一種硅片研磨液的攪拌裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于硅片加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種硅片研磨液的攪拌裝置，包括具有加液口、出液口的攪拌桶體，以及設(shè)置在攪拌桶體上對(duì)攪拌桶體內(nèi)進(jìn)行攪拌的攪拌機(jī)構(gòu)，攪拌機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在攪拌桶體上的攪拌電機(jī)以及聯(lián)結(jié)攪拌電機(jī)輸出軸的攪拌主軸、設(shè)置在攪拌主軸上的多個(gè)攪拌葉片，所述每個(gè)攪拌葉片的側(cè)壁均開設(shè)有凹槽。因此本實(shí)用新型無需人工攪拌、減少勞動(dòng)強(qiáng)度，且攪拌均勻、完全滿足硅片生產(chǎn)要求。
【專利說明】一種硅片研磨液的攪拌裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于硅片加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種硅片研磨液的攪拌裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片加工過程中，為了達(dá)到硅片的成型要求，需要對(duì)硅片進(jìn)行研磨?，F(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)硅片加工所需要的研磨液，一般采用人工攪拌，由于人工攪拌，其用力不均、攪拌不均勻，很難達(dá)到硅片的成型要求，從而制成的硅片質(zhì)量不能達(dá)標(biāo)；另外人工攪拌、勞動(dòng)強(qiáng)度大，工作效率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種無需人工攪拌、減少勞動(dòng)強(qiáng)度，且攪拌均勻、完全滿足硅片生產(chǎn)要求的硅片研磨液的攪拌裝置。
[0004]實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0005]研磨液的攪拌裝置，包括具有加液口、出液口的攪拌桶體，以及設(shè)置在攪拌桶體上對(duì)攪拌桶體內(nèi)進(jìn)行攪拌的攪拌機(jī)構(gòu)，所述攪拌機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在攪拌桶體上的攪拌電機(jī)以及聯(lián)結(jié)攪拌電機(jī)輸出軸的攪拌主軸、設(shè)置在攪拌主軸上的多個(gè)攪拌葉片，所述每個(gè)攪拌葉片的側(cè)壁均開設(shè)有凹槽。
[0006]所述攪拌桶體上口端設(shè)有連接蓋，所述攪拌電機(jī)固定設(shè)置在連接蓋上。
[0007]還包括向攪拌桶體內(nèi)輸送氣流的輸氣裝置，其包括氣泵以及與氣泵連接的輸氣管道，所述輸氣管道的輸氣口穿過攪拌桶體位于攪拌葉片的下方。
[0008]采用了上述方案，將硅片研磨液從攪拌桶體的加液口添加到攪拌桶體內(nèi)，此時(shí)出液口是密封的，啟動(dòng)攪拌電機(jī)帶動(dòng)攪拌葉片進(jìn)行攪拌，在攪拌葉片上開設(shè)凹槽，這樣在葉片旋轉(zhuǎn)攪拌時(shí)，就會(huì)帶動(dòng)更多的研磨液進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，從而增加攪拌力度，提高攪拌效率；另外輸氣裝置通過輸氣管道向攪拌桶體內(nèi)輸送氣體，使研磨液運(yùn)動(dòng)，也增加了研磨液充分?jǐn)嚢璧臋C(jī)會(huì)；而在研磨液充分?jǐn)噭蚝?，從出液口將其放出。因此本?shí)用新型無需人工攪拌、減少勞動(dòng)強(qiáng)度，且攪拌均勻、完全滿足硅片生產(chǎn)要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖中，I為加液口，2為出液口，3為攪拌桶體,4為連接蓋,5為攪拌電機(jī),6為攪拌主軸，7為攪拌葉片，8為凹槽，9為氣泵，10為輸氣管道，11為密封圈。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0012]參見圖1，一種硅片研磨液的攪拌裝置，包括具有加液口 1、出液口 2的攪拌桶體3，需要研磨的硅片研磨液從加液口中加到攪拌桶體中，并可以從出液口中流出，在攪拌桶體上口端設(shè)有連接蓋4，連接蓋4通過螺栓固定連接在攪拌桶體上，攪拌電機(jī)5固定設(shè)置在連接蓋4上，從而連接蓋對(duì)攪拌電機(jī)形成支撐，無論攪拌電機(jī)工作或停止時(shí)，都很牢固；攪拌電機(jī)的輸出軸通過聯(lián)軸器與攪拌主軸6聯(lián)結(jié)在一起，從而攪拌電機(jī)的動(dòng)力能夠傳遞給攪拌主軸6，攪拌主軸的下端固定設(shè)置三個(gè)攪拌葉片7，在每個(gè)攪拌葉片的側(cè)壁均開設(shè)有凹槽8，以便帶動(dòng)攪拌葉片周圍更多的研磨液運(yùn)動(dòng)，提高攪拌效率；向攪拌桶體內(nèi)輸送氣流的輸氣裝置，其包括氣泵9以及與氣泵連接的輸氣管道10，輸氣管道的輸氣口穿過攪拌桶體位于攪拌葉片的下方，在輸氣管道穿過攪拌桶體的地方設(shè)置有密封圈11，放置研磨液從此處滲出。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片研磨液的攪拌裝置，包括具有加液口、出液口的攪拌桶體，以及設(shè)置在攪拌桶體上對(duì)攪拌桶體內(nèi)進(jìn)行攪拌的攪拌機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述攪拌機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在攪拌桶體上的攪拌電機(jī)以及聯(lián)結(jié)攪拌電機(jī)輸出軸的攪拌主軸、設(shè)置在攪拌主軸上的多個(gè)攪拌葉片，所述每個(gè)攪拌葉片的側(cè)壁均開設(shè)有凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片研磨液的攪拌裝置，其特征在于:所述攪拌桶體上口端設(shè)有連接蓋，所述攪拌電機(jī)固定設(shè)置在連接蓋上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片研磨液的攪拌裝置，其特征在于:還包括向攪拌桶體內(nèi)輸送氣流的輸氣裝置，其包括氣泵以及與氣泵連接的輸氣管道，所述輸氣管道的輸氣口穿過攪拌桶體位于攪拌葉片的下方。
【文檔編號(hào)】B01F13/02GK203425741SQ201320383897
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年6月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月30日
【發(fā)明者】周建國, 夏利榮 申請(qǐng)人:常州市立威刀具有限公司