專利名稱：燃燒型廢氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及燃燒型廢氣處理裝置，所述燃燒型廢氣處理裝置用于通過燃燒處理包含例如硅烷氣體(SiH4)或鹵素氣體(NF3、 C1F3、 SF6、 CHF3、 C2F6、 CF4等)的有害且可燃燒廢氣，以使廢氣無害。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造裝置排出包含例如硅烷氣體(SiH4)或鹵素氣體(NF3、 C1F3、 SF6、 CHF3、 C2F6、 CF4)等有害且可燃燒廢氣的氣體。這種廢氣 不可被直接排放進(jìn)入大氣。這樣，廢氣通常被引入處理裝置中，在其中 廢氣通過燃燒被氧化以使廢氣無害。 一種廣泛使用的這種類型處理方法 是使用助燃?xì)怏w在爐內(nèi)形成火焰，在該爐內(nèi)通過火焰燃燒廢氣，參見日 本特許公開專利11-218317。半導(dǎo)體工業(yè)和液晶工業(yè)中使用的燃燒型廢氣處理裝置可能排出大量 粉塵(主要為Si02)以及大量酸性氣體作為廢氣燃燒處理的副產(chǎn)品。因 此，需要定期維護(hù)工作以除去處理部分的粉塵，或需要諸如刮板的附加 機(jī)構(gòu)以定期刮去粘附或沉積在燃燒處理室圓柱形本體內(nèi)表面上的粉塵。粘附或沉積的粉塵主要由Si02 (即，二氧化硅)組成。但除Si02外， 粉塵可能其中混有有毒粉塵。粉塵具有多種直徑，范圍從O.l微米至數(shù)十微米。此外，粉塵可能以大塊形態(tài)存在。因此，有必要確保去除粉塵維 護(hù)的操作安全性，以使得不會(huì)導(dǎo)致因吸入粉塵而造成的健康損害。在提供刮擦機(jī)構(gòu)的情況下，元件數(shù)量增加。其結(jié)果是產(chǎn)品制造成本 將增加，且需要定期更換刮擦機(jī)構(gòu)，這樣增加了運(yùn)營成本。由于燃燒處理室內(nèi)燃燒氣體的溫度高達(dá)約1700°C，諸如氧化鋁基玻 璃陶瓷的耐熱材料被用作環(huán)繞燃燒處理室的圓柱形本體。但是，燃燒處 理室溫度較高，且如果存在氟或氯氣，圓柱形本體內(nèi)表面將被腐蝕及破 壞。因此，有必要定期更換圓柱形本體。昂貴圓柱形本體的這種更換產(chǎn) 生費(fèi)用并要求耗時(shí)的維護(hù)。發(fā)明內(nèi)容鑒于上述缺點(diǎn)提出本發(fā)明。因此本發(fā)明的目的是提供燃燒型廢氣處 理裝置，所述燃燒型廢氣處理裝置可使用低價(jià)材料用于環(huán)繞燃燒處理室 的本體，可防止粉塵粘附在燃燒處理室內(nèi)表面，可防止腐蝕性氣體破壞 燃燒處理室內(nèi)表面，并且可減少耗時(shí)的維護(hù)及維護(hù)費(fèi)用。根據(jù)本發(fā)明的燃燒型廢氣處理裝置包括用于對(duì)廢氣進(jìn)行燃燒處理的 燃燒處理部分、用于冷卻在燃燒處理部分內(nèi)已經(jīng)被處理的廢氣的冷卻部 分、以及用于利用水清洗廢氣以除去燃燒處理所產(chǎn)生副產(chǎn)品的清洗部分。 燃燒處理部分包括廢氣處理燃燒器、由金屬制成且具有粗糙內(nèi)表面的筒 體、以及適用于在筒體內(nèi)表面上形成水膜的水膜形成機(jī)構(gòu)。廢氣的燃燒 處理在筒體中進(jìn)行。如上所述，本發(fā)明提供燃燒型廢氣處理裝置，包括具有粗糙內(nèi)表面的金屬本體，因此廢氣通過燃燒在本體中被處理。形成在本體內(nèi)表面上 的水膜提供阻水結(jié)構(gòu)。因此，如不銹鋼的低價(jià)材料可用于形成本體。此 外，形成在本體內(nèi)表面上的水膜可洗去粉塵，因此防止粉塵粘附于本體 的內(nèi)表面。此外，水膜可洗去腐蝕性氣體，因此本體內(nèi)表面不會(huì)被破壞。 其結(jié)果是，如不銹鋼的低價(jià)材料可用于形成本體，因此降低了本體本身 的制造成本。此外，可減少耗時(shí)的維護(hù)以及維護(hù)費(fèi)用。


