專利名稱：廢氣處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種廢氣處理設(shè)備，尤其涉及一種由至少四個(gè)洗滌塔構(gòu)成的廢氣處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
一般工業(yè)工藝所產(chǎn)生的工藝廢氣通常包括有毒物質(zhì)且具有臭味，如果廢氣未經(jīng)過妥善處理，則會(huì)造成空氣污染。為了除去廢氣中的污染物，必須利用空氣污染防治設(shè)備處理廢氣，以使廢氣中的污染物質(zhì)濃度低于法規(guī)規(guī)定的限值。一般業(yè)界常用的空氣污染防治設(shè)備即為洗滌塔廢氣處理系統(tǒng)，洗滌塔廢氣處理系統(tǒng)以液體洗滌的方法除去廢氣中之污染物。圖1為現(xiàn)有技術(shù)的處理工藝廢氣的洗滌塔廢氣處理系統(tǒng)I的示意圖。洗滌塔廢氣處理系統(tǒng)I包含進(jìn)氣裝置12、洗滌液供應(yīng)裝置14、沉淀槽16及洗滌塔18等。洗滌液供應(yīng)裝置14又包含循環(huán)泵141、管路142及設(shè)于洗滌塔18內(nèi)的噴灑設(shè)備(圖未顯示)。洗滌塔廢氣處理系統(tǒng)I操作時(shí)，首先，將洗滌液以循環(huán)泵141經(jīng)管路142輸送至洗滌塔18塔頂，由塔頂進(jìn)入洗滌塔18中。接著，洗滌液經(jīng)噴灑設(shè)備均勻?yàn)⑾虏⒒氐较礈焖?8塔底，然后再由循環(huán)泵141輸送至塔頂而成一循環(huán)。另一方面，廢氣自塔底或塔頂導(dǎo)入洗滌塔18中，然后向上或向下流動(dòng)并與洗滌液接觸，使廢氣中的污染物溶入洗滌液，經(jīng)凈化的氣體則由塔頂排出。一般來說，當(dāng)洗滌液與廢氣接觸面積越大，洗滌塔18的廢氣洗滌效果會(huì)越好，因此洗滌塔18通常需設(shè)計(jì)成具有大的液面面積和最低的氣體壓力損失。為了達(dá)到上述目的，通常會(huì)在洗滌塔18內(nèi)裝填填充材，以增加液氣的交換面積，以提高廢氣的洗滌效率。常用的填充材例如拉希環(huán)等。隨著科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體工藝也不斷的更新，因而所產(chǎn)生的廢氣含有更多更復(fù)雜的污染物成份，這些污染物依靠現(xiàn)有技術(shù)的洗滌塔廢氣處理系統(tǒng)已無法妥善處理。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一個(gè)由至少四個(gè)洗滌塔構(gòu)成的廢氣處理設(shè)備，以有效處理新工藝所產(chǎn)生的廢氣。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種廢氣處理設(shè)備，用以處理廢氣，包括沉淀槽及安裝在所述沉淀槽上的洗滌裝置，該沉淀槽具有至少二池體，用以盛裝一洗滌液；該洗滌裝置包含進(jìn)氣洗滌塔、出氣洗滌塔及至少一洗滌塔組，該洗滌塔組進(jìn)一步包含第一洗滌塔及第二洗滌塔，該第一洗滌塔及該第二洗滌塔是局部互相連通，該進(jìn)氣洗滌塔及該第一洗滌塔位于該沉淀槽同一池體上方，而該出氣洗滌塔及該第二洗滌塔則位于該沉淀槽內(nèi)另一池體上方，當(dāng)該沉淀槽盛裝該洗滌液時(shí)，每一池體內(nèi)洗滌液的液面與該洗滌裝置底部之間形成著一空間；當(dāng)該廢氣進(jìn)入該廢氣處理設(shè)備內(nèi)處理時(shí),廢氣將依序經(jīng)進(jìn)氣洗滌塔、沉淀槽相對(duì)應(yīng)的池體內(nèi)空間、第一洗滌塔、第二洗滌塔、沉淀槽內(nèi)另一池體內(nèi)的空間、出氣洗滌塔，最后已凈化后的廢氣再由該出氣洗滌塔排出。利用本發(fā)明的至少四道洗滌的廢氣處理設(shè)備，可有效處理新工藝所產(chǎn)生的之廢氣，且對(duì)應(yīng)廢氣量增加，有效延長(zhǎng)洗滌流徑，而設(shè)備尺寸維持不變。