技術(shù)編號：4987258
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種真空過濾罐，用于單晶硅的生產(chǎn)。 背景技術(shù)在直拉單晶的生產(chǎn)中，單晶的熔解、成晶需要在高溫真空狀態(tài)下進(jìn)行，單晶爐內(nèi)會 產(chǎn)生許多高溫?fù)]發(fā)物，這些高溫?fù)]發(fā)物伴隨著空氣中的灰塵，如果直接任其進(jìn)入到真空泵 內(nèi)，會較大地污染真空泵油，影響真空泵的安全運(yùn)行，因此，在單晶爐與真空泵之間，需要配 置一個真空過濾罐。通常，該真空過濾罐的內(nèi)部設(shè)置有中心出氣道，中心出氣道與出氣口相 連；在罐體的下部設(shè)有進(jìn)氣口，在罐內(nèi)設(shè)置有橫向的上、下通氣擋板，上、下通氣擋板上均具...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。