圖1是顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的燃燒處理部分的剖視圖;圖2是顯示水膜形成機(jī)構(gòu)的實(shí)例的剖視圖；圖3是顯示水膜形成機(jī)構(gòu)的改進(jìn)實(shí)例的剖視圖；圖4是顯示水膜形成機(jī)構(gòu)的另一改進(jìn)實(shí)例的剖視圖；圖5是顯示水膜形成機(jī)構(gòu)的又一改進(jìn)實(shí)例的剖視圖；圖6是顯示水膜形成機(jī)構(gòu)的又一改進(jìn)實(shí)例的剖視圖；圖7A是顯示水膜形成機(jī)構(gòu)的又一改進(jìn)實(shí)例的剖視圖；圖7B是顯示圖7A所示水膜形成機(jī)構(gòu)的正視圖；圖8A是顯示水膜形成機(jī)構(gòu)的又一改進(jìn)實(shí)例的俯視圖；圖8B是顯示圖8A所示水膜形成機(jī)構(gòu)的剖視圖；圖9A是顯示水膜形成機(jī)構(gòu)的又一改進(jìn)實(shí)例的俯視圖；圖9B是顯示圖9A所示水膜形成機(jī)構(gòu)的剖視圖；圖9C是顯示圖9A所示水膜形成機(jī)構(gòu)的正視圖；圖10A是顯示水膜形成機(jī)構(gòu)的又一改進(jìn)實(shí)例的剖視圖；圖10B是顯示圖IOA所示水膜形成機(jī)構(gòu)的俯視圖；圖11是顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的燃燒型廢氣處理裝置的方框圖。圖12A是顯示加速冷卻機(jī)構(gòu)的實(shí)例的俯視圖；圖12B是顯示圖12A所示機(jī)構(gòu)的剖視圖；圖13A是顯示加速冷卻機(jī)構(gòu)的另一實(shí)例的俯視圖；圖13B是顯示圖13A所示機(jī)構(gòu)的剖視圖；圖14A是顯示加速冷卻機(jī)構(gòu)的另一實(shí)例的俯視圖；圖14B是顯示圖14A所示機(jī)構(gòu)的剖視圖；圖15A是顯示加速冷卻機(jī)構(gòu)的另一實(shí)例的俯視圖；圖15B是顯示圖15A所示機(jī)構(gòu)的剖視圖；圖16A是顯示加速冷卻機(jī)構(gòu)的另一實(shí)例的俯視圖；以及圖16B是顯示圖16A所示機(jī)構(gòu)的剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下參考附圖描述本發(fā)明實(shí)施例。附圖中，具有同樣功能或結(jié)構(gòu)的 部件或元件以同一參考序號(hào)表示。圖1是顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的燃燒型廢氣處理裝置的燃燒處理部 分的剖視圖。燃燒處理部分11包括廢氣處理燃燒器12。廢氣通過管嘴 13被供給，然后與通過空氣噴嘴14提供的空氣回旋流以及與通過助燃?xì)?體噴嘴15提供的助燃?xì)怏w混合?；旌衔锉蝗紵瑥亩纬苫鹧?7。在火 焰17下游設(shè)置被圓柱形本體18所環(huán)繞的燃燒處理室(火焰保持室)19。 廢氣的燃燒與處理在燃燒處理室19中進(jìn)行。在廢氣處理燃燒器12與圓柱形本體18之間提供水流凸緣20,使得水沿圓柱形本體18內(nèi)表面向下流動(dòng)，從而在圓柱形本體18內(nèi)表面上形成水膜A。在該實(shí)施例中采用不銹鋼形成圓柱形本體18。該圓柱形本體18的內(nèi) 表面由粗糙表面組成。由于圓柱形本體18內(nèi)表面是粗糙的，提高了內(nèi)表 面的可濕性，因此在整個(gè)內(nèi)表面上可形成均勻水膜。如果作為疏水材料 的不銹鋼具有鏡面精加工內(nèi)表面，在其上可能形成水滴。