本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備可使無塵室空間有效運(yùn)用，且解決現(xiàn)有技術(shù)所無法解決的問題。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的處理工藝廢氣的洗滌塔廢氣處理系統(tǒng)的示意圖。圖2為本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備的沉淀槽的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備的洗滌裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5A及圖5B為本發(fā)明的廢氣進(jìn)入廢氣處理設(shè)備的流向示意圖。圖6為本發(fā)明的洗滌液供應(yīng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為本發(fā)明廢氣處理設(shè)備的洗滌裝置另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)俯視剖面示意圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下:1:洗滌塔廢氣處理系統(tǒng)12:進(jìn)氣裝置14:洗滌液供應(yīng)裝置141:循環(huán)泵142:管路16:沉淀槽18:洗滌塔2:廢氣處理設(shè)備21:洗滌裝置2IA:進(jìn)氣洗滌塔21B:第一洗滌塔2IC:第二洗滌塔2ID:出氣洗滌塔2IE:第三洗滌塔2IF:第四洗滌塔213:中空管214:進(jìn)氣管215:出氣管23:沉淀槽232:第一池體233:第二池體25:洗滌液供應(yīng)裝置251:循環(huán)泵252:管路253:噴灑單元
具體實(shí)施例方式以下配合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式做更詳細(xì)的說明，以使本領(lǐng)域技術(shù)人員在研讀本說明書后能據(jù)以實(shí)施。本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備用以處理半導(dǎo)體工藝所產(chǎn)生的廢氣。圖2為本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備2的結(jié)構(gòu)意示圖。廢氣處理設(shè)備2包含洗滌裝置21、沉淀槽23及洗滌液供應(yīng)裝置25。洗滌裝置21設(shè)于沉淀槽23上方，且與沉淀槽23連接。而洗滌液供應(yīng)裝置25設(shè)于沉淀槽23 —側(cè)及洗滌裝置21內(nèi)部。圖3為本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備2的沉淀槽23的結(jié)構(gòu)圖。沉淀槽23具有至少二池體232、233，可用以盛裝洗滌液(圖未顯示)。各池體232、233正上方用以設(shè)置二個(gè)洗滌塔(圖未顯示)。該池體232、233內(nèi)并與安裝其上的洗滌塔內(nèi)空間相連通。圖4為本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備2的洗滌裝置21的結(jié)構(gòu)示意圖。洗滌裝置21包含進(jìn)氣洗滌塔21A、出氣洗滌塔21D及至少一個(gè)洗滌塔組，該洗滌塔組進(jìn)一步包含第一洗滌塔21B及第二洗滌塔21C。其中，第一洗滌塔21B及第二洗滌塔21C系局部互相連通。在本實(shí)施例中，第一洗滌塔21B及第二洗滌塔21C間具有一個(gè)中空管213，連通第一洗滌塔21B及第二洗滌塔21C，但連通方式并不以中空管213為限。每一洗條塔內(nèi)部皆具有相關(guān)的廢氣過濾裝置(圖中未畫出)，例如噴灑單元、由拉西環(huán)所形成的過濾層等，以對(duì)廢氣進(jìn)行相關(guān)的處理。