拌軸上設(shè)有兩片攪拌葉,所述攪拌桶上部設(shè)有轉(zhuǎn)向裝置,轉(zhuǎn)向裝置上部有定時裝置,定時裝置上部設(shè)有電機(jī)。所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸通過定時裝置和轉(zhuǎn)向裝置的一端相連且設(shè)置于攪拌桶的上方;所述攪拌軸垂直設(shè)置在攪拌桶的中部,所述攪拌葉垂直固定在攪拌軸的下端,所述攪拌葉為螺旋攪拌葉。
[0006]上述一種新型硅片研磨液的攪拌裝置,其中所述攪拌桶下部設(shè)有過濾板,儲液槽,所述儲液槽位于過濾板的下部;所述攪拌桶底部設(shè)有出液口。所述過濾板用來過濾未充分?jǐn)嚢枋O聛淼拇蟮念w粒;所述儲液槽,用來讓攪拌充分完成的研磨液流向出液口。
[0007]工作時,按動定時裝置中的定時器,設(shè)定攪拌時間;當(dāng)順時針攪拌到一段時間后,再設(shè)置轉(zhuǎn)向裝置,就可以逆時針攪拌一段時間。這樣雙向攪拌可以使得攪拌更加的均勻,進(jìn)而提高了研磨液的質(zhì)量。
[0008]本發(fā)明的有益效果:由于所述攪拌裝置設(shè)有定時裝置和轉(zhuǎn)向裝置,從而可以控制攪拌時間和攪拌方向,從而可以使得攪拌更加的均勻,從而提高了研磨液的質(zhì)量。所述攪拌桶下部設(shè)有過濾板,儲液槽,所述儲液槽位于過濾板的下部;所述攪拌桶底部設(shè)有出液口。所述過濾板用來過濾未充分?jǐn)嚢枋O聛淼拇蟮念w粒;所述儲液槽,用來讓攪拌充分完成的研磨液流向出液口,從而獲取高質(zhì)量的研磨液
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖【具體實施方式】
[0010]如圖所示一種新型硅片研磨液的攪拌裝置,包括攪拌葉1、攪拌軸2、攪拌桶3、定時裝置4,轉(zhuǎn)向裝置5,電機(jī)6,其中所述攪拌桶3內(nèi)設(shè)有攪拌軸2,所述攪拌軸上設(shè)有兩片攪拌葉I,所述攪拌桶上部設(shè)有轉(zhuǎn)向裝置5,轉(zhuǎn)向裝置5上部有定時裝置4,定時裝置4上部設(shè)有電機(jī)6。所述電機(jī)6的轉(zhuǎn)軸通過定時裝置4和轉(zhuǎn)向裝置5的一端相連且設(shè)置于攪拌桶3的上方;所述攪拌軸2垂直設(shè)置在攪拌桶3的中部,所述攪拌葉I垂直固定在攪拌軸2的下端,所述攪拌葉I為螺旋形攪拌葉I。
[0011 ] 所述攪拌桶3下部設(shè)有過濾板6,儲液槽7,所述儲液槽7位于過濾板的下部;所述攪拌桶3底部設(shè)有出液口 8。所述過濾板6用來過濾未充分?jǐn)嚢枋O聛淼拇蟮念w粒;所述儲液槽7,用來讓攪拌充分完成的研磨液流向出液口 8。
[0012]工作時,可以通過定時裝置4和轉(zhuǎn)向裝置5設(shè)定攪拌時間及攪拌方向,當(dāng)攪拌按順時針方向轉(zhuǎn)動一段時間后,設(shè)置轉(zhuǎn)向裝置后就可以逆時針攪拌一段時間。這樣雙向攪拌可以使得攪拌更加的均勻,進(jìn)而提高了研磨液的質(zhì)量。所述攪拌桶3下部設(shè)有過濾板6,儲液槽7,所述儲液槽7位于過濾板的下部;所述攪拌桶3底部設(shè)有出液口 8。從而獲取高質(zhì)量的研磨液。
[0013]這里本發(fā)明的描述和應(yīng)用是說明性的,并非想將本發(fā)明的范圍限制在上述實施例中,因此,本發(fā)明不受本實施例的限制,任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均在本發(fā)明保護(hù)的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種新型硅片研磨液的攪拌裝置,包括攪拌葉、攪拌軸、攪拌桶、定時裝置,轉(zhuǎn)向裝置,電機(jī),其中所述攪拌桶內(nèi)設(shè)有攪拌軸,所述攪拌軸上設(shè)有兩片攪拌葉,所述攪拌桶上部設(shè)有轉(zhuǎn)向裝置,轉(zhuǎn)向裝置上部有定時裝置,定時裝置上部設(shè)有電機(jī);所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸通過定時裝置和轉(zhuǎn)向裝置的一端相連且設(shè)置于攪拌桶的上方;所述攪拌軸垂直設(shè)置在攪拌桶的中部,所述攪拌葉垂直固定在攪拌軸的下端,所述攪拌葉為螺旋攪拌葉。
2.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片研磨液的攪拌裝置,其特征在于所述攪拌桶下部設(shè)有過濾板,儲液槽,所述儲液槽位于過濾板的下部;所述攪拌桶底部設(shè)有出液口 ;所述過濾板用來過濾未充分?jǐn)嚢枋O聛淼拇蟮念w粒;所述儲液槽,用來讓攪拌充分完成的研磨液流向出液口。
【文檔編號】B01F15/02GK203816550SQ201320893200
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2013年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月31日
【發(fā)明者】聶金根 申請人:鎮(zhèn)江市港南電子有限公司