專利名稱：過濾模塊的制作方法
過濾模塊本申請要求享有2005年7月11日提交的日本專利申請 No. 2005-201780的優(yōu)先權(quán)、以及2005年7月11日提交的美國臨時申請 No. 60/698267的優(yōu)先權(quán)，上述每個申請的全部內(nèi)容在此引入作為參考。
背景技術(shù)：
諸如在半導(dǎo)體工業(yè)中的過濾處理中，對微粒污染物的控制要求使用 具有能去除亞微米微粒的膜的超凈過濾器。公知的是，當(dāng)微粒足夠大時， 沉積在半導(dǎo)體晶片的任何微粒都會引起缺陷。在半導(dǎo)體工業(yè)中，故障缺 陷可能是只有半導(dǎo)體芯片最小特征十分之一大小的微粒引起。因此，膜 過濾器被用于生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的許多處理步驟中，以凈化工作液體和氣 體。盡管已經(jīng)對在超純液體過濾時使用的過濾模塊提出了許多不同的設(shè) 計(jì)，然而普遍采用的有兩種設(shè)計(jì)。在一種模塊設(shè)計(jì)中，待過濾的液體從 過濾模塊的一端流向另一端。在這種過濾模塊的情況下，供給和滲透連 接位于過濾器的相反端部，從而使液體流從一端移動到另一端。這樣的 流動形態(tài)被稱為直線流動形態(tài)。這樣的過濾模塊存在兩個缺點(diǎn)。第一，由于模塊被夾在兩組連接之間，因此難以將它們連接到處理設(shè)備上。第 二，由于至少一個連接被布置在模塊的底部，因此隨著模塊斷開連接， 保持在模塊內(nèi)的任何自由液體將很快地排出。第二種過濾模塊設(shè)計(jì)將所有的連接都放在模塊的同一端。在這種類 型的模塊中，供給和滲透端口一般被水平定向在其對側(cè)的模塊的"頭部" 的頂端或歧管端部。鑒于它們的形狀，這樣的模塊被稱為具有T、 L或U形 形態(tài)。這種形態(tài)有助于將頭部或歧管連接到過濾模塊的剩余部分，所述 剩余部分包括碗狀部以及位于碗狀部內(nèi)的過濾筒。在這種設(shè)計(jì)中，碗狀 部和過濾筒包括分離的元件。因而，當(dāng)構(gòu)造這種過濾模塊時，過濾筒和 碗狀部被分別固定和密封到歧管頭部。此外，在過濾完成時，碗狀部和 過濾筒被分別從頭部中去除。在美國專利No. 5H4572中己經(jīng)提出一種過濾器組件，該過濾器組件 與碗狀部配合以形成過濾器過濾筒-碗狀部結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)能作為單一單元 從歧管卸下。過濾筒通過過濾筒上的銷釘連接部連接到碗狀部上，銷釘 連接部裝配到碗狀部內(nèi)表面上的凹槽中。銷釘連接部要求從過濾筒外表 面延伸的局部螺牙在兩個步驟中被定位在碗狀部內(nèi)垂直延伸的凹槽中以 及在碗狀部內(nèi)水平延伸的凹槽中。這種連接結(jié)構(gòu)使得當(dāng)將過濾筒安裝到碗狀部中時需要兩個歩驟的操作過濾筒首先被豎直移動進(jìn)入豎直槽，然后被旋轉(zhuǎn)進(jìn)入水平槽。反之，當(dāng)完成過濾操作后需要將過濾筒從碗狀 部去除時，過濾筒必須在單個動作中被旋轉(zhuǎn)并從碗狀部中提起。由于過 濾筒從碗狀部去除需要施加力給位于過濾筒頂部的流體管道，同時由于該管道的直徑小于過濾筒的直徑，因此過濾筒上沒有所施加力的扭轉(zhuǎn)力 矩。當(dāng)將過濾筒從碗狀部去除時需要相當(dāng)?shù)牧κ┘拥竭^濾筒上，這就可 能需要使用手持工具。作為單個動作的旋轉(zhuǎn)力和提升力的施加提高了將 碗狀部與過濾筒分開的難度。當(dāng)過濾裝置已經(jīng)過濾了有毒的或腐蝕性的 流體時，過濾筒從碗狀部中的分離尤其困難。美國專利6635175公開了一種過濾模塊，其包括歧管、過濾筒和碗狀部，其中過濾筒和碗狀部利用裝配進(jìn)碗狀部上的狹槽的過濾筒上的凸片 被連接在一起。通過垂直移動過濾筒、然后將過濾筒旋轉(zhuǎn)這兩個步驟的 操作將凸片固定到狹槽中。此外，當(dāng)前的設(shè)計(jì)具有相對于并被輕輕地(摩擦裝配)固定于歧管 的過濾筒密封。當(dāng)將任何的反壓力施加給過濾筒時都可以導(dǎo)致過濾筒從 歧管中移位，致使過濾筒的過濾低效。目前已有的過濾模塊只能夠容納一個過濾筒。因此，希望提供一種具有多個過濾筒的過濾模塊結(jié)構(gòu)，該過濾模塊 結(jié)構(gòu)不需要沿著多個運(yùn)動方向施加力，以從歧管去除所述多個過濾筒。 與具有單個過濾筒的過濾模塊相比，這種過濾模塊可以提供過濾模塊增 大的每單位容積的過濾表面面積。這種結(jié)構(gòu)還使得易于從歧管分離過濾 筒，并且可消除過濾后去除過濾筒時工人遭遇的危險。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的實(shí)施例包括一種設(shè)備，該設(shè)備可以包括以不漏流體方式被 連接在一起的歧管與碗狀部或帽狀部。帽狀部和歧管裝有多孔凈化膜， 所述凈化膜被安裝、接合或別的方式連接到支架上。多孔凈化膜可用于 去除液體中的微粒、分子、離子或這些污染物的組合。支架具有膜支撐 部分和支架出口。支架出口裝配在歧管出口管道的內(nèi)部，支架出口可以 具有兩個或更多個傾斜結(jié)構(gòu)，所述傾斜結(jié)構(gòu)通過轉(zhuǎn)動不到一整圈與歧管 出口管道的傾斜相配結(jié)構(gòu)嚙合。在一些實(shí)施例中，支架出口和歧管通過 轉(zhuǎn)動大約90度或更少相互嚙合。支架出口和歧管相嚙合，以在支架出口 和歧管出口管道之間形成不漏流體密封。多孔凈化膜和碗狀部與歧管流 體連通，使得可防止供應(yīng)給設(shè)備的流體或液體與從設(shè)備中排出的己經(jīng)過 濾的滲透物和/或已經(jīng)凈化的液體發(fā)生混合。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，過濾和/或凈化模塊被設(shè)置包括歧管、多 個過濾和/或凈化筒、用于過濾和/或凈化筒的支架、和碗狀部。過濾和/ 或凈化筒與歧管通過支架被連接在一起。支架具有帶有斜度的、裝配進(jìn) 歧管上相配的諸如螺紋的傾斜結(jié)構(gòu)中的諸如局部螺齒的傾斜結(jié)構(gòu)。通過 在相配螺紋的入口處定位傾斜的局部螺齒、并旋轉(zhuǎn)支架以移動局部螺齒 部分地或完全地進(jìn)入相配螺紋內(nèi)這一個步驟的操作，支架和歧管以不漏 流體或液體方式被連接在一起。過濾和/或凈化筒以這樣的方式被密封地 定位在支架的孔或開口中從過濾和/或凈化筒的內(nèi)表面密封過濾和/或 凈化筒的外表面，同時允許已經(jīng)過濾的和/或已經(jīng)凈化的流體從過濾筒的 內(nèi)部流入歧管。在過濾和/或凈化模塊的使用期間，碗狀部被連接到歧管的相配部分以完全圍住過濾筒?