由于洗條塔內(nèi)的相關(guān)過濾裝置可針對(duì)不同廢氣而選用不同的結(jié)構(gòu)或型式，故圖中未畫出，也不因此限制本發(fā)明洗條塔內(nèi)的結(jié)構(gòu)。此外，洗滌裝置21更具有至少為一的廢氣進(jìn)氣管214及出氣管215。進(jìn)氣管214設(shè)置于進(jìn)氣洗滌塔21A頂部，以供廢氣自進(jìn)氣洗滌塔21A頂部進(jìn)入。出氣管215設(shè)置于出氣洗滌塔21D頂部，以供廢氣自出氣洗滌塔21D排出。該廢氣進(jìn)氣管214的安裝位置并不此為限，亦能設(shè)置于進(jìn)氣洗滌塔21A側(cè)邊、中間位置或其它位置。同理該出氣管215安裝于出氣洗滌塔2ID的位置亦能改變。在本發(fā)明中該洗滌裝置21的進(jìn)氣洗滌塔21A、出氣洗滌塔21D、第一洗滌塔21B及第二洗滌塔21C，呈田字型安裝于該沉淀槽23上。如圖2 圖4所示，進(jìn)氣洗滌塔21A及第一洗滌塔21B位于沉淀槽23的同一池體正上方；第二洗滌塔21C及出氣洗滌塔21D位于沉淀槽23的另一池體正上方。在本實(shí)施例中，進(jìn)氣洗滌塔2IA及第一洗滌塔2IB位于池體232上方，因此兩塔內(nèi)空間并與池體232內(nèi)空間相連通;出氣洗滌塔2ID及第二洗滌塔2IC位于池體233正上方，兩塔內(nèi)空間也與池體233內(nèi)空間相連通。圖5A及圖5B為本發(fā)明的廢氣進(jìn)入廢氣處理設(shè)備的流向示意圖。其中，為清楚說明，圖5A僅繪示進(jìn)氣洗滌塔21A、第一洗滌塔21B及沉淀槽23的池體232 ;圖5B僅繪示第二洗滌塔21C、出氣洗滌塔2ID及沉淀槽23的池體233。如5A及5B所示，當(dāng)利用本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備處理工藝廢氣時(shí)，首先，在沉淀槽23內(nèi)盛裝洗滌液，洗滌液的液面位于洗滌裝置21底部下方，以使洗滌液的液面與洗滌裝置21底部的水平面間形成一空間。較佳地，洗滌液的液面僅為沉淀槽23高度的1/2至2/3。當(dāng)廢氣(圖中的箭頭處即代表廢氣的流動(dòng)方向)進(jìn)入洗滌裝置21時(shí)，廢氣自進(jìn)氣洗滌塔21A的頂部進(jìn)入，到達(dá)進(jìn)氣洗滌塔21A下方，通過池體232內(nèi)液面上的空間，進(jìn)入第一洗滌塔21B下方，接著自第一洗滌塔21B上方經(jīng)過中空管213進(jìn)入第二洗滌塔21C上方，向下到達(dá)第二洗滌塔21C下方，通過池體233內(nèi)液面上的空間，而進(jìn)入出氣洗滌塔21D下方，接著自出氣洗滌塔2ID的頂部排出。圖6為本發(fā)明的洗滌液供應(yīng)裝置25的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備2運(yùn)作時(shí)，需搭配洗滌液循環(huán)使用，通過洗滌液供應(yīng)裝置25達(dá)到洗滌液循環(huán)的目的，此圖僅為本發(fā)明的一種實(shí)施例，并不因此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。本發(fā)明的洗滌液供應(yīng)裝置25包含循環(huán)泵251、管路252及分別設(shè)于四個(gè)洗滌塔21A 21D內(nèi)部上方的四個(gè)噴灑單元253，且各噴灑單元253位于過濾層(圖未顯示)上方。噴灑單元253用以噴灑洗滌液。圖中的箭頭即為經(jīng)循環(huán)泵251抽送后的洗滌液于管路252中的流向。洗滌液供應(yīng)裝置25的作用方式和原理皆與現(xiàn)有技術(shù)相同，此處不再贅述。在本發(fā)明中，洗滌液可為自來水或冷凝水，另夕卜，洗滌液中也可以含硫酸、鹽酸或液堿等至少其中之一藥劑，以更有效去除廢氣中的有毒物質(zhì)。例如，鹽酸及硫酸可去除廢氣中的氨。液堿可處理廢氣中的氯氣及前述處理后衍生的銨氮。本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備的洗滌塔組的個(gè)數(shù)并無限制，可以為上述之一組，也可為二組或二組以上，故洗滌塔數(shù)量則至少為4個(gè)，也可為6個(gè)、8個(gè)或8個(gè)以上，并無限制。