本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備中水回收裝置，屬于集成電路、分立器件等制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

導(dǎo)體行業(yè)中濕法清洗過程中，用水量特別大，常見的濕法清洗機(jī)設(shè)備中，所清洗后的水全部排放，水資源的消耗很大，嚴(yán)重制約單位能耗的下降。

在本實(shí)用新型作出以前，濕法清洗設(shè)備在硬件和軟件上有以下不足之處：

硬件的不足之處在于：

1、使用不同類型的化學(xué)試劑，根據(jù)排放類型的不同進(jìn)行間隔；

2、濕法清洗后的水全部排放到一根管道，造成了不同廢水無(wú)法分類排放，在廢水處理費(fèi)用高；

3、濕法清洗設(shè)備無(wú)中水回收專用閥門，濕法清洗工藝過程中，對(duì)于清洗多次后的廢水無(wú)法進(jìn)行回收再利用。

軟件的不足之處在于：現(xiàn)有濕法設(shè)備中缺少軟件控制廢水回收的時(shí)間、次數(shù)，只能將所有的廢水全部排掉。

綜上，直接更換現(xiàn)在的硬件和軟件來(lái)降低能耗是一種成熟可靠的方案，但投入成本高，對(duì)生產(chǎn)影響較大。對(duì)現(xiàn)有系統(tǒng)進(jìn)行創(chuàng)新型改造，是個(gè)合理的方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)提供一種半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備中水回收裝置, 減少?gòu)U水的產(chǎn)生與排放，降低廢水處理費(fèi)用和生產(chǎn)成本，節(jié)約用水。

本實(shí)用新型解決上述問題所采用的技術(shù)方案為：一種適用于蒸發(fā)臺(tái)產(chǎn)能提升的裝置，它包括酸類化學(xué)槽、氟類化學(xué)槽和兩個(gè)QDR槽，其中酸類化學(xué)槽和氟類化學(xué)槽分別與一個(gè)QDR槽為一組進(jìn)行布置，且兩組槽之間相互隔斷，在每組槽體上分別增加排放管道，所述酸類化學(xué)槽和QDR槽的排放管道上連接有含酸排放閥和中水回收閥I，所述含酸排放閥通過管路與酸類廢水回收池相連，中水回收閥I通過管路與酸類中水回收池I相連，所述氟類化學(xué)槽和QDR槽的排放管道上連接有含氟排放閥和中水回收閥II，所述含氟排放閥通過管路與氟類廢水回收池相連，中水回收閥II通過管路與酸類中水回收池II相連，所述酸類中水回收池I和酸類中水回收池II分別通過中水再利用閥與酸類化學(xué)槽、氟類化學(xué)槽連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

本實(shí)用新型改變了以往在半導(dǎo)體清洗中使用濕法清洗機(jī)過程中水資源的嚴(yán)重浪費(fèi)現(xiàn)象，廢水回收重新利用大大提高。

附圖說明

圖1 為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：

酸類化學(xué)槽1、氟類化學(xué)槽2、QDR槽3、排放管道4、含酸排放閥5、酸類中水回收閥I 6、酸類廢水回收池7、酸類中水回收池I 8、含氟排放閥9、酸類中水回收閥II 10、氟類廢水回收池11、酸類中水回收池II 12、中水再利用閥13。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

參見圖1，本實(shí)用新型涉及一種適用于蒸發(fā)臺(tái)產(chǎn)能提升的裝置，包括酸類化學(xué)槽1、氟類化學(xué)槽2和兩個(gè)QDR槽3，其中酸類化學(xué)槽1和氟類化學(xué)槽2分別與一個(gè)QDR槽3為一組進(jìn)行布置，且兩組槽之間相互隔斷，保證QDR槽運(yùn)行時(shí)所產(chǎn)生的廢水相互不交叉，在每組槽體上分別增加排放管道4，以方便將濕法清洗的水分別排放，這樣就可以實(shí)現(xiàn)不同廢水分類排放，所述酸類化學(xué)槽1和QDR槽的排放管道4上連接有含酸排放閥5和中水回收閥I 6，將管道分成兩路，所述含酸排放閥5通過管路與酸類廢水回收池7相連，中水回收閥I 6通過管路與酸類中水回收池I 8相連，所述氟類化學(xué)槽2和QDR槽3的排放管道4上連接有含氟排放閥9和中水回收閥II 10，將管道分成兩路，所述含氟排放閥9通過管路與氟類廢水回收池11相連，中水回收閥II 10通過管路與酸類中水回收池II 11相連，所述酸類中水回收池I 8和酸類中水回收池II 12分別通過中水再利用閥13與酸類化學(xué)槽1、氟類化學(xué)槽2連接。

按本實(shí)用新型對(duì)清洗設(shè)備進(jìn)行改造后，在提升環(huán)?？刂颇芰Φ耐瑫r(shí)，也帶來(lái)可觀的經(jīng)濟(jì)效益：按單槽流量40L/min、自來(lái)水3.28元/噸、普通酸廢水處理按2元/噸計(jì)，按工藝時(shí)間10分鐘每批次一個(gè)沖水槽計(jì)算：回收方式為10分鐘工藝時(shí)間的前6分鐘不回收，后4分鐘回收，則單次10分鐘沖水工藝可回收利用的水為：4min*40L/min=160L，約0.16T。

單次10分鐘沖水工藝可節(jié)約純水費(fèi)用：0.16*3.28=0.525元，

單次10分鐘沖水工藝可減少污水排放0.16T，節(jié)約污水處理費(fèi)用0.16*2=0.32元單次10分鐘沖水工藝兩項(xiàng)合計(jì)：0.845元

單臺(tái)設(shè)備每天（15小時(shí)工作時(shí)間計(jì)）可節(jié)約費(fèi)用15*60/10*0.845=76.05元。

除上述實(shí)施例外，本實(shí)用新型還包括有其他實(shí)施方式，凡采用等同變換或者等效替換方式形成的技術(shù)方案，均應(yīng)落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。