；蛘撸植柯蔟X可以設(shè)置在歧管上。這 些局部螺齒與支架上的螺紋相配合。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，過濾和/或凈化模塊被設(shè)置包括歧管、過 濾或凈化筒、和碗狀部，其中，過濾和/或凈化筒以及歧管通過諸如具有 斜度的局部螺齒的傾斜結(jié)構(gòu)被連接在一起，傾斜結(jié)構(gòu)裝配在歧管上的諸 如螺紋的傾斜相配結(jié)構(gòu)。通過在相配螺紋的入口處定位局部螺齒、并旋 轉(zhuǎn)過濾筒以移動局部螺齒部分地或完全地進(jìn)入相配螺紋內(nèi)這一個步驟的 操作，過濾筒和歧管被連接在一起。附著或形成在過濾筒的一部分上的 把手或其它抓握部件可以可選地設(shè)置在過濾筒的一部分上，并優(yōu)選位于 連接到歧管上的過濾筒的端部的相反端部上。把手或其它部件可以被用 戶抓握，以易于旋轉(zhuǎn)過濾筒進(jìn)入歧管或從歧管出來。在模塊的使用期間， 碗狀部可以被連接到歧管的相配部分以完全地圍住過濾筒?；蛘撸谝?些實(shí)施例中，局部螺齒可以設(shè)置在歧管上。這些局部螺齒與過濾和/或凈 化筒上的相配螺紋相配合。本發(fā)明還提供了實(shí)施例，其中，過濾和/或凈 化筒具有局部螺齒或相配的螺紋。在一些實(shí)施例中，支架出口和歧管出口管道上的局部螺齒或其它傾 斜結(jié)構(gòu)可以具有在大約2到大約25度之間的角度，使得支架和歧管可以嚙 合并形成不漏液體密封、或防止待處理的液體與來自過濾筒的已經(jīng)過處 理的液體發(fā)生混合的密封。在一些實(shí)施例中，支架出口和歧管出口管道的傾斜結(jié)構(gòu)可以具有在大約6到8度之間的角度。在一些實(shí)施例中，支架出口的傾斜結(jié)構(gòu)是局部螺齒。在一些實(shí)施例中，支架出口和歧管形成了不漏液體密封。過濾和/或 凈化筒、支架和碗狀部與歧管流體連通，使得可防止供應(yīng)給模塊的流體 或液體與通過歧管從模塊排出的已經(jīng)過濾和/或已經(jīng)凈化的液體發(fā)生混 合。在一些實(shí)施例中，支架出口和歧管之間的密封是通過一個或多個O形 環(huán)、墊圈或它們的組合來提供的。在一些實(shí)施例中，過濾和/或凈化膜可以是安裝到支架的一個或多個 過濾筒。在其它的實(shí)施例中，過濾和/或凈化膜可以被結(jié)合到支架上。在一些實(shí)施例中，歧管具有一個或多個定位裝置或其它可以接觸支 架的內(nèi)肋結(jié)構(gòu)。定位裝置或其它肋可用于保持支架或作為用于歧管中的 支架的擋板，同時它被旋轉(zhuǎn)以形成密封。在一些實(shí)施例中，凈化介質(zhì)支撐籠可以是柔性的或者包括給凈化介 質(zhì)提供支撐的兩個或更多個區(qū)段，同時允許過濾筒的熱膨脹。在一些實(shí) 施例中，用于凈化和/或過濾筒的外籠是兩件式構(gòu)造。在一些實(shí)施例中， 籠的構(gòu)造或柔性允許用于低于大約200。C的流體，以及一些情況低小于大 約160。C的流體。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，支架的圓周大于相應(yīng)的支架出口的圓周， 這能提供用于密封支架出口以及歧管的扭轉(zhuǎn)力矩。在一些實(shí)施例中，密封是通過旋轉(zhuǎn)支架大約90度或更小而形成。高流量的凈化和/或過濾設(shè)備可以由化學(xué)穩(wěn)定材料制成。在一些實(shí)施 例中，它可以由聚合材料、或聚合物與諸如制陶、纖維或其它填料的其它材料的復(fù)合材料制成。在一些實(shí)施例中，該設(shè)備是不含金屬的。支架 出口和歧管出口上的局部傾斜結(jié)構(gòu)的嚙合消除了被插入過濾器或凈化器 芯的、可能引起經(jīng)過處理的液體污染的系桿、導(dǎo)管、定位導(dǎo)管的必要。 支架出口和歧管出口上的局部傾斜結(jié)構(gòu)的嚙合消除了造成過濾模塊的裝 配和拆卸困難并費(fèi)時、可能減少液體流量或?qū)んw中的流動產(chǎn)生死角的 基座和聯(lián)箱板、彈簧及其它結(jié)構(gòu)的必要。本發(fā)明的實(shí)施例可以在出口處 具有用于凈化筒的單個密封件，而不是具有入口和出口密封件。本發(fā)明 涉及一種膜凈化模塊，所述模塊比目前已有的過濾和/或凈化模塊更加清 潔并更易于更換和安裝。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，凈化介質(zhì)是由過濾 筒、連接在一起的保持碗狀部和歧管形成的膜過濾模塊。在其它的實(shí)施 例中，凈化介質(zhì)是具有用于多個過濾筒的支架的膜過濾模塊；所述膜過 濾模塊由多個過濾筒、用于過濾筒的支架、連接在一起的保持碗狀部和 歧管形成。在本發(fā)明方案中的凈化模塊可用于液體或其它流體的過濾、凈化或 它們的組合，液體或其它流體用于但非限于藥品、半導(dǎo)體和平板顯示器 制造工藝。凈化模塊可以是再循環(huán)系統(tǒng)或其它設(shè)備的一部分，其中清洗 液、蝕刻劑、懸浮液、試劑或其它的液體處理試劑在用于處理的容器與 凈化模塊之間被泵送。該系統(tǒng)或設(shè)備可以包括其它部件，例如管道、閥、 流量控制器、泵、壓力計(jì)、溫度、液體純度傳感器或其它傳感器。在使 用時，當(dāng)指示已經(jīng)達(dá)到模塊的凈化容量時，可以停止系統(tǒng)中的液體流動， 液體通過歧管從殼體排出，然后去除凈化筒，或可以去除連接在支架上 的一個或多個單獨(dú)的過濾筒，或可以去除支架。可以將新的凈化筒或凈化介質(zhì)安裝在歧管或支架上，并且兩者通過支架液體出口的傾斜結(jié)構(gòu)與 歧管的相配的傾斜結(jié)構(gòu)的嚙合而密封在一起。然后歧管和帽狀部被密封， 流體流動重新通過凈化介質(zhì)。