因此，在整個(gè) 內(nèi)表面上難以形成均勻水膜。由于整個(gè)圓柱形本體18內(nèi)表面是粗糙的， 可在圓柱形本體18整個(gè)內(nèi)表面上形成穩(wěn)定水膜，而沒有水膜殘跡。粗糙表面可通過噴砂處理形成，噴砂處理是利用壓縮空氣或離心力 將磨料(例如沙子或玻璃丸)高速噴射在表面上形成具有所需粗糙度的 粗糙表面的方法。粗糙表面可通過機(jī)加工方法形成，諸如通過利用多個(gè) 刀片的切削(拉削)方法、或通過刀具垂直線性運(yùn)動(dòng)和工件進(jìn)給運(yùn)動(dòng)的 組合刮擦工件的開鍵槽法。替代地，可通過諸如酸洗或親水涂敷的表面 處理形成粗糙表面。酸洗是通過將工件浸泡在化學(xué)液體(例如硝酸、氫 氟酸、鹽酸、硫酸)中、將工件從化學(xué)液體中取出、用水清洗工件并烘 干工件而進(jìn)行。親水涂敷是通過利用諸如玻璃纖維、硅聚合物、或特氟 綸(注冊(cè)商標(biāo))的親水性薄膜涂敷內(nèi)表面而進(jìn)行。廢氣分解的優(yōu)選溫度為至少1700°C。因此，燃燒處理室19中的溫度 保持在大約1700。C。由水流凸緣20供給的水量被調(diào)節(jié)，使得水膜A厚 度至少為2mm。至少為2mm厚的水膜A可提供耐熱結(jié)構(gòu)，因而圓柱形 本體18的溫度被保持在大體常溫(不超過50。C)。因此，如不銹鋼的低 價(jià)材料可被用于圓柱形本體18，替代昂貴的氧化鋁基玻璃陶瓷。當(dāng)水流凸緣20中的水溫為30°C時(shí)，圓柱形本體18出口處的水溫為數(shù)十度或更低。當(dāng)燃燒處理室19中產(chǎn)生的粉塵接近圓柱形本體18的內(nèi)表面時(shí)，水 膜A洗去粉塵，因此防止粉塵粘附在圓柱形本體18的內(nèi)表面上。同樣地， 當(dāng)腐蝕性氣體分子接近圓柱形本體18的內(nèi)表面時(shí)，水膜洗去腐蝕性氣體 分子。例如，當(dāng)燃燒處理產(chǎn)生含氟副產(chǎn)物時(shí)，這種含氟副產(chǎn)物變成稀釋 的氫氟酸，不會(huì)造成圓柱形本體18的內(nèi)表面損害。因此，即使使用如不 銹鋼的低價(jià)材料作為圓柱形本體18，粉塵并不粘附在內(nèi)表面，內(nèi)表面不 會(huì)被氧化氣體腐蝕。其結(jié)果是，耗時(shí)的維護(hù)和維護(hù)費(fèi)用可大幅降低。如圖1，圓柱形本體18的內(nèi)表面具有從圓柱形本體18的上端至下端 內(nèi)徑恒定的圓柱形狀。替代地，圓柱形本體18的內(nèi)表面可以具有從圓柱 形本體18的上端至下端內(nèi)徑尺寸逐漸減小的圓錐形狀。圓柱形狀的優(yōu)點(diǎn) 是，從燃燒處理室消除焊接部分從而避免水膜殘跡、以及簡化圓柱形本 體的生產(chǎn)從而降低生產(chǎn)成本。圓錐形狀的優(yōu)點(diǎn)在于因其錐形易于形成水 膜。另一方面，圓錐形狀需要焊接技術(shù)以避免造成水膜殘跡，其結(jié)果是 將增加制造成本。圖2至圖IO顯示了用于在圓柱形本體的內(nèi)表面上形成水膜的機(jī)構(gòu)的實(shí)例。圖2是顯示水流凸緣(水膜形成機(jī)構(gòu))20的實(shí)例的剖視圖。水膜形 成機(jī)構(gòu)20的該實(shí)例包括環(huán)形儲(chǔ)水器24和堰部18a。堰部18a形成儲(chǔ)水器 24的一部分。堰部18a具有均勻高度的頂部。因此，在圓柱形本體18的 內(nèi)表面上可形成均勻厚度的均勻水膜。圖3是顯示具有圓形內(nèi)側(cè)頂緣的圓柱形堰部18b。水膜形成機(jī)構(gòu)的該實(shí)例的基本結(jié)構(gòu)與圖2中相同。該實(shí)例可形成溢出堰部18b的平穩(wěn)水流。