專(zhuān)利名稱(chēng)：一種真空過(guò)濾罐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空過(guò)濾罐，用于單晶硅的生產(chǎn)。
背景技術(shù)：
在直拉單晶的生產(chǎn)中，單晶的熔解、成晶需要在高溫真空狀態(tài)下進(jìn)行，單晶爐內(nèi)會(huì) 產(chǎn)生許多高溫?fù)]發(fā)物，這些高溫?fù)]發(fā)物伴隨著空氣中的灰塵，如果直接任其進(jìn)入到真空泵 內(nèi)，會(huì)較大地污染真空泵油，影響真空泵的安全運(yùn)行，因此，在單晶爐與真空泵之間，需要配 置一個(gè)真空過(guò)濾罐。通常，該真空過(guò)濾罐的內(nèi)部設(shè)置有中心出氣道，中心出氣道與出氣口相 連；在罐體的下部設(shè)有進(jìn)氣口，在罐內(nèi)設(shè)置有橫向的上、下通氣擋板，上、下通氣擋板上均具 有通氣孔，，且上、下通氣擋板通過(guò)通氣孔與中心出氣道相通；在上、下通氣擋板之間套裝有 一個(gè)上下直徑相等且與上、下通氣檔板相垂直的直筒過(guò)濾網(wǎng)。這種真空過(guò)濾罐，一是過(guò)濾效 果不理想，仍然會(huì)有較多的灰塵、高溫?fù)]發(fā)物污染真空泵油，一般每直拉單晶5 6爐就需 要更換真空泵油。二是灰塵、高溫?fù)]發(fā)物等會(huì)附結(jié)在過(guò)濾網(wǎng)上，從而大大影響真空泵的吸力 和抽吸效果，甚至影響單晶成品率。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供具有好的過(guò)濾效果，且灰塵、高溫?fù)]發(fā)物等不會(huì)附結(jié)在 過(guò)濾網(wǎng)上的一種真空過(guò)濾罐。本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是一種真空過(guò)濾罐，在罐內(nèi)設(shè)有進(jìn)氣道且在罐體上 設(shè)有進(jìn)氣口，進(jìn)氣道與進(jìn)氣口相通連；在罐內(nèi)橫向設(shè)有上、下通氣擋板，通氣擋板上具有通 氣孔；罐內(nèi)設(shè)置有中心出氣道，中心出氣道與出氣口相通連，且上、下通氣擋板通過(guò)通氣孔 與進(jìn)氣道、中心出氣道相通；其特征在于在上、下通氣擋板之間套裝有一個(gè)上小下大的喇叭 形狀的過(guò)濾網(wǎng)。所述的過(guò)濾網(wǎng)的上部圓周與中心出氣道的外壁相貼近。所述的進(jìn)氣道設(shè)置在罐內(nèi)的側(cè)邊且在罐體的中上部設(shè)有進(jìn)氣口。所述的進(jìn)氣道設(shè)置在罐內(nèi)的底部且在罐體的下部設(shè)有進(jìn)氣口。采用本實(shí)用新型，由于采用上小下大的喇叭形狀的過(guò)濾網(wǎng)，過(guò)濾面積增加，可增加 過(guò)濾效果，同時(shí)，灰塵、高溫?fù)]發(fā)物等在經(jīng)過(guò)傾斜的過(guò)濾網(wǎng)后會(huì)過(guò)濾并落下，而不會(huì)形成大 量附結(jié)，就不會(huì)影響真空泵的吸力，確保了單晶爐內(nèi)真空抽吸效果，在一定程度上保證了單 晶成品率。

圖1是本實(shí)用新型的示意圖。圖中序號(hào)表示上通氣檔板1、罐體2、進(jìn)氣口 3、進(jìn)氣道4、下通氣檔板5、過(guò)濾網(wǎng)6、 中心出氣道7、通氣孔8、出氣口 9。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。參照?qǐng)D1，該真空過(guò)濾罐包括上通氣檔板1、罐體2、進(jìn)氣口 3、進(jìn)氣道4、下通氣檔板 5、過(guò)濾網(wǎng)6、中心出氣道7、通氣孔8和出氣口 9 ；在罐體2內(nèi)的側(cè)邊設(shè)有進(jìn)氣道4，在罐體2 的中上部設(shè)有進(jìn)氣口 3，進(jìn)氣道4與進(jìn)氣口 3相通連；在罐體2內(nèi)橫向設(shè)有上通氣擋板1和 下通氣檔板5，上通氣擋板1和下通氣檔板5上均具有通氣孔8 ；罐體2內(nèi)的中心處設(shè)置有 中心出氣道7，中心出氣道7位于上通氣擋板1和下通氣檔板5之間，中心出氣道7與出氣 口 9相通連；上通氣擋板1和下通氣檔板5通過(guò)通氣孔8與中心出氣道7、進(jìn)氣道4相通； 上小下大的喇叭形狀的過(guò)濾網(wǎng)6套裝在上通氣擋板1和下通氣檔板5之間，過(guò)濾網(wǎng)6的上 部圓周與中心出氣道7的外壁相貼近。