圖la是用于本發(fā)明的多個過濾或凈化筒的支架的立體分解圖。 圖lb是圖la的己連接的支架的立體視圖。圖lc是圖la的支架的側(cè)視圖，示出了腔室、支架出口上的局部傾斜結(jié)構(gòu)和用于凈化筒的開口。圖2a是凈化模塊實(shí)施例的俯視圖，所述凈化模塊包括連接到支架上 的一個或多個凈化筒。圖2b是沿圖2a的線A—A截取的凈化模塊的橫截面視圖。圖3a是圖2b的凈化模塊的立體圖。圖3b是圖2b的凈化模塊的底視圖。圖4a是本發(fā)明凈化模塊的另 一個實(shí)施例的俯視圖。圖4b是圖4a的模塊的側(cè)視圖，示出了歧管中的定位裝置和用于連接 帽狀部和歧管的保持裝置上的突出部。圖5a是可用在本發(fā)明實(shí)施例的歧管中的螺紋的側(cè)視圖，所述歧管用于接受支架液體出口上的傾斜的局部螺齒。圖5b是在本發(fā)明的凈化模塊的一個實(shí)施例中的歧管和碗狀部的橫截面圖。圖6是在本發(fā)明的實(shí)施例中使用的凈化介質(zhì)的一部分的立體圖。圖7是在本發(fā)明的 一個實(shí)施例中使用的凈化筒的側(cè)視圖。圖8a是在本發(fā)明的一個實(shí)施例中的凈化模塊的橫截面圖。圖8b是本發(fā)明實(shí)施例中的定位裝置以及歧管與支架之間的密封件的 橫截面圖。圖9是立體的截面圖，示出了本發(fā)明的凈化模塊的實(shí)施例中在帽狀部 與歧管部之間利用保持裝置的液體密封。圖10a是本發(fā)明的實(shí)施例中的凈化模塊的俯視圖。圖10b是圖10a的凈化模塊沿線A—A的橫截面圖，示出了本發(fā)明的一 個實(shí)施例中的凈化筒。圖10c是圖10a的凈化模塊的立體圖。 圖10d是圖10a的凈化模塊的立體截面圖。圖10e是圖10a的凈化模塊的立體截面圖，進(jìn)一步示出了本發(fā)明一個 實(shí)施例的方面，其中，支架出口和歧管出口管道形成了密封。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明的實(shí)施例包括一種設(shè)備，該設(shè)備可以包括與膜凈化介質(zhì)的出 口流體連通的歧管、以及連接到該歧管的碗狀部或帽狀部。所述碗狀部 和歧管圍住膜凈化介質(zhì)。在本發(fā)明的方案中，歧管和碗狀部兩者都可以 是聚合材料或者包括聚合物的復(fù)合材料。碗狀部或帽狀部與歧管的一部 分以不漏流體方式被連接在一起，密封可以通過壓配合或者聚合密封材 料例如一個或多個墊圈、O形環(huán)、接合帶或其它材料的壓縮被可逆地形成 并破壞。碗狀部或帽狀部與歧管部之間的密封可以通過螺母及螺栓、夾 具、扣環(huán)或其它密封保持結(jié)構(gòu)保持。在一些實(shí)施例中，碗狀部被連接到 歧管的圓柱部。歧管部和碗狀部或帽狀部的高度可以被改變，以放置凈 化膜。帽狀部和歧管放置有被連接到支架上的膜凈化介質(zhì)，所述支架具有 帶有諸如局部螺齒、螺紋或其它類似結(jié)構(gòu)的一個或多個傾斜結(jié)構(gòu)的流體 出口。在一些實(shí)施例中，凈化介質(zhì)還可以利用一個或多個多孔芯支架、 --個或多個外支架籠和端蓋。凈化介質(zhì)、芯支架和籠支架可以被結(jié)合在 支架和端蓋之間。在其它實(shí)施例中，凈化膜可以包含在一個或多個過濾 筒內(nèi)，所述過濾筒可以通過O形環(huán)或類似物件連接到或流體密封到支架的 孔或開口上。凈化介質(zhì)和帽狀部與歧管流體連通并且密封，以防止供給 到模塊的流體或液體與從模塊中出來的已過濾滲透物和/或已凈化的液 體發(fā)生混合。凈化膜可以是平板、褶皺平板、深度介質(zhì)、坡形深度介質(zhì)、空心纖 維或是其它多孔、微孔結(jié)構(gòu)。多孔介質(zhì)的孔隙尺寸在一些實(shí)施例中小于 大約10微米、在另一個實(shí)施例中小于大約l微米、在又一個實(shí)施例中小于 大約0.01微米。然而，在進(jìn)一歩的另一個實(shí)施例中，凈化介質(zhì)可以是納米級多孔材料，大約100納米至大約1納米或更小。在本發(fā)明的實(shí)施例中，支架具有膜支撐部分和支架出口。支架出口 安裝在歧管出口管道的一部分內(nèi)，在一些實(shí)施例中，所述支架出口可以 基本與歧管出口管道的內(nèi)表面同軸或被歧管出口管道的內(nèi)表面環(huán)繞。流 體出口的長度可以根據(jù)歧管出口管道的尺寸以及支架的穩(wěn)定性要求而變 化。支架出口具有諸如但并非限于螺紋、凹槽、翅片或局部螺齒的兩個 或更多個傾斜結(jié)構(gòu)，傾斜結(jié)構(gòu)通過支架轉(zhuǎn)動大約90度或更少而與歧管出 口管道的傾斜相配結(jié)構(gòu)嚙合，以在支架出口和歧管出口管道之間形成不 漏流體密封。不漏流體密封件可以是可逆密封，并且可以通過支架出口 和歧管出口管道之間的壓配合或者通過支架和歧管之間的聚合體密封材 料例如墊圈、O形環(huán)或一個或多個O形環(huán)的壓縮而形成，在一些實(shí)施例中， 密封是在支架出口與歧管出口管道之間。在一些實(shí)施例中，密封可以通過在支架出口與歧管出口管道之間的聚合體密封材料例如墊圈、o形環(huán)或 一個或多個o形環(huán)的壓縮來形成。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，支架出口上的傾斜結(jié)構(gòu)與歧管上的傾斜 相配結(jié)構(gòu)嚙合，以在支架表面與歧管之間形成不漏液體密封。出口或歧 管上的傾斜結(jié)構(gòu)沿著支架出口的圓周是不連續(xù)的，沿著歧管出口管道的一部分是不連續(xù)的。該密封防止了已經(jīng)通過凈化介質(zhì)過濾的和/或已經(jīng)凈 化的液體與進(jìn)入歧管的未處理的液體發(fā)生混合。該密封可以通過由傾斜 結(jié)構(gòu)嚙合而互相接觸的任何支架和歧管表面來形成。例如，在一些實(shí)施 例中，類似802b的支架的底部可以接觸諸如817的歧管的表面，并通過一 個或多個O形環(huán)或墊圈(未示出)而被密封。在其它的實(shí)施例中，密封可以在支架出口814和歧管出口管道833的表面之間形成，如圖8b所示。嚙 合支架和歧管的一個或多個傾斜結(jié)構(gòu)提供了可以阻擋歧管出口中流體的 反壓力的密封，在一些實(shí)施例中，該密封保持有大于大約2psi的液體反 壓力，在其它實(shí)施例中，該密封保持有大于大約5psi的液體反壓力，在 進(jìn)一步其它的實(shí)施例中，該密封保持有大于大約10psi的液體反壓力。嚙 合或相配的傾斜結(jié)構(gòu)維持著歧管出口中的已經(jīng)凈化的和/或已經(jīng)過濾的 液體與在殼體中的膜上游的待處理的流體的分隔。在本發(fā)明的實(shí)施例中，凈化指從流體或液體中去除微粒、去除分子 污染物、去除離子污染物、或它們的任何組合。在懸浮液過濾應(yīng)用中， 凈化介質(zhì)可用于維持在懸浮液中的懸浮液微粒尺寸的所期望的分布。在 本發(fā)明實(shí)施例中，凈化介質(zhì)、凈化膜、或凈化筒可用于從待處理的流體 或液體中去除微粒、去除分子和/或離子污染物、或它們的任何組合。在本發(fā)明的實(shí)施例中，碗狀部或帽狀部和歧管部可以被連接到一起 形成不漏流體或液體的密封，所述密封可以是可逆地形成或斷開。該密 封可以包括一個或多個密封材料，例如但非限于彈性墊圈、o形環(huán)、密封 帶，或者可以由在帽狀部與歧管部的合適密封表面之間的壓配合形成。帽狀部和歧管部的密封和定位可以通過包括但非限于保持環(huán)、螺母及螺 栓、夾具或其它合適固定件的保持裝置結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。在一些實(shí)施例中， 碗狀部和歧管通過帶有凸緣的保持環(huán)而被連接。