專利名稱：含氨尾氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種含氨尾氣處理裝置。
背景技術(shù)：
在LED外延片、芯片等光電產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，氨氣(NH3)被用以提供N源。在連續(xù) 生產(chǎn)線中的尾氣中，未分解的氨仍占大多數(shù)。氨氣會(huì)強(qiáng)烈刺激人的粘膜和眼睛，對(duì)呼吸道有 窒息作用，16%-25%(V/V)的氣態(tài)無水氨和空氣會(huì)形成爆炸性混合物。所以，氨氣不可以直接 排放，必需要經(jīng)過處理達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排放。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種效率高、自動(dòng)化程度高的含氨尾氣處理裝置。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種含氨尾氣處理裝置，具有進(jìn)氣口和出氣口，所述的含氨尾氣處理裝置包括以 管道相連通的變頻泵、換熱器、分解爐，所述的變頻泵、所述的分解爐均具有進(jìn)氣端和出氣 端，所述的換熱器具有第一進(jìn)氣端、第二進(jìn)氣端、第一出氣端、第二出氣端，所述的變頻泵的 進(jìn)氣端與所述的進(jìn)氣口相連通，所述的變頻泵的出氣端與所述的換熱器的第一進(jìn)氣端相連 通，所述的換熱器的第一出氣端與所述的分解爐的進(jìn)氣端相連通，所述的分解爐的出氣端 與所述的換熱器的第二進(jìn)氣端相連通，所述的換熱器的第二出氣端與所述的出氣口相連 通；所述的分解爐中填充有鎳基催化劑；連通所述的進(jìn)氣口與所述的變頻泵的管道上設(shè)置有進(jìn)氣閥，連通所述的換熱器的 第二出氣端與所述的出氣口的管道上設(shè)置有出氣閥。優(yōu)選的，所述的分解爐包括爐體、設(shè)置在所述的爐體中的爐膽，所述的爐體與所述 的爐膽之間填充有保溫絕熱材料，所述的爐膽的外圍設(shè)置有空心的耐火磚，所述的耐火磚 的空心中設(shè)置有電阻加熱絲，所述的鎳基催化劑填充在所述的爐膽中。優(yōu)選的，所述的出氣閥與所述的出氣口之間設(shè)置有阻火器。優(yōu)選的，所述的進(jìn)氣閥與所述的變頻泵之間設(shè)置有壓力變送器，所述的壓力變送 器與所述的變頻泵相信號(hào)連鎖。優(yōu)選的，所述的進(jìn)氣閥與所述的變頻泵之間設(shè)置有第一截止閥，所述的變頻泵與 所述的換熱器之間設(shè)置有第二截止閥。優(yōu)選的，所述的變頻泵的兩端并聯(lián)有旁通閥。優(yōu)選的，所述的換熱器與所述的出氣閥之間設(shè)置有流量計(jì)。優(yōu)選的，所述的分解爐上設(shè)置有控制所述的爐膽內(nèi)溫度的溫度控制儀。優(yōu)選的，所述的進(jìn)氣閥為止回閥。本實(shí)用新型工作原理是含氨尾氣由所述的進(jìn)氣口進(jìn)入該含氨尾氣處理裝置，通 過所述的變頻泵的增壓，壓力提高至20Kpa以上，然后通過所述的換熱器后進(jìn)入所述的分 解爐。所述的分解爐內(nèi)填充鎳基催化劑，在鎳基催化劑的作用下，氨氣會(huì)在高溫下分解為氮?dú)夂蜌錃?，反?yīng)式為2NH3 = N2 + 3H2分解后的氮?dú)夂蜌錃馑龅耐ㄟ^換熱器與經(jīng)由變頻泵的含氨尾氣進(jìn)行熱量交換 后，降低溫度，再通過出氣口排放至大氣中，或者被回收利用。由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型 的含氨尾氣處理裝置尾氣處理效率高，能夠滿足尾氣排放的環(huán)保要求，同時(shí)自動(dòng)化程度高， 可實(shí)現(xiàn)無人值守，操作維護(hù)簡(jiǎn)單。