下面為本發(fā)明另一實(shí)施例，在本實(shí)施例中，沉淀槽具有三池體，各池體正上方具有二個(gè)洗滌塔，意即共有六個(gè)洗滌塔。圖7為本發(fā)明廢氣處理設(shè)備的洗滌裝置21另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)俯視剖面示意圖。洗滌裝置21除了包含進(jìn)氣洗滌塔2IA及出氣洗滌塔2ID外，也包含一個(gè)第一洗滌塔組及一個(gè)第二洗滌塔組，第一洗滌塔組包含第一洗滌塔21B及第二洗滌塔21C，第二洗滌塔組包含一個(gè)第三洗滌塔21E及一個(gè)第四洗滌塔21F。其中，第一洗滌塔21B及第二洗滌塔21C上方互相連通，第三洗滌塔21E及該第四洗滌塔21F上方互相連通。在本實(shí)施例中，第一洗滌塔2IA及第二洗滌塔2IC間具有個(gè)中空管213，連通第一洗滌塔2IA及第二洗滌塔21C，第三洗滌塔21E及第四洗滌塔21F間也具有中空管213，連通第三洗滌塔21E及第四洗滌塔21F。進(jìn)氣洗滌塔21A及第一洗滌塔21B位于沉淀槽(圖未顯示)的同一個(gè)池體正上方；第二洗滌塔21C及第三洗滌塔21E位于沉淀槽的同一個(gè)池體正上方，第四洗滌塔21F及出氣洗滌塔21D位于沉淀槽的同一池體正上方。當(dāng)廢氣進(jìn)入洗滌裝置21時(shí)，廢氣自進(jìn)氣洗滌塔21A進(jìn)入，到達(dá)進(jìn)氣洗滌塔21A下方，通過洗滌液的液面與洗滌裝置21底部的水平面間形成的空間，進(jìn)入第一洗滌塔21B下方，接著自第一洗滌塔21B上方進(jìn)入第二洗滌塔21C上方，向下到達(dá)第二洗滌塔21C下方，通過此空間，而進(jìn)入第三洗滌塔21E下方，接著到達(dá)第三洗滌塔21E上方進(jìn)入第四洗滌塔2IF上方，到達(dá)第四洗滌塔2IF下方，通過此空間，而進(jìn)入出氣洗滌塔2ID下方，接著自出氣洗滌塔2ID頂部排出。故可知，本實(shí)施例的廢氣流向與上述實(shí)施例雷同，本實(shí)施例僅是多了第三洗滌塔21E及第四洗滌塔21F的兩道洗滌程序。此外，本發(fā)明洗滌裝置的進(jìn)氣洗滌塔、第一洗滌塔、第二洗滌塔、第三洗滌塔、第四洗滌塔及出氣洗滌塔內(nèi)也可各包含一個(gè)過濾層(圖未顯示)，其可滯留洗滌液，以增加廢氣與洗滌液的作用時(shí)間，其中過濾層內(nèi)更包含至少一個(gè)拉希環(huán)，可增加廢氣與洗滌液的接觸面積。過濾層的結(jié)構(gòu)及功能與現(xiàn)有技術(shù)相同，本文不再贅述。
值得注意的是，本發(fā)明的沉淀池的池體數(shù)量會(huì)比洗滌塔組的數(shù)量多I個(gè)。利用本發(fā)明至少四道洗滌的廢氣處理設(shè)備，可有效處理新工藝所產(chǎn)生的廢氣，且對(duì)應(yīng)廢氣量增加，可有效延長(zhǎng)洗滌流徑，而設(shè)備尺寸維持不變。本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備可使無塵室空間有效運(yùn)用。本發(fā)明的廢氣處理設(shè)備可解決現(xiàn)有技術(shù)所無法解決的問題，故具有創(chuàng)造性。以上所述為僅用以解釋本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非企圖據(jù)以對(duì)本發(fā)明做任何形式上的限制，是以，凡有在相同的發(fā)明精神下所作有關(guān)本發(fā)明的任何修飾或變更，皆仍應(yīng)包括在本發(fā)明保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種廢氣處理設(shè)備，用以處理廢氣，包含: 一沉淀槽，具有至少二池體，該沉淀槽用以盛裝洗滌液； 