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，用于凈化筒的支架和歧管通過傾斜結(jié)構(gòu) 而被連接在一起，所述傾斜結(jié)構(gòu)是在一個步驟的操作中裝配到相配螺紋 的傾斜局部螺齒。支架上的局部螺齒具有斜度并與歧管上的螺紋相配， 以使得凈化筒或介質(zhì)可以通過在一個歩驟中旋轉(zhuǎn)支架進(jìn)入歧管以密封關(guān) 系與歧管連接。在一些實(shí)施例中，支架可以具有兩個局部螺齒以易于與 相配螺紋的對準(zhǔn)。上述局部螺齒可布置成互相成大約180度。如果需要可以使用超過2個的局部螺齒，例如3個或4個。當(dāng)使用3個局部螺齒時，它 們可布置成互相成大約120度。當(dāng)使用4個局部螺齒吋，兩對中的每兩個 可以布置成互相成大約180。在本發(fā)明的一個替換實(shí)施例中，螺紋可布置 在用于凈化筒的支架上，而傾斜的相配局部螺齒可布置在歧管上。在這 個實(shí)施例中，歧管和凈化筒也是在一個步驟的旋轉(zhuǎn)操作而被密封地連接。 在一些實(shí)施例中，傾斜的局部螺齒可以布置在用于過濾筒的支架上。與 現(xiàn)有技術(shù)的兩個歩驟的操作相比，用于連接或分開用于凈化筒的支架與 歧管的一個步驟的操作具有顯著的優(yōu)點(diǎn)。在一些實(shí)施例中，凈化筒是微 粒過濾器。在其它的實(shí)施例中，凈化筒從液體中去除一種或更多種分子 或離子污染物。在一些實(shí)施例中，凈化筒從液體中去除微粒的組合以及 一種或更多種分子或離子污染物。在使用過濾模塊之后，碗狀部可以從歧管中分開，以暴露具有或設(shè) 置有把手或其它抓握部件的過濾筒端部。然后過濾筒可以通過施加力給 把手而被轉(zhuǎn)動，以從狹槽中去除支架的傾斜局部螺齒。然后新的過濾筒 可以被放入歧管中。諸如但非限于709的把手、突出部、凸起結(jié)構(gòu)或凹入結(jié)構(gòu)可以被附在、形成在、包括在凈化或過濾筒706的類似731的端蓋上， 以易于凈化筒與歧管的一個步驟的嚙合，并提供機(jī)械的扭轉(zhuǎn)力矩以形成 或斷開歧管與支架或凈化筒之間的密封。與利用凸片來固定過濾筒到碗 狀部上以及旋轉(zhuǎn)過濾筒的兩個步驟的操作相比，在本發(fā)明的實(shí)施例中， 用于連接或分開用于凈化筒的支架與歧管的一個歩驟的操作具有顯著的 優(yōu)點(diǎn)。在一些實(shí)施例中，凈化模塊可以設(shè)置有可以打開或利用塞子封閉的 出口和/或排出孔。所述出口和排出孔允許在使用期間凈化模塊在垂直位 置或在水平位置定位，以使得凈化模塊在完成凈化操作的使用后可以被 排干。在凈化模塊使用后，碗狀部和帽狀部可以從歧管分開，以暴露連 接到支架的一個或多個多孔凈化介質(zhì)或過濾筒。依靠凈化模塊的如此構(gòu) 造，支架和歧管可以以不同方法被嚙合或分離。例如，連接到支架的多 孔凈化介質(zhì)可以作為單一單元在歧管中被嚙合或去除；帶有一個或多個 連接的凈化筒的支架可以作為單一單元在歧管中被嚙合或被去除；或者 對于帶有一個或多個連接的凈化筒的支架，過濾筒可以單個地從歧管被 去除，支架保持在位，以及通過連接新的過濾筒到支架上而被替換。參照圖la、 lb和lc，支架102可以由上支架板102a和下支架板102b組 成，其中上支架板102a具有一個或多個孔或開口118，所述孔或開口大小 設(shè)為能安放過濾和/或凈化筒(例如圖2a和圖2b中的過濾筒206)。上板 102a和下板102b在圖la中顯示為以一定間距隔開，但是它們可以被連接 在一起以形成支架102，如圖lc所示。支架102可以具有允許流體從過濾 或凈化筒流出的腔室103，所述過濾或凈化筒裝配并密封地連接到開口 118中。液體流過腔室103和支架流體出口114。在一些實(shí)施例中，支架102 具有允許流體從過濾或凈化筒流出的腔室103，所述過濾或凈化筒裝配并 密封地被連接到開口118中。經(jīng)過凈化介質(zhì)處理的液體流過腔室103并通 過支架流體出口114進(jìn)入歧管。在一些實(shí)施例中，例如圖7所示的單個大 的凈化筒706，沒有類似102a的上板，下板102b (類似于702b)對于過濾 筒提供了對凈化介質(zhì)和液體出口114的支撐。凈化筒下支架板可以具有一 個或多個可選的凸脊120和121，所述凸脊在凈化器和/或過濾筒裝配期間 可用于定位膜和支架和/或用于接合。例如，以截面圖顯示的圖8的己裝 配好的過濾器被示出具有歧管入口826和出口828，還示出了具有多孔內(nèi) 芯812的凈化筒806、多孔凈化膜808和外支架810b，所有這些被顯示在支 架板802b的可選的凸脊820和821之間。一個或多個局部螺齒可以被布置在支架的流體出口上。例如如圖lc 所示，支架102具有帶有傾斜的局部螺紋116 (僅顯示了一個)的流體出 口114。在一些實(shí)施例中，傾斜局部螺齒被布置在流體出口114的相反表 面上。局部螺齒116可以具有在大約2度和大約25度之間的斜度或角度 (a)，在一些實(shí)施例中，該角度可以在大約6度和大約8度之間。在類似102a或102的支架中的孔或開口118可以設(shè)置具有o形環(huán)、凹槽或它們的組 合115，用于連接支架102和過濾筒以提供支架102與位于開口118內(nèi)的類 似306的過濾或凈化筒之間的流體密封。局部螺齒116裝配在歧管的相配 螺紋上。除了o形環(huán)之外，可以使用任何密封裝置，例如聚合體或彈性體 帶、墊圈或o形環(huán)。在一些實(shí)施例中，當(dāng)它們嚙合時，傾斜結(jié)構(gòu)使支架出 口進(jìn)入歧管出口管道大約30毫米。參照圖2a和圖2b，本發(fā)明的過濾或凈化模塊200的實(shí)施例包括過濾或 凈化筒206，過濾或凈化筒206可以具有外多孔籠210和內(nèi)多孔籠212、可 以從流體中去除污染物的凈化介質(zhì)208。所述介質(zhì)可以是例如聚合體多孔 或多微孔膜、帶有離子交換基或其它分子污染物清除基的多孔介質(zhì)。模 塊包括過濾筒支架202、歧管222以及帶有可選的排氣孔204的碗狀部或帽 狀部224。在本發(fā)明的實(shí)施例中，術(shù)語碗狀部或帽狀部可以被交換使用。 歧管222設(shè)置有流體入口226和流體出口228，所述流體入口226和流體出 口228可選地包括用于墊圈、o形環(huán)等的密封表面，以連接模塊到液體流 動通道。歧管222方便地整體形成有歧管部230，所述歧管部230可以是圓 柱形的，所述歧管部230利用保持裝置或可旋轉(zhuǎn)鎖環(huán)232與碗狀部224以密 封關(guān)系相配合。鎖環(huán)232可以設(shè)置有帶有可選的開口238的凸緣236，所述 開口238有助于鎖環(huán)232的旋轉(zhuǎn)、并在模塊工作壓力和溫度下幫助保持外 殼和圓柱部230的形狀處于用于防漏密封的規(guī)定公差內(nèi)。