使用時(shí)，從單晶爐中出來(lái)的灰塵、高溫?fù)]發(fā)物通過(guò)進(jìn)氣口 3及進(jìn)氣道4進(jìn)入，與進(jìn) 氣道4碰撞后產(chǎn)生少部分沉淀；之后，經(jīng)過(guò)下通氣檔板5，通過(guò)下通氣檔板5以及通氣孔8又 初步過(guò)濾，一部分大的顆粒又沉淀；然后，通過(guò)具有喇叭形狀的過(guò)濾網(wǎng)6，進(jìn)一步進(jìn)行過(guò)濾， 細(xì)小的顆粒會(huì)吸附在過(guò)濾網(wǎng)6上，隨著吸附量的增多并形成大的顆粒而沉淀，這樣，潔凈的 氣體經(jīng)過(guò)上通氣擋板1上的通氣孔8，進(jìn)入中心出氣道7，從出氣口 3進(jìn)入真空泵。由于采用上小下大的喇叭形狀的過(guò)濾網(wǎng)6，過(guò)濾面積增加，可增加過(guò)濾效果，同時(shí)， 灰塵、高溫?fù)]發(fā)物等在經(jīng)過(guò)傾斜的過(guò)濾網(wǎng)6后，會(huì)隨著吸附量的增多并形成大的顆粒，在自 重力作用下而沉淀，不易附結(jié)在傾斜的過(guò)濾網(wǎng)6上，確保了單晶爐內(nèi)真空抽吸效果，在一定 程度上保證了單晶成品率。據(jù)實(shí)踐證明，采用該真空過(guò)濾罐，真空泵油的使用壽命可延長(zhǎng)到 原來(lái)的2倍，可以使用到11 12爐后才需要更換。另外，在上述中，如果將進(jìn)氣口 3設(shè)置在罐體2的下部，且位于下通氣檔板5之下， 則進(jìn)氣道4可視為下通氣檔板5與罐體2的底部之間的區(qū)域，達(dá)到的進(jìn)氣效果與圖1中效 果基本相同，在此不在另行表述。
權(quán)利要求1.一種真空過(guò)濾罐，在罐內(nèi)設(shè)有進(jìn)氣道且在罐體上設(shè)有進(jìn)氣口，進(jìn)氣道與進(jìn)氣口相通 連；在罐內(nèi)橫向設(shè)有上、下通氣擋板，通氣擋板上具有通氣孔；罐內(nèi)設(shè)置有中心出氣道，中 心出氣道與出氣口相通連，且上、下通氣擋板通過(guò)通氣孔與進(jìn)氣道、中心出氣道相通；其特 征在于在上、下通氣擋板之間套裝有一個(gè)上小下大的喇叭形狀的過(guò)濾網(wǎng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空過(guò)濾罐，其特征在于過(guò)濾網(wǎng)的上部圓周與中心出氣 道的外壁相貼近。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空過(guò)濾罐，其特征在于所述的進(jìn)氣道設(shè)置在罐內(nèi)的側(cè) 邊且在罐體的中上部設(shè)有進(jìn)氣口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空過(guò)濾罐，其特征在于所述的進(jìn)氣道設(shè)置在罐內(nèi)的底 部且在罐體的下部設(shè)有進(jìn)氣口。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種真空過(guò)濾罐，該真空過(guò)濾罐的罐內(nèi)設(shè)有進(jìn)氣道且在罐體上設(shè)有進(jìn)氣口，進(jìn)氣道與進(jìn)氣口相通連；在罐內(nèi)橫向設(shè)有上、下通氣擋板，通氣擋板上具有通氣孔；罐內(nèi)設(shè)置有中心出氣道，中心出氣道與出氣口相通連，且上、下通氣擋板通過(guò)通氣孔與進(jìn)氣道、中心出氣道相通；在上、下通氣擋板之間套裝有一個(gè)上小下大的喇叭形狀的過(guò)濾網(wǎng)，過(guò)濾網(wǎng)的上部圓周與中心出氣道的外壁相貼近。采用本實(shí)用新型，由于采用上小下大的喇叭形狀的過(guò)濾網(wǎng)，過(guò)濾面積增加，可增加過(guò)濾效果，同時(shí)，灰塵、高溫?fù)]發(fā)物等在經(jīng)過(guò)傾斜的過(guò)濾網(wǎng)后會(huì)過(guò)濾并落下，而不會(huì)形成大量附結(jié)，就不會(huì)影響真空泵的吸力，確保了單晶爐內(nèi)真空抽吸效果，在一定程度上保證了單晶成品率。
文檔編號(hào)B01D50/00GK201855640SQ20102057665
公開(kāi)日2011年6月8日 申請(qǐng)日期2010年10月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月23日
發(fā)明者徐增宏, 方明游, 王土軍, 童時(shí)潮 申請(qǐng)人:浙江硅宏電子科技有限公司