圖4為圖2的改進(jìn)實(shí)例，顯示了頂部具有L形截面的堰部18c。水膜 形成機(jī)構(gòu)的該實(shí)例包括環(huán)形儲(chǔ)水器24和堰部18c。堰部18c形成儲(chǔ)水器 24的一部分。圖5顯示了頂部具有L形截面、且具有圓形內(nèi)側(cè)頂緣的圓 柱形堰部18d。水膜形成機(jī)構(gòu)的該實(shí)例的基本結(jié)構(gòu)與圖4中相同。圖6 顯示了在圓柱形堰部18e徑向內(nèi)側(cè)設(shè)置圓柱形部件33、且水通過堰部18e 和圓柱形部件33之間的小間隙向下流動(dòng)的實(shí)例。水膜形成機(jī)構(gòu)的該實(shí)例 包括環(huán)形儲(chǔ)水器24、堰部18e以及圓柱形部件33。堰部18e形成儲(chǔ)水器 24的一部分。圖7A與圖7B顯示了在圓柱形堰部18f頂部下方形成矩形開口 20f 以使水通過開口 20f流到圓柱形本體18的內(nèi)表面的實(shí)例。水膜形成機(jī)構(gòu) 的該實(shí)例包括環(huán)形儲(chǔ)水器24、堰部18f和堰部18f上形成的矩形開口 20f。 圖8A與圖8B顯示了出口 20g，水通過該出口流出以在圓柱形本體18的 內(nèi)圓周表面上形成螺旋水流。水膜形成機(jī)構(gòu)的該實(shí)例包括在圓柱形本體 18的內(nèi)表面上形成的多個(gè)出口 20g。更具體地，出口20g形成沿圓柱形 本體18的內(nèi)圓周表面在水平方向上的水流。由于設(shè)置多個(gè)出口20g，在 圓柱形本體18的內(nèi)圓周表面上形成均勻厚度水膜。圖9A至圖9C顯示 了出口 20h，水通過該出口流出以在圓柱形本體18的內(nèi)圓周表面上形成 螺旋水流。水膜形成機(jī)構(gòu)的該實(shí)例包括環(huán)形儲(chǔ)水器24、以及在圓柱形本 體18的內(nèi)表面上形成的垂直延伸的出口 20h。每一出口 20h為一側(cè)是敞 開的矩形形狀，以使水在切線方向水平流出，形成覆蓋矩形出口20h本身的水膜。圖10A與圖10B顯示了從切線方向?qū)⑺┙o到儲(chǔ)水器24以在儲(chǔ)水 器24中形成回旋流使得水溢出堰部18i形成螺旋水流的實(shí)例。水膜形成 機(jī)構(gòu)的該實(shí)例包括環(huán)形儲(chǔ)水器24、堰部18i、以及用于從儲(chǔ)水器24的切 線方向?qū)⑺┙o到儲(chǔ)水器24的至少一個(gè)供給端口 20i。堰部18i形成儲(chǔ)水 器24的一部分。當(dāng)通過供給端口 20i將水供應(yīng)至儲(chǔ)水器24時(shí)，在儲(chǔ)水器 24中形成水的回旋流。其結(jié)果是，儲(chǔ)水器24中的水位在整個(gè)圓周方向均 勻增加，水均勻地溢出堰部18i到圓柱形本體18的內(nèi)表面上?？稍O(shè)置一 個(gè)或多個(gè)供給端口20i。即使設(shè)置單獨(dú)的供給端口20i，在儲(chǔ)水器24中仍 可形成水的回旋流。因此，在圓柱形本體18的內(nèi)表面上可形成均勻水膜。 根據(jù)該實(shí)例，即使由于廢氣處理裝置10的安裝條件導(dǎo)致圓柱形本體18 相對(duì)水平方向傾斜一定角度(例如，具有使得高度與長度比為lcm比 200cm的傾斜度)，仍可穩(wěn)定形成均勻水膜。圖11是燃燒型廢氣處理裝置10的整體結(jié)構(gòu)實(shí)例。燃料和氧氣通過 管35和36被供給到預(yù)混合器37，在其中燃料和氧氣相互混合形成預(yù)混 合燃料。該預(yù)混合燃料通過管38被供給到燃燒處理部分11。作為燃燒(即 氧化)廢氣的氧氣源的空氣通過管39被供給到燃燒處理部分11。