碗狀部或帽狀部 224可以具有在連接到支架202的過濾筒206或其它膜上方、通向外殼內(nèi)的 容積223的出口204。鎖環(huán)232被布置在碗狀部224上，并設(shè)置有與圓柱部 230外表面上的螺齒245相配的螺紋240。當(dāng)鎖環(huán)232被旋轉(zhuǎn)時，碗狀部224可以利用o形環(huán)247被密封到圓柱部230。過濾筒206可以通過諸如圖lb所 示的o形環(huán)115被密封到支架202上。歧管222可以被配置成在歧管出口管 道217的表面上具有接受或容納支架出口214、以及接收已經(jīng)過濾的液體 和/或經(jīng)過凈化的液體的開口，其中所述經(jīng)過過濾的液體和/或經(jīng)過凈化 的液體可以通過出口228從設(shè)備200中排出。通過使諸如支架出口214和歧 管出口管道233的局部螺齒和螺紋的傾斜結(jié)構(gòu)嚙合，支架出口214可以被 密封到歧管出口管道233的內(nèi)表面上。密封提供了在待過濾或待凈化的液 體與己經(jīng)過濾或已經(jīng)凈化的液體之間的不漏流體或液體密封。在支架和 歧管之間的密封可以利用彈性體材料、壓配合或它們的一個或多個的組 合來形成。在214和217之間的密封的一個例子通過o形環(huán)260的非限制性的例子來示出。圖2a和圖2b示出了一種包括歧管222以及以不漏流體方式連接到歧 管222的部分230上的碗狀部或帽狀部224的設(shè)備。碗狀部224和歧管222裝 有安裝在或連接到支架202上的凈化膜208。支架具有膜支撐部分(參見 圖l中的例子102a和開口118)以及支架出口214，其中支架出口214裝配 到，在一些方案中是基本同軸的，在歧管表面217上帶有開口的歧管出口 管道233內(nèi)。支架出口214具有諸如但并非限于螺紋、凹槽或局部螺齒結(jié) 構(gòu)的兩個或更多個傾斜結(jié)構(gòu)216，傾斜結(jié)構(gòu)216通過支架202轉(zhuǎn)大約90度或 更少與歧管出口管道223的傾斜相配結(jié)構(gòu)嚙合。支架214和歧管出口管道 233的嚙合形成了不漏流體密封260，例如但非限于通過在支架出口214和 歧管222的出口管道233之間的壓配合、聚合體密封材料例如墊圈、o形環(huán) 或一個或多個o形環(huán)而形成的可逆密封。在一些實(shí)施例中，傾斜結(jié)構(gòu)216在支架202轉(zhuǎn)動不到一整圈時嚙合并停止，以在支架202與歧管222之間形 成不漏流體密封。在一些實(shí)施例中，支架202和歧管222在支架202轉(zhuǎn)動大 約90度或更少時嚙合并停止。凈化膜可以是帶有凈化膜208的一個或多個 過濾筒260的一部分，過濾筒連接到支架202。在一些實(shí)施例中，內(nèi)部或外部膜支架可以是單一構(gòu)件構(gòu)造。在其它 實(shí)施例中，用于膜的內(nèi)部和/或外部籠支架可以由兩個或者更多個構(gòu)件組 成以允許高溫下熱膨脹。例如，兩個構(gòu)件的外籠的非限制性例子圖示在 圖7中，其中，籠部分710a和710b形成用于過濾或凈化裝置706的外籠。保持裝置可以用于密封帽狀部或碗狀部以及歧管的一部分。保持裝 置在使用條件下對碗狀部和歧管部提供了支撐、并保持密封。保持裝置 在流體壓力下保持碗狀部或帽狀部與歧管部之間的密封；在一些實(shí)施例 中，所述壓力是在半導(dǎo)體制造過程期間所期望的壓力，在其它的實(shí)施例 中，所述壓力是在平板顯示器制造過程期間所期望的壓力；在進(jìn)一步其 它的實(shí)施例中，所述壓力小于大約60psi。在圖2或圖10b所示的本發(fā)明的 方案中，保持裝置可以是可以具有凸緣236或1036的鎖環(huán)232或1032。凸 緣236或1036可以具有一個或多個可選的空洞238或1038，所述空洞允許 用戶抓住保持裝置并有助于鎖環(huán)的旋轉(zhuǎn)。凸緣236或1036可以對鎖環(huán)提供 附加的尺寸穩(wěn)定性，尤其在溫度高于室溫和工作壓力下，其中可能出現(xiàn) 碗狀部或帽狀部224或1024與歧管部230或1030的膨脹，扣環(huán)232或1032以 不漏流體或液體方式保持它們之間的密封。在本發(fā)明的實(shí)施例中，碗狀部或帽狀部和歧管部的形狀形成為使得 它們可以被連接到一起形成不漏流體或液體的密封。雖然對碗狀部和歧 管的形狀沒有限制，但在一些實(shí)施例中，碗狀部和歧管部可以具有環(huán)形 形狀并通過保持裝置以不漏流體密封方式連接。如圖5b或圖8a和圖8b所示， 一個或多個定位裝置例如562或862可以 分別沿著歧管522或822的內(nèi)表面、或分別沿著來自歧管部530或830的壁 布置，并被用于提供用于定位和保持諸如202或802b的支架相對殼體處于 大體固定關(guān)系的表面。諸如862的定位裝置還可以對歧管822和支架802b 底部提供結(jié)構(gòu)性支撐。定位裝置862和歧管出口833中的開口的上表面817 可以分別在外部和內(nèi)部接觸支架802b的下表面，可以對支架802b提供接 觸點(diǎn)和穩(wěn)定性，并有助于防止它在殼體中傾斜。對于帶有還具有內(nèi)部腔 室的多個過濾筒的類似202的支架，可以期望類似的穩(wěn)定性。定位裝置862 可以與歧管822的底部部分一起形成、并延伸到歧管部830的一部分中。 如圖所示，定位裝置862可以從歧管822的底部凸起，并配置成允許歧管 的該部分排泄。歧管的上表面例如817可以可選地包括密封材料，例如o 形環(huán)、墊圈或其它材料，用于流體密封類似802b的支架到歧管上。定位 裝置862消除了碗狀部接觸籠以保持它穩(wěn)定的必要，或者消除了用于將凈 化筒或凈化介質(zhì)保持在適當(dāng)位置的上定位板或系桿的必要。如圖4b所示， 類似462的定位裝置和歧管出口433的開口417的上部可以在一個或多個 點(diǎn)上接觸支架402，以及當(dāng)一個或多個過濾筒406被去除或被安裝進(jìn)支架 402時、或當(dāng)支架密封到歧管422上時，對支架402提供穩(wěn)定性并防止它在 殼體中傾斜。支架出口的長度和沿著支架流體出口長度的傾斜結(jié)構(gòu)的位置可以被 選擇，以對支架提供附加的穩(wěn)定性。例如，在不妨礙歧管出口的情況下 通過增加支架出口的長度，可以改進(jìn)支架的穩(wěn)定性。用于諸如歧管、帽狀部、保持裝置或凈化介質(zhì)之類的模塊部件的結(jié) 構(gòu)材料可以是與凈化和/或過濾處理的化學(xué)制品、壓力和溫度化學(xué)上相容 的任何材料。所述材料可以分別包括金屬或聚合材料，或帶有諸如碳、 粘土、納米管之類多種填充物的聚合物的復(fù)合材料。