一洗滌裝置，安裝于該沉淀槽上，包含進(jìn)氣洗滌塔、出氣洗滌塔及至少一洗滌塔組，該洗滌塔組進(jìn)一步包含第一洗滌塔及第二洗滌塔，該第一洗滌塔及該第二洗滌塔局部互相連通，該進(jìn)氣洗滌塔及該第一洗滌塔位于該沉淀槽同一池體上方，而該出氣洗滌塔及該第二洗滌塔則位于該沉淀槽內(nèi)另一池體上方，當(dāng)該沉淀槽盛裝該洗滌液時(shí),每一池體內(nèi)洗滌液的液面與該洗滌裝置底部之間形成一空間； 當(dāng)該廢氣進(jìn)入該廢氣處理設(shè)備內(nèi)處理時(shí)，廢氣將依序經(jīng)進(jìn)氣洗滌塔、相對(duì)應(yīng)的池體內(nèi)空間、第一洗滌塔、第二洗滌塔、沉淀槽內(nèi)另一池體內(nèi)的空間、出氣洗滌塔，最后已凈化后的廢氣再由該出氣洗滌塔排出。
2.如權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備，其中該第一洗滌塔及該第二洗滌塔間具有一中空管，連通該第一洗滌塔及該第二洗滌塔。
3.如權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備，其中該各洗滌塔內(nèi)具有廢氣過濾裝置。
4.如權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備，其中該廢氣自該進(jìn)氣洗滌塔頂部或側(cè)邊進(jìn)入，自該出氣洗滌塔頂部或側(cè)邊排出。
5.如權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備，其中該池體的數(shù)量比該洗滌塔組的數(shù)量多I。
6.如權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備，其中該洗滌液的液面僅為該沉淀槽高度的1/2至 2/3。
7.如權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備，其中該洗滌液為自來水或冷凝水。
8.如權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備，該洗滌液更包含一藥劑，該藥劑由硫酸、鹽酸和液堿至少其中之一組成。
9.如權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備，其中該洗滌裝置的進(jìn)氣洗滌塔、出氣洗滌塔、以及該洗滌塔組的第一洗滌塔及第二洗滌塔，呈田字型安裝于該沉淀槽上。
10.如權(quán)利要求1所述的廢氣處理設(shè)備，其中該沉淀槽具有三池體，且該洗滌裝置進(jìn)一步包含第一洗滌塔組及第二洗滌塔組，該第一洗滌塔組包含該第一洗滌塔及該第二洗滌塔，該第二洗滌塔組包含第三洗滌塔及第四洗滌塔，其中，第一洗滌塔及第二洗滌塔上方互相連通，第三洗滌塔及該第四洗滌塔上方互相連通，該進(jìn)氣洗滌塔及第一洗滌塔、該第二洗滌塔及第三洗滌塔、以及第四洗滌塔及出氣洗滌塔等三組分別位于該沉淀槽的三個(gè)池體的正上方O
全文摘要
本發(fā)明提供了一種廢氣處理設(shè)備，用以處理廢氣，包含沉淀槽及安裝在所述沉淀槽上的洗滌裝置，該洗滌裝置包含進(jìn)氣洗滌塔、出氣洗滌塔及至少一洗滌塔組，該洗滌塔組進(jìn)一步包含第一洗滌塔及第二洗滌塔，該第一洗滌塔及該第二洗滌塔局部互相連通；該沉淀槽用以盛裝一洗滌液，具有至少二池體；該進(jìn)氣及第一洗滌塔、與該出氣及第二洗滌塔則分別經(jīng)沉淀槽內(nèi)不同的池體相互連通，當(dāng)廢氣進(jìn)入廢氣處理設(shè)備內(nèi)處理時(shí)，廢氣將依序經(jīng)過進(jìn)氣洗滌塔、相對(duì)應(yīng)的池體內(nèi)空間、第一洗滌塔、第二洗滌塔、沉淀槽內(nèi)另一池體內(nèi)的空間、出氣洗滌塔，最后已凈化后的廢氣再由該出氣洗滌塔排出。
文檔編號(hào)B01D53/38GK103203173SQ20121001324
公開日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2012年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月13日
發(fā)明者陳翊飏 申請(qǐng)人:九威科技有限公司