燃燒型廢氣處理裝置IO包括用于冷卻經(jīng)受燃燒處理的廢氣的冷卻部 分21、以及用于儲(chǔ)存并循環(huán)用于在圓柱形本體18的內(nèi)表面上形成水膜A 的水的循環(huán)箱25。冷卻部分21位于圓柱形本體18下游。冷卻部分21 包括將圓柱形本體18的下端部分與循環(huán)箱25相互連接的管22，以及由 管22分叉至清洗部分31的管27。由管22分叉的管27向上傾斜、且通過垂直管與清洗部分(清洗室)31的下端部分連接。在靠近管27與垂直管之間的連接部分處設(shè)置用于在管27內(nèi)表面上形成水膜的噴水機(jī)構(gòu)28。 管22的內(nèi)表面整體覆蓋從圓柱形本體18流下的水膜，管27的內(nèi)表 面整體覆蓋由噴水機(jī)構(gòu)28形成的水膜。因?yàn)檫@些水膜用作阻熱材料，盡 管經(jīng)受燃燒處理的廢氣為高溫，管22和27的溫度可保持在大體常溫(不 超過50。C)。此外，水膜可防止腐蝕性氣體對(duì)管造成的損害。因此，低價(jià) 不銹鋼可用作管22和27。在如不銹鋼的金屬制成的管的氣體接觸部分的 表面上通過化學(xué)沉積、物理涂敷、油漆或粘附等覆蓋抗腐蝕材料(例如， 特氟綸(注冊(cè)商標(biāo))或PVC)已是常規(guī)手段。根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的 結(jié)構(gòu)無需提供這種手段。優(yōu)選地在管22或管27的內(nèi)表面上提供加速冷卻機(jī)構(gòu)，例如翼片或 擋板。圖12A、圖12B至圖16A、圖16B顯示了如翼片或擋板的加速冷 卻機(jī)構(gòu)的實(shí)例。圖12A與圖12B顯示了布置在管22的內(nèi)表面上的環(huán)形 翼片23。圖13A與圖13B也顯示了環(huán)形翼片23。圖13A與圖13B所示 實(shí)例相對(duì)圖12A與圖12B所示實(shí)例的不同之處在于，圖12A與圖12B中 的翼片23具有矩形橫截面，而圖13A與圖13B中的翼片23具有三角形 橫截面。圖14A與圖14B顯示了在管22中沿廢氣流動(dòng)方向傾斜的短翼 片23。圖15A與圖15B顯示了設(shè)置在管22的內(nèi)表面上的半圓形擋板23。 每一半圓形擋板23的形狀可使其與管22的內(nèi)表面的一部分配合。在管 22中，擋板23布置在不同垂直位置和不同圓周位置上。廢氣流過管22 且接觸管22的內(nèi)表面和擋板23。按照這種方式，可通過被水膜覆蓋的翼 片或擋板加速廢氣的冷卻效果。圖16A與圖16B顯示了設(shè)置在管22的內(nèi)圓周面上的螺旋翼片23。燃燒型廢氣處理裝置10的清洗部分31包括過濾器31a和噴水機(jī)構(gòu) 31b。燃燒處理后，廢氣被冷卻部分21冷卻，然后被引入清洗部分31。 該清洗部分31用水清洗廢氣，以捕獲并除去包括由廢氣燃燒處理所產(chǎn)生 的粉塵和氧化氣體的副產(chǎn)品。粉塵通過過濾器31a被去除，并隨噴水機(jī)構(gòu) 31b噴出的水向下流動(dòng)。粉塵隨水流過管27和22進(jìn)入循環(huán)箱25，并儲(chǔ) 存在循環(huán)箱25中。按照這種方式，廢氣通過燃燒處理、在冷卻部分21 中冷卻、并在清洗部分31中用水清洗被變成無害的。處理過的廢氣流管 32、然后排放到大氣或其它空間中。循環(huán)箱25具有堰部26。水向下流過管22后，水進(jìn)入如圖所示堰部 26左側(cè)的室。左室中的水溢過堰部26進(jìn)入如圖所示堰部26右側(cè)的室。 右室中的水通過泵30被抽吸并通過供給管34傳送至熱交換器40。熱交 換器40進(jìn)行所述水和冷卻水之間的熱交換使得水具有適當(dāng)溫度。此后， 該水被重新用作循環(huán)水。包含大量粉塵的水流入循環(huán)箱25的左室。