在一些實(shí)施例中， 模塊部件可以是聚合物，在進(jìn)一步的其它方案中，模塊部分可以是熱塑 性塑料。在一些實(shí)施例中，聚合物可以包括聚酰胺、尼龍、或類似高密 度聚乙烯的聚烯烴、超高分子量聚乙烯或其它；在一些實(shí)施例中，聚合物可以包括類似四氟乙烯的含氟聚合物、PFA、 MFA、 m-PTFE、 FEP、 PVDF、 PVC或其它；在進(jìn)一歩的其它實(shí)施例中，聚合物可以包括高溫聚合物，類 似PEEK、 PES、聚砜等。圖3a和圖3b示出了過濾或凈化模塊300，所述過濾或凈化模塊具有帶 有液體入口326和液體出口328的歧管的圓柱部330，以及帶有可選的排氣 口304的碗狀部或帽狀部324。模塊300可以通過延伸穿過孔342、 344、 346 和348的螺釘被固定到基底或工具表面(圖中未示出)。如圖3b所示(以 及類似地示出在圖5b所示的實(shí)施例中)，過濾模塊300可以在歧管中設(shè)置 出口或排出孔350和排出孔352，所述排出孔與圓柱部以及歧管的出口部 分的內(nèi)部流體連通。出口或排出孔350和排出孔352在使用期間可以被堵 塞，并在液體過濾和/或凈化完成時被打開。測量器和/或排氣孔354和356也可以被設(shè)置在歧管上，以在使用期間安裝諸如壓力計(jì)的測量器。如果 沒有一個或多個測量器，例如但非限于354的一個或多個測量器孔在模塊300使用期間可被堵塞。圖3a和圖10a所示的是保持裝置的非限制性的例 子，所述保持裝置可用于將歧管部和帽狀部密封在一起。例如，帶有突 出部334的保持裝置332或帶有凸緣1036的保持裝置保持相應(yīng)的帽狀部 324或1024與相應(yīng)的歧管部330或1030之間的密封。保持裝置的尺寸公差 可以被選擇或被設(shè)置成保持帽狀部和歧管部的相對位置，使得在模塊使 用時承受壓力和溫度期間保持不漏液體密封。參照圖4a和4b，過濾或凈化模塊400包括帶有可選的出口孔404的碗 狀部或帽狀部424、連接到支架402的一個或多個凈化或過濾筒406以及歧 管422。支架402包括具有傾斜的局部螺齒416的流體出口414。位于出口 414和歧管422之間的o形環(huán)形成了它們之間的流體密封。過濾模塊400可 以通過延伸穿過孔442、 444、 446和448的螺釘被固定到基底(圖中未示 出)。碗狀部424通過諸如鎖環(huán)432的保持裝置被固定到歧管422的圓柱部 430，鎖環(huán)432具有用于以上面參照圖2a和圖2b所描述的方式來轉(zhuǎn)動保持 環(huán)432的推桿或突出部434。在使用中，待過濾的流體進(jìn)入歧管入口426并 經(jīng)過凈化或過濾筒406。經(jīng)過凈化或過濾筒406的己經(jīng)處理的流體或液體 流過支架402、通過支架流體出口414、通過歧管出口管道433、到達(dá)歧管 出口42S、并到達(dá)使用點(diǎn)。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可知的是，在本發(fā)明的各個 實(shí)施例中，上述流體的流動可以反向。雖然己經(jīng)描述了多個實(shí)施例，然 而上述實(shí)施例并非被限制在流體流動的任何具體方向上。參照圖5a、圖5b以及圖7，歧管522的內(nèi)表面可以包括容納諸如716的 傾斜局部螺齒的螺紋529或其它類似凹槽或槽道。在如圖5b所示的過濾或 凈化模塊500的實(shí)施例中，歧管522可以設(shè)置有出口或排出孔550和排出孔 552，所述出口或排出孔在使用期間可被堵塞、并在過濾或凈化完成時打 開。測量器和Z或排出孔554可以設(shè)置用于在使用期間安裝諸如壓力計(jì)的 測量器。如果不存在一個或多個測量器， 一個或多個測量器孔或排出孔 554在模塊500使用期間可被堵塞。帽狀部或碗狀部524的尺寸可以變化以 容納凈化介質(zhì)或者一個或多個過濾筒。為了便于圖示，碗狀部或帽狀部 524可以包括設(shè)置有出口504的頂部524a，頂部524a被流體地密封到中間 部分524b，所述中間部分524b的長度可被選擇成容納流體地連接到底部 524c的過濾器或凈化器(未示出)，所述底部524c可以包括例如凸緣、唇 緣或其它合適的更厚的加固結(jié)構(gòu)566的結(jié)構(gòu)。碗狀部或帽狀部524 (連接 到一起的524a和524b與524c)可以通過密封材料560被連接到歧管部530， 并通過帶有凸緣536的扣環(huán)532保持。其它可逆的連接設(shè)備，例如一個或 多個螺母及螺栓、 一個或多個夾具等等也可以用作保持裝置來密封碗狀 部或帽狀部524和歧管部530。模塊500具有用于待處理流體的流體或液體 入口 (未示出)、以及從歧管出口管道出來的出口528，以從凈化介質(zhì)中 去除經(jīng)過處理的流體或經(jīng)過處理的液體，并將它傳送到使用點(diǎn)。圖5b示 出了位于歧管部530內(nèi)部的一個或多個可選定位裝置562，所述定位裝置 562可用于保持或定位類似圖lc中的102的支撐結(jié)構(gòu)或圖8a所示的支架 802b。參照圖7，在本發(fā)明一個方案中的凈化筒706可以包括外多孔籠以及用于過濾筒706熱膨脹的可選接頭737，所述外多孔籠可以是柔性的籠或 者由兩個或更多個區(qū)段710a和710b形成，所述區(qū)段710a和710b可以給凈 化筒提供支撐。 一個外多孔籠區(qū)段710a可以被連接到或被結(jié)合到端蓋 731，所述端蓋731可以具有把手或其它抓握部件。另一個多孔籠區(qū)段例 如710b可以被連接到或被結(jié)合到具有流體出口714的支架702b。圖8a示出 了具有通過在上外籠810a與下外籠810b之間的舌榫或其它類似接頭819 互相連接的兩個或者更多個區(qū)段810a和810b的外籠。過濾筒還可以包括 諸如皺褶膜的凈化和/或過濾介質(zhì)708、以及一個或多個內(nèi)滲透籠支架或 柔性的內(nèi)籠支架(未示出)。支架流體出口714可以具有位于支架流體出 口714的相反或其它合適表面上的兩個或更多個傾斜局部螺齒或其它單 獨(dú)的傾斜結(jié)構(gòu)716。在支架出口上的局部螺齒或其它傾斜結(jié)構(gòu)716可以具 有在大約2度至25度之間、優(yōu)選在大約6度和大約8度之間的斜度(a)。 在一些實(shí)施例中，嚙合時傾斜結(jié)構(gòu)使支架出口進(jìn)入歧管出口管道大約30 毫米。角度或斜度可以從垂直于凈化筒或支架的轉(zhuǎn)動軸線的線735測量。 局部螺齒或其它傾斜突出部或翅片716裝配到歧管上相配的諸如局部螺 紋的傾斜結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，凈化筒包括位于支架710a和710b (單 個部件的外籠的實(shí)施例可參見圖10d中的1010)、端蓋731的組合內(nèi)部的褶 皺凈化膜708，并被密封到支架702b。