附圖1為本實(shí)用新型的含氨尾氣處理裝置的示意圖。以上附圖中1、進(jìn)氣口 ；2、出氣口 ；3、管道；4、變頻泵；5、換熱器；6、分解爐；7、進(jìn) 氣閥；8、壓力變送器；9、第一截止閥；10、第二截止閥；11、旁通閥；12、爐體；13、爐膽；14、 鎳基催化劑；15、溫度控制儀；16、流量計(jì)；17、出氣閥；18、阻火器。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖所示的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。實(shí)施例一參見附圖1所示。一種含氨尾氣處理裝置，具有進(jìn)氣口 1和出氣口 2，該含氨尾氣處理裝置包括以管 道3相連通的變頻泵4、換熱器5、分解爐6。變頻泵4具有進(jìn)氣端和出氣端，變頻泵4的進(jìn)氣端與進(jìn)氣口 1相連通，變頻泵4的 出氣端與換熱器5相連通。連通進(jìn)氣口 1與變頻泵4的管道3上設(shè)置有進(jìn)氣閥7、壓力變送 器8，進(jìn)氣閥7為止回閥，壓力變送器8與變頻泵4相信號(hào)連鎖。壓力變送器8與變頻泵4 之間設(shè)置有第一截止閥9。變頻泵4與換熱器5之間設(shè)置有第二截止閥10，變頻泵4的兩 端并聯(lián)有旁通閥11。換熱器5具有第一進(jìn)氣端、第二進(jìn)氣端、第一出氣端、第二出氣端，變頻泵4的出氣 端與換熱器5的第一進(jìn)氣端相連通。分解爐6均具有進(jìn)氣端和出氣端，分解爐6包括爐體12、設(shè)置在爐體中的爐膽13， 爐體12與爐膽13之間填充有保溫絕熱材料，爐膽13的外圍設(shè)置有空心的耐火磚，耐火磚 的空心中設(shè)置有電阻加熱絲，爐膽13中填充有鎳基催化劑14，分解爐6的進(jìn)氣端與換熱器 5的第一出氣端相連通，分解爐6上設(shè)置有控制爐膽內(nèi)溫度的溫度控制儀15，使分解爐6內(nèi) 的溫度保持在800°C左右。分解爐6的出氣端與換熱器5的第二進(jìn)氣端相連通，換熱器5的第二出氣端與出 氣口 2相連通；連通換熱器5的第二出氣端與出氣口 2的管道3上設(shè)置有流量計(jì)16、出氣 閥17、阻火器18。含氨尾氣由進(jìn)氣口 1進(jìn)入該含氨尾氣處理裝置，通過變頻泵4的增壓，壓力提高至 20Kpa以上，然后通過換熱器5后進(jìn)入分解爐6。在鎳基催化劑的作用下，氨氣會(huì)在高溫下 分解為氮?dú)夂蜌錃猓磻?yīng)式為2NH3 = N2 + 3H2分解后的氮?dú)夂蜌錃馔ㄟ^換熱器8與經(jīng)由變頻泵4的含氨尾氣進(jìn)行熱量交換后，降低溫度，再通過出氣口 2排放至大氣中，或者被回收利用。 壓力變送器8檢測(cè)含氨尾氣的壓力并傳送給變頻泵4，變頻泵4會(huì)根據(jù)含氨尾氣的 壓力，自動(dòng)調(diào)整抽氣量，當(dāng)壓力低至某一設(shè)定值后，變頻泵4會(huì)自動(dòng)停機(jī)，以保護(hù)生產(chǎn)線的 正常生產(chǎn)。若變頻泵4出現(xiàn)故障，可手動(dòng)關(guān)閉第一截止閥9、第二截止閥10并打開旁通閥 11，可以在不停機(jī)的情況下進(jìn)行變頻泵4的維修或維護(hù)。該含氨尾氣處理裝置尾氣處理效率高，能夠滿足尾氣排放的環(huán)保要求，同時(shí)自動(dòng) 化程度高，可實(shí)現(xiàn)無人值守，操作維護(hù)簡(jiǎn)單。上述實(shí)施例只為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù) 的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。 凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之 內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種含氨尾氣處理裝置，具有進(jìn)氣口和出氣口，其特征在于所述的含氨尾氣處理 裝置包括以管道相連通的變頻泵、換熱器、分解爐，所述的變頻泵、所述的分解爐均具有進(jìn) 氣端和出氣端，所述的換熱器具有第一進(jìn)氣端、第二進(jìn)氣端、第一出氣端、第二出氣端，所述 的變頻泵的進(jìn)氣端與所述的進(jìn)氣口相連通，所述的變頻泵的出氣端與所述的換熱器的第一 進(jìn)氣端相連通，所述的換熱器的第一出氣端與所述的分解爐的進(jìn)氣端相連通，所述的分解 爐的出氣端與所述的換熱器的第二進(jìn)氣端相連通，所述的換熱器的第二出氣端與所述的出 氣口相連通；所述的分解爐中填充有鎳基催化劑；連通所述的進(jìn)氣口與所述的變頻泵的管道上設(shè)置有進(jìn)氣閥，連通所述的換熱器的第二 出氣端與所述的出氣口的管道上設(shè)置有出氣閥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氨尾氣處理裝置，其特征在于所述的分解爐包括爐體、設(shè) 置在所述的爐體中的爐膽，所述的爐體與所述的爐膽之間填充有保溫絕熱材料，所述的爐 膽的外圍設(shè)置有空心的耐火磚，所述的耐火磚的空心中設(shè)置有電阻加熱絲，所述的鎳基催 化劑填充在所述的爐膽中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氨尾氣處理裝置，其特征在于所述的出氣閥與所述的出 氣口之間設(shè)置有阻火器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氨尾氣處理裝置，其特征在于所述的進(jìn)氣閥與所述的變 頻泵之間設(shè)置有壓力變送器，所述的壓力變送器與所述的變頻泵相信號(hào)連鎖。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氨尾氣處理裝置，其特征在于所述的進(jìn)氣閥與所述的變 頻泵之間設(shè)置有第一截止閥，所述的變頻泵與所述的換熱器之間設(shè)置有第二截止閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氨尾氣處理裝置，其特征在于所述的變頻泵的兩端并聯(lián) 有旁通閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氨尾氣處理裝置，其特征在于所述的換熱器與所述的出 氣閥之間設(shè)置有流量計(jì)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氨尾氣處理裝置，其特征在于所述的分解爐上設(shè)置有控 制所述的爐膽內(nèi)溫度的溫度控制儀。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氨尾氣處理裝置，其特征在于所述的進(jìn)氣閥為止回閥。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種含氨尾氣處理裝置，具有進(jìn)氣口和出氣口，包括以管道相連通的變頻泵、換熱器、分解爐，換熱器具有第一進(jìn)氣端、第二進(jìn)氣端、第一出氣端、第二出氣端，變頻泵的進(jìn)氣端與進(jìn)氣口相連通，變頻泵的出氣端與換熱器的第一進(jìn)氣端相連通，換熱器的第一出氣端與分解爐的進(jìn)氣端相連通，分解爐的出氣端與換熱器的第二進(jìn)氣端相連通，換熱器的第二出氣端與出氣口相連通；分解爐中填充有鎳基催化劑；連通進(jìn)氣口與變頻泵的管道上設(shè)置有進(jìn)氣閥，連通換熱器的第二出氣端與出氣口的管道上設(shè)置有出氣閥。本實(shí)用新型的含氨尾氣處理裝置尾氣處理效率高，能夠滿足尾氣排放的環(huán)保要求，同時(shí)自動(dòng)化程度高，可實(shí)現(xiàn)無人值守，操作維護(hù)簡(jiǎn)單。
文檔編號(hào)B01D53/58GK201906561SQ20102066489
公開日2011年7月27日 申請(qǐng)日期2010年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月17日
發(fā)明者李輝, 郗春滿, 郭正軍 申請(qǐng)人:蘇州蘇凈保護(hù)氣氛有限公司