粉塵 由其中一些具有大直徑的微粒形成。由于大微粒較重，它們沉至室底部。 另一方面，具有非常小直徑的微粒較輕，因此溢過堰部26進(jìn)入右室。移 動(dòng)至右室的微粒被混入用作循環(huán)水的水中。只要微粒直徑約為50)im，被 混入循環(huán)水的微粒在循環(huán)水使用中不會(huì)起負(fù)作用。因此，優(yōu)選地堰部26 的高度使得直徑大于50pm的微粒不會(huì)溢過堰部26。在熱交換器40中調(diào)節(jié)溫度之后，水作為水Wl被供給至水流凸緣20。 水Wl用于在圓柱形本體18的內(nèi)表面上形成水膜A、以及在管22的內(nèi) 圓周表面上形成水膜。然后，水被返回循環(huán)箱25。溫度在熱交換器40中已被調(diào)節(jié)的部分水被供給到清洗部分31的噴水機(jī)構(gòu)31b，并被返回至循環(huán)箱25。此外，溫度在熱交換器40中已被調(diào)節(jié)的部分水被供給到在管 22的內(nèi)圓周表面上形成水膜的噴水機(jī)構(gòu)28。此后，水被返回循環(huán)箱25。 按照這種方式，進(jìn)行水循環(huán)。由于裝置10運(yùn)轉(zhuǎn)所使用的大部分水是循環(huán) 水，因此燃燒型廢氣處理裝置IO具有需要非常少量的用于補(bǔ)給的城市供 水或工業(yè)用水的優(yōu)點(diǎn)。此外，由于水作為循環(huán)水被重新使用，即使水在 清洗廢氣后變成稀釋的氫氟酸，該酸也不會(huì)被排出到裝置IO外部。將被供給到熱交換器40的部分冷卻水作為冷卻水W2被供給到設(shè)置 在燃燒處理部分ll中的未圖示的冷卻水通路。該水W2用于冷卻廢氣處 理燃燒器12。通過泵30被傳送的部分水作為水W3被供給到循環(huán)箱25， 使得水W3從循環(huán)箱25的側(cè)部流入循環(huán)箱25。流入循環(huán)箱25的水向堰 部26沖走沉積在循環(huán)箱25底部的副產(chǎn)品，從而防止管22的下端開口被晶'J廣品堵塞。燃燒型廢氣處理裝置10包括位于圓柱形本體18上的溫度傳感器41 ， 并利用溫度傳感器41監(jiān)測圓柱形本體18的溫度升高。如果在圓柱形本 體18的內(nèi)表面出現(xiàn)水膜殘跡，在該部分阻熱效應(yīng)消失。在這種情況下， 圓柱形本體18與高溫廢氣直接接觸，這可能導(dǎo)致?lián)p害圓柱形本體18的 內(nèi)表面。為了檢測這種狀況，在圓柱形本體18上設(shè)置溫度傳感器41以 確保安全性。在用作圓柱形本體18的承托的一部分上設(shè)置泄漏傳感器42。如果圓 柱形本體18被破壞并形成通孔，泄漏傳感器42可檢測這種通孔的存在。 按照這種方式，設(shè)置泄漏傳感器42可增強(qiáng)安全性。盡管己描述了本發(fā)明的某些優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)理解的是，本發(fā)明不限 于上述實(shí)施例，在不偏離本發(fā)明范圍情況下可進(jìn)行多種改型或更改。
權(quán)利要求
1.一種燃燒型廢氣處理裝置，包括用于對(duì)廢氣進(jìn)行燃燒處理的燃燒處理部分；用于冷卻在所述燃燒處理部分中已經(jīng)被處理的廢氣的冷卻部分；以及用于用水清洗廢氣以除去燃燒處理所產(chǎn)生的副產(chǎn)品的清洗部分；其中，所述燃燒處理部分包括廢氣處理燃燒器；由金屬制成且具有粗糙內(nèi)表面的本體，廢氣的燃燒處理在所述本體內(nèi)進(jìn)行；以及適用于在所述本體的所述內(nèi)表面上形成水膜的水膜形成機(jī)構(gòu)。
2. 如權(quán)利要求1所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于，所述本 體的所述內(nèi)表面具有從所述本體的上端至下端內(nèi)徑恒定的圓柱形形狀。