在使用中，進(jìn)入籠710a和710b的流 體或液體經(jīng)過凈化膜708，在其中微粒和污染物可以被去除，液體離開過 濾筒通過支架出口714到達(dá)歧管。參照圖6，過濾和/或凈化筒682的一部分被示出，可以包括多孔、多微孔的或更小孔隙尺寸的凈化膜608。在一些實(shí)施例中，膜608是褶皺過 濾膜，在其它的實(shí)施例中，膜608可以是空心纖維(未示出)或無紡深度 過濾介質(zhì)(未示出)。過濾筒682的一部分可以包括具有孔、端口或液體 出口688的中空支撐圓柱籠612，所述液體出口688與諸如214或814 (圖2a 和圖8)的支架出口流體連通。褶皺過濾膜的褶皺還可以是M形或W形、它 們的組合或其它形狀。在一些實(shí)施例中，過濾筒可以包括具有孔隙的空 心纖維多孔或多微孔膜，所述孔隙具有大約10微米或更小的尺寸，或大 約l微米或更小，或大約O. l微米或更小。如圖7的本發(fā)明實(shí)施例所示，凈 化筒可以包括一個或多個多孔外籠支架710和710b、帶有具有傾斜結(jié)構(gòu)或 局部螺齒716的出口714的支架702b、以及用于o形環(huán)或其它密封材料(未 示出)的凹槽、凹部或槽道711。端蓋731可以被結(jié)合到外籠支架710a， 可以具有用于提供扭轉(zhuǎn)力矩來旋轉(zhuǎn)過濾筒以嚙合出口的傾斜結(jié)構(gòu)716與 歧管的相配結(jié)構(gòu)的特征。在圖8a和圖8b所示的本發(fā)明實(shí)施例中，歧管822可以包括用于連接到 帽狀部(未示出)的歧管部830，以及一個或多個類似但非限于854的計(jì) 量器或排出孔。支架板802b被圖示具有支架出口814、與在歧管833的流 體出口管道上的一個或多個傾斜槽道或凹槽結(jié)構(gòu)829相配合的傾斜結(jié)構(gòu) 816。支架出口8i4可以包括用于o形環(huán)或其它密封材料的一個或多個凹槽 或槽道811。如圖8b所示，支架出口814裝配到，在一些方案中是基本上 同軸地，在歧管表面817上帶有開口的歧管出口管道833的內(nèi)部。帶有凈 化介質(zhì)808的支架802b可以通過彈性體或其它密封材料860與歧管出口管道833密封，使得可防止供給到模塊的流體或液體與通過歧管出口管道從凈化介質(zhì)808排出的已經(jīng)過濾滲透物和/或凈化的液體混合。圖9示出了在碗狀部或帽狀部924與歧管部930之間的密封的實(shí)施例。 帶有突出部934的保持裝置932的一部分被布置在碗狀部924上，并設(shè)置有 與歧管部930外表面上的歧管螺紋945相配合的保持裝置螺紋940。當(dāng)保持 裝置932被旋轉(zhuǎn)以嚙合螺紋945吋，碗狀部924可以利用o形環(huán)或其它密封 材料947被密封到歧管部930。圖10a-d示出了本發(fā)明實(shí)施例的其它方面，所述實(shí)施例包括帶有例如 但非限于1054的一個或多個出口或測量器孔的歧管1022、帶有可選的出 口孔1004并以不漏流體方式密封到歧管1022的部分1030的碗狀部或帽狀 部1024。碗狀部1024和歧管1022裝有凈化筒1006，所述凈化筒1006具有 支架1002b、帶有可選把手1009的端蓋1031、和流體地密封到支架1002b 上的凈化膜1008。支架1002b具有膜支撐部分和支架出口1014，其中，支 架出口1014裝配到，在一些方案中基本同軸地，在歧管表面1017上帶有 開口的歧管出口管道1033的內(nèi)部。支架出口1014具有與歧管出口管道 1033的傾斜配合結(jié)構(gòu)嚙合的兩個或更多個傾斜結(jié)構(gòu)1016，例如但非限于 螺紋、凹槽、翅片或局部螺紋結(jié)構(gòu)。傾斜結(jié)構(gòu)通過支架1002b轉(zhuǎn)動不到一 整圈嚙合并停止，以在支架1002b與歧管1022之間形成不漏流體密封。在 一些實(shí)施例中，支架1002b和歧管1022通過支架1002b轉(zhuǎn)動大約90度或更 少嚙合并停止。支架1014和歧管出口管道1033的嚙合形成了不漏流體密 封1060，例如但非限于通過所述支架出口1014與歧管1022的出口管道1033之間的壓配合、聚合體密封材料例如墊圈、O形環(huán)或一個或多個O形 環(huán)而形成的可逆密封。歧管1022設(shè)置有流體入口1026和流體出口1028。歧管1022方便地與 圓柱部1030整體地形成，圓柱部1030利用可旋轉(zhuǎn)鎖環(huán)1032以密封關(guān)系與 碗狀部1024配合。鎖環(huán)1032可以設(shè)置螺紋1040，螺紋1040可以通過旋轉(zhuǎn) 鎖環(huán)1032而與歧管部螺紋1045嚙合。當(dāng)鎖環(huán)1032被旋轉(zhuǎn)時，碗狀部1024 利用o形環(huán)1047被密封到圓柱部1030。在一些實(shí)施例中，凈化筒1006可以 包括外多孔籠1010和內(nèi)多孔籠1012，其可以通過局部螺齒1016和o形環(huán)、 通過利用把手1009被旋轉(zhuǎn)進(jìn)入歧管出口管道1033的入口而被密封到進(jìn)入 歧管出口管道1033的入口。如圖10c所示，過濾模塊1000可以通過延伸穿過孔1042、 1048和其它 未示出孔的螺釘被固定到基底(未示出)」:。類似圖3b所示的模塊，模 塊1000可以設(shè)置有出口或排出孔1050和排出孔(未示出)，排出孔在使用期間可被堵塞，并在完成凈化或過濾時打開。也可以設(shè)置測量器孔，以 在使用期間將諸如壓力計(jì)的測量器安裝到模塊IOOO。進(jìn)一步參照圖10d和圖10e，在一些實(shí)施例中，凈化筒1006包括具有 傾斜局部螺齒1016的流體出口1014。 o形環(huán)1016可以設(shè)置在出口1014和歧 管1022的出口管道1033的一部分之間，(類似圖8b所示的860)，以在兩者 之間形成流體密封。帽狀部1024和歧管1022裝有凈化膜1008，所述凈化 膜連接到支架1002b。在一些實(shí)施例中，被歧管部1030和帽狀部1024圍住 的凈化筒1006還可以包括芯支架1012、結(jié)合在支架1002b上的外支架籠1010、和端蓋1031。支架1002b具有出口1014，所述出口1014接收來自過 濾筒1006內(nèi)部的經(jīng)過凈化的流體，并引導(dǎo)所述流體通過歧管出口管道 1033到達(dá)歧管出口1028。歧管1022的內(nèi)表面可以具有狹槽，所述狹槽可 以在出口管道1033上，所述狹槽容納來自支架1002b的局部螺齒1016。在 使用中，待過濾流體進(jìn)入歧管入口1026、并進(jìn)入凈化或過濾筒1006，其 中，當(dāng)液體經(jīng)過凈化膜1008時，微粒、凝膠、分子污染物、離子污染物 或它們的任何組合從液體中被去除。經(jīng)過凈化的流體通過支架流體出口 1014離開凈化筒1006，所述支架流體出口 1014位于歧管表面1017上的開 口處的歧管出口管道10 3 3的內(nèi)部。經(jīng)過凈化的液體經(jīng)過歧管出口管道 1033，然后到達(dá)歧管出口1028到達(dá)使用點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種設(shè)備，包括歧管和以不漏液體方式連接到所述歧管一部分的碗狀部，所述碗狀部和歧管裝有安裝到支架上的凈化膜，所述支架具有膜支撐部分和支架出口，所述支架出口裝配在歧管出口管道的內(nèi)部，所述支架出口具有兩個或更多個傾斜結(jié)構(gòu)，所述傾斜結(jié)構(gòu)通過所述支架轉(zhuǎn)動大約90度或更少與所述歧管出口管道的傾斜相配結(jié)構(gòu)嚙合，以在所述支架與所述歧管之間形成不漏液體密封。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，支架出口和歧管出口管道形成 不漏流體密封。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，支架出口上的傾斜結(jié)構(gòu)相對垂 直于支架轉(zhuǎn)動軸線的線形成在大約2度到大約25度之間的角度。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，支架出口的傾斜結(jié)構(gòu)是局部螺齒。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，支架出口和歧管通過o形環(huán)以 不漏液體方式被密封。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，凈化膜是連接到支架上一個或 多個開口的一個或多個過濾筒。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，凈化膜被結(jié)合到支架上。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的設(shè)備，其中，歧管包括一個或多個定位裝置。
9. 一種凈化筒，包括外多孔籠、凈化膜和內(nèi)多孔籠，所述內(nèi)籠和外籠被密封到支架上， 所述支架包括支架出口 ，所示支架出口具有位于支架出口相反表面上的 兩個或更多個傾斜結(jié)構(gòu)，從垂直于支架轉(zhuǎn)動軸線的線測量，所述傾斜結(jié)構(gòu)形成大約2度到25度的角度。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的凈化筒，其中，外籠包括兩個或更多個區(qū)段。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的凈化筒，其中，支架出口裝配到在歧管表面上具有開口的歧管出口管道內(nèi)部。
12. —種過濾模塊，包括歧管、連接到所述歧管的碗狀部、和用于多個過濾筒的支架，所述 多個過濾筒分別具有過濾層、環(huán)繞過濾層的多孔外籠、支撐所述過濾層 的多孔內(nèi)籠、和通向所述內(nèi)籠的內(nèi)部容積的第一流體出口，所述支架具 有多個開口以連接所述多個所述第一流體出口中的每個，所述支架具有第二流體出口和從每個所述第一流體出口到所述歧管的流體通道；所述支架和歧管通過與多個螺紋配合并具有斜度的多個局部螺齒被 連接在一起。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的模塊，其中，所述局部螺齒位于所述流體 出口的外表面上。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的模塊，其中，所述局部螺齒位于所述歧管上。
15. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的模塊，其中，具有兩個所述局部螺齒以及 兩個所述螺紋。
16. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的模塊，其中，所述局部螺齒具有在大約6 度到大約8度之間的斜度。
17. —種凈化模塊，包括歧管、連接到所述歧管的碗狀部、和過濾筒，所述過濾筒具有過濾 層、環(huán)繞過濾層的多孔籠、支撐所述過濾層的多孔內(nèi)籠、和通向所述內(nèi) 籠的內(nèi)部容積的流體出口，所述過濾筒具有與第二外表面上的所述流體 出口相反的第一外表面上的把手；所述過濾筒和歧管通過與多個具有螺紋的狹槽配合并具有斜度的多 個局部螺齒被連接在一起，以在所述歧管和所述支架之間形成不漏液體 密封。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的模塊，其中，所述局部螺齒位于所述流體 出口的外表面上。
19. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的模塊，其中，所述局部螺齒位于所述歧管上。
20. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的模塊，其中，具有兩個所述局部螺齒以及 兩個所述螺紋。
21. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的模塊，其中，所述局部螺齒具有在大約6 度到大約8度之間的斜度。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種凈化模塊，其包括多個凈化筒、用于過濾筒的支架、歧管和碗狀部。在一個實(shí)施例中，用于過濾筒的支架在相反表面上具有兩個傾斜的局部螺齒，當(dāng)局部螺齒被旋轉(zhuǎn)進(jìn)入螺紋時，所述局部螺齒與歧管上的局部螺紋相配合。支架包括流體通道，用于引導(dǎo)已經(jīng)過濾的流體從過濾筒通過支架并進(jìn)入歧管。在另一個實(shí)施例中，提供了一種凈化模塊，其包括凈化筒、歧管和碗狀部。凈化筒在過濾筒出口的相反表面上具有兩個傾斜的局部螺齒，當(dāng)局部螺紋被旋轉(zhuǎn)進(jìn)入相配的螺紋時，所述局部螺齒與歧管上的螺紋相配合。
文檔編號B01D29/13GK101218007SQ20068002517
公開日2008年7月9日 申請日期2006年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月11日
發(fā)明者E·麥克納馬拉, T·托爾, 鈴木靖二 申請人:安格斯公司