3. 如權(quán)利要求1所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于，所述本 體的所述內(nèi)表面具有從所述本體的上端至下端內(nèi)徑逐漸減小的圓錐形 狀。
4. 如權(quán)利要求l所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于，還包括: 設(shè)置在所述本體下游的循環(huán)箱，所述循環(huán)箱與所述冷卻部分相連。
5. 如權(quán)利要求4所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于，所述循 環(huán)箱具有防止具有預(yù)定尺寸的副產(chǎn)品循環(huán)的堰部。
6. 如權(quán)利要求4所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于，所述冷卻部分包括構(gòu)造成將所述本體下端與所述循環(huán)箱相互連接的第一管； 從所述第一管分叉至所述清洗部分的第二管；以及 適用于在所述第一管和所述第二管的內(nèi)表面上形成水膜的機(jī)構(gòu)。
7. 如權(quán)利要求6所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于 所述第二管從所述第二管由所述第一管分叉的部分向上傾斜；以及 設(shè)置用于向所述第二管的所述內(nèi)表面噴水的噴水機(jī)構(gòu)。
8. 如權(quán)利要求6所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于，還包括: 設(shè)置在所述第一管或所述第二管的所述內(nèi)表面上的翼片或擋板。
9. 如權(quán)利要求4所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于，還包括: 用于將儲(chǔ)存在所述循環(huán)箱中的水供給所述水膜形成機(jī)構(gòu)、所述清洗部分和所述冷卻部分的供給管和泵；以及 與所述供給管連接的熱交換器。
10. 如權(quán)利要求9所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于，已被供給到所述水膜形成機(jī)構(gòu)和所述清洗部分的水通過所述冷卻部分被返回到 所述循環(huán)箱。
11. 如權(quán)利要求1所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于，還包括: 設(shè)置在所述本體上的溫度傳感器，所述溫度傳感器用于檢測所述本體的溫度升高。
12. 如權(quán)利要求1所述的燃燒型廢氣處理裝置，其特征在于，還包括:用于檢測所述本體的水的泄漏的泄漏傳感器。
全文摘要
一種燃燒型廢氣處理裝置通過燃燒處理有害廢氣以使氣體無害。本發(fā)明提供這種燃燒型廢氣處理裝置。該處理裝置包括燃燒處理部分、冷卻部分和清洗部分。燃燒處理部分包括廢氣處理燃燒器、由金屬制成且具有粗糙內(nèi)表面的本體、以及適用于在本體的內(nèi)表面上形成水膜的水膜形成機(jī)構(gòu)。廢氣的燃燒處理在本體中進(jìn)行。
文檔編號(hào)B01D53/72GK101251259SQ20071019646
公開日2008年8月27日 申請(qǐng)日期2007年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月5日
發(fā)明者室賀安隆, 川村興太郎, 新井裕之 申請(qǐng)人